公开(公告)号：CN110223932B

公开(公告)日：2022-11-29

申请号：CN201810759285.5

申请日：2018-07-11

Applicant: 真实仪器公司

Inventor： S·莱恩斯 ,  R·J·小戴尼奥 ,  顾志勇 ,  陈宏

IPC: H01L21/67

Abstract: 本发明提供一种操作工艺控制系统的方法及一种工艺控制系统。在一个实施例中，所述工艺控制系统包含：(1)光学传感器，其经配置以监测工艺室内的生产工艺且依据所述生产工艺而产生光学数据；(2)操作控制器，其经配置以执行关键功能以依据所述光学数据确定所述生产工艺的处理状况，其中所述关键功能是由关键功能控件引导；(3)可适应性管理控制器，其经配置以将所述关键功能控件提供到所述操作控制器，其中在所述关键功能期间，所述可适应性管理控制器与所述操作控制器被分级隔离。

公开(公告)号：CN110223932A

公开(公告)日：2019-09-10

申请号：CN201810759285.5

申请日：2018-07-11

Applicant: 真实仪器公司

Inventor： S·莱恩斯 ,  R·J·小戴尼奥 ,  顾志勇 ,  陈宏

IPC: H01L21/67

Abstract: 本发明提供一种操作工艺控制系统的方法及一种工艺控制系统。在一个实施例中，所述工艺控制系统包含：(1)光学传感器，其经配置以监测工艺室内的生产工艺且依据所述生产工艺而产生光学数据；(2)操作控制器，其经配置以执行关键功能以依据所述光学数据确定所述生产工艺的处理状况，其中所述关键功能是由关键功能控件引导；(3)可适应性管理控制器，其经配置以将所述关键功能控件提供到所述操作控制器，其中在所述关键功能期间，所述可适应性管理控制器与所述操作控制器被分级隔离。