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公开(公告)号：CN109676132A
公开(公告)日：2019-04-26
申请号：CN201810893355.6
申请日：2018-08-07
Applicant: 爱德万测试株式会社
CPC classification number: B23K15/0086 , B22F3/1055 , B22F2003/1056 , B22F2003/1057 , B22F2999/00 , B23K15/0013 , B23K15/002 , B23K15/0026 , B23K15/02 , B28B1/001 , B28B17/0081 , B29C64/153 , B29C64/268 , B33Y10/00 , B33Y30/00 , B33Y40/00 , B33Y50/02 , B22F2203/03
Abstract: 本发明提供一种一面由装置本身决定用来将粉末层确实地熔融结合的照射条件，一面进行电子束(EB)照射的三维积层造形装置及积层造形方法。本发明所提供的三维积层造形装置(100)具有：柱部(200)，输出电子束(EB)，使电子束(EB)朝粉末层(32)的表面内方向偏向；绝缘部，使三维构造物(36)与接地部件电绝缘；电流计(73)，测定经由三维构造物(36)流向接地部件的电流值；熔融判断部(410)，基于电流计(73)所测定的电流值来检测粉末层(32)的熔融，产生熔融信号；以及偏向控制部(420)，接收熔融信号，决定电子束的照射条件。
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公开(公告)号：CN106556975B
公开(公告)日：2018-06-29
申请号：CN201610609096.0
申请日：2016-07-29
Applicant: 爱德万测试株式会社
IPC: G03F7/20
CPC classification number: G03F7/7055 , G03F7/2059 , H01J37/045 , H01J37/3177 , H01J2237/304
Abstract: 本发明使用多根带电粒子束，减小每根粒子束的照射时机的误差从而形成复杂且微细的图案。本发明提供一种曝光装置，其在样品上曝光图案，包括：多个消隐电极，与多根带电粒子束对应设置，根据输入电压而分别切换是否对样品照射对应的带电粒子束；照射控制部，输出用来切换对多个消隐电极分别提供的消隐电压的切换信号；及测量部，针对多个消隐电极分别测量从切换信号的变化到消隐电压的变化为止的延迟量。
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公开(公告)号：CN109676132B
公开(公告)日：2021-11-23
申请号：CN201810893355.6
申请日：2018-08-07
Applicant: 爱德万测试株式会社
Abstract: 本发明提供一种一面由装置本身决定用来将粉末层确实地熔融结合的照射条件，一面进行电子束(EB)照射的三维积层造形装置及积层造形方法。本发明所提供的三维积层造形装置(100)具有：柱部(200)，输出电子束(EB)，使电子束(EB)朝粉末层(32)的表面内方向偏向；绝缘部，使三维构造物(36)与接地部件电绝缘；电流计(73)，测定经由三维构造物(36)流向接地部件的电流值；熔融判断部(410)，基于电流计(73)所测定的电流值来检测粉末层(32)的熔融，产生熔融信号；以及偏向控制部(420)，接收熔融信号，决定电子束的照射条件。
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公开(公告)号：CN110382139A
公开(公告)日：2019-10-25
申请号：CN201780087837.6
申请日：2017-04-11
Applicant: 爱德万测试株式会社
Abstract: 本发明提供一种将包括曲线的截面层进行积层而造形三维构造物的三维积层造形装置。本发明提供一种三维积层造形装置100，其具备：决定部116，接收关于三维构造物66的截面形状的造形数据，而决定沿着连续曲线的第1光束及第2光束的照射位置、光束形状及照射时间的数据；存储部118，存储决定部116所决定的数据；及偏向控制单元150，基于照射时间数据而产生的时序将照射位置数据输出至偏向器50；及变形元件控制单元130，将光束形状数据输出至变形元件30。由此，三维积层造形装置100通过一面沿着连续曲线照射第1光束及第2光束一面使粉末层熔融凝固，而将包括曲线的截面层进行积层来造形三维构造物。
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公开(公告)号：CN106556975A
公开(公告)日：2017-04-05
申请号：CN201610609096.0
申请日：2016-07-29
Applicant: 爱德万测试株式会社
IPC: G03F7/20
CPC classification number: G03F7/7055 , G03F7/2059 , H01J37/045 , H01J37/3177 , H01J2237/304
Abstract: 本发明使用多根带电粒子束，减小每根粒子束的照射时机的误差从而形成复杂且微细的图案。本发明提供一种曝光装置，其在样品上曝光图案，包括：多个消隐电极，与多根带电粒子束对应设置，根据输入电压而分别切换是否对样品照射对应的带电粒子束；照射控制部，输出用来切换对多个消隐电极分别提供的消隐电压的切换信号；及测量部，针对多个消隐电极分别测量从切换信号的变化到消隐电压的变化为止的延迟量。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN106098519A
公开(公告)日：2016-11-09
申请号：CN201610096405.9
申请日：2016-02-22
Applicant: 爱德万测试株式会社
IPC: H01J37/244 , H01J37/317
CPC classification number: H01J37/3045 , H01J37/20 , H01J37/244 , H01J37/3177 , H01J2237/043 , H01J2237/0435 , H01J2237/15 , H01J2237/2025 , H01J2237/20285 , H01J2237/30455 , H01J2237/31766 , H01J2237/31774 , H01J37/3174
Abstract: 本发明使用带电粒子束使平台的移动误差降低而形成复杂且微细的图案。本发明提供一种曝光装置及曝光方法，该曝光装置具备：射束产生部，产生带电粒子束；平台部，搭载样品，并使该样品相对于射束产生部相对性地移动；检测部，对平台部的位置进行检测；预测部，基于平台部的检测位置而生成预测平台部的驱动量所得的预测驱动量；及照射控制部，基于预测驱动量而进行向样品照射带电粒子束的照射控制。
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公开(公告)号：CN109686642B
公开(公告)日：2022-11-04
申请号：CN201810906708.1
申请日：2018-08-10
Applicant: 爱德万测试株式会社
IPC: H01J37/30 , H01J37/302 , H01J37/305 , B22F3/105 , B33Y10/00 , B33Y30/00
Abstract: 本发明提供一种一面由装置本身决定用来确实地将粉末层熔融结合的照射条件，一面进行电子束(EB)照射的三维积层造形装置及积层造形方法。本发明提供一种三维积层造形装置(100)，它具有：柱部(200)，输出电子束(EB)，并使电子束(EB)朝粉末层(32)的表面内方向偏转；电子检测器(72)，检测通过照射电子束(EB)而从粉末层(32)的表面朝指定方向释出的电子；熔融判断部(410)，基于电子检测器(72)的检测信号强度产生熔融信号；以及偏转控制部(420)，接收熔融信号并决定电子束的照射条件。
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公开(公告)号：CN109686642A
公开(公告)日：2019-04-26
申请号：CN201810906708.1
申请日：2018-08-10
Applicant: 爱德万测试株式会社
IPC: H01J37/30 , H01J37/302 , H01J37/305 , B22F3/105 , B33Y10/00 , B33Y30/00
CPC classification number: B23K15/0086 , B22F3/1055 , B22F2003/1056 , B22F2003/1057 , B22F2999/00 , B23K15/0013 , B23K15/0026 , B23K15/02 , B29C64/153 , B29C64/268 , B33Y10/00 , B33Y30/00 , B33Y40/00 , B33Y50/02 , B22F2203/03 , H01J37/3005 , H01J37/3023 , H01J37/3026 , H01J37/305
Abstract: 本发明提供一种一面由装置本身决定用来确实地将粉末层熔融结合的照射条件，一面进行电子束(EB)照射的三维积层造形装置及积层造形方法。本发明提供一种三维积层造形装置(100)，它具有：柱部(200)，输出电子束(EB)，并使电子束(EB)朝粉末层(32)的表面内方向偏转；电子检测器(72)，检测通过照射电子束(EB)而从粉末层(32)的表面朝指定方向释出的电子；熔融判断部(410)，基于电子检测器(72)的检测信号强度产生熔融信号；以及偏转控制部(420)，接收熔融信号并决定电子束的照射条件。
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公开(公告)号：CN106098516A
公开(公告)日：2016-11-09
申请号：CN201610235948.4
申请日：2016-04-15
Applicant: 爱德万测试株式会社
IPC: H01J37/04 , H01J37/147 , H01J37/317
Abstract: 本发明实现一种多射束形成元件，其利用互补光刻法，能稳定地加工微细的线图案。本发明提供一种元件及应用这种元件的曝光装置，该元件是使射束成形并偏向的元件，具备：孔径层，具有使从元件的第1面侧入射的射束成形并通过的第1开孔；及偏向层，使通过孔径层的射束通过并偏向；且偏向层具有：第1电极部，具有与对应于第1开孔的偏向层内的射束通过空间相对的第1电极；及第2电极部，具有在偏向层内独立于相邻层并朝向射束通过空间延伸的延伸部、及在端部隔着射束通过空间而与第1电极对向的第2电极。
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公开(公告)号：CN108140558A
公开(公告)日：2018-06-08
申请号：CN201780001245.8
申请日：2017-05-12
Applicant: 爱德万测试株式会社
IPC: H01L21/027 , G03F7/20
CPC classification number: G03F7/20 , H01L21/027
Abstract: 本发明提供一种向产生多个带电粒子束的多个柱部分配电子束控制数据的曝光装置及曝光数据结构。本发明提供一种曝光装置以及这种曝光装置用的曝光数据结构及电子束控制数据的创建方法，所述曝光装置包括：多个柱部，产生沿第一方向排列的多个带电粒子束；柱控制部，单独控制带电粒子束的照射时刻；转换部，以描述器件图案的配置坐标的设计数据为基础转换成曝光数据，所述曝光数据由具有个带电粒子束的宽度并沿第二方向延伸的带状区域进行而成的第二数据和基于第一方向的位置指定该第二数据的第一数据构成；第一存储部，存储曝光数据；以及分配部，依照曝光顺序重构曝光数据并分配给各个柱部。
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