公开(公告)号：KR101525526B1

公开(公告)日：2015-06-03

申请号：KR1020140168574

申请日：2014-11-28

Applicant: 국민대학교산학협력단

Inventor： 임시형 ,  김정호

IPC: G01N27/00 ,  G01N27/06 ,  G01N27/26 ,  G01N33/18

Abstract: 본발명에따른하이브리드수질센서칩 제조방법에따르면, MEMS(micro electro mechanical system) 공정을이용하여실리콘웨이퍼기판에압전저항층, 작업전극과상대전극을포함하는제1 전극층및 기준전극을포함하는제2 전극층을형성시켜, 중금속존재시압전저항층의저항변화를마이크로브릿지(microbridge)가감지하여수질내 중금속을기계화학적으로측정할수 있고, 또한, 중금속존재시상대전극및 작업전극사이에발생하는전류변화를감지하여수질내 중금속을전기화학적으로측정할수 있어고감도및 고선택성을가지는초소형의수질센서칩을제조할수 있다. 또한, 본발명에따른휴대용수질검사장치에따르면, 상기한하이브리드수질센서칩을포함하는중금속센서부를포함하여, 다양한종류의중금속을필요에따라바꿔가며측정할수 있으며, 외부에별도로설치된디스플레이장치와연결될수 있는외부출력수단을포함하도록구성하여측정한중금속데이터를모바일또는무선통신가능한신호송신장치및 수신디스플레이장치를이용해용이하게영상화하여수질내에포함된중금속의농도및 종류를장소에구애받지않고신속하고정확하게검출할수 있다.

Abstract translation: 根据本发明的混合式水质传感器芯片的制造方法，在硅晶片基板上形成压阻层，包括工作电极和对电极的第一电极层和包括参考电极的第二电极层 使用微电机械系统（MEMS）工艺来通过允许微桥在存在重金属时检测压阻层的电阻变化并通过检测电流的变化来电化学测量水中的重金属来机械化学测量水中的重金属 当存在重金属时，在工作电极和对电极之间产生，从而制造具有高灵敏度和高选择性的超小型水质传感器芯片。 此外，根据本发明，便携式水质检测装置包括：重金属传感器单元，包括用于测量各种类型的重金属的混合水质传感器芯片，根据需要改变重金属; 以及与分别安装在外部的显示装置连接的外部输出装置，使得测量的重金属上的数据被移动或信号发送装置和执行无线通信的接收显示装置容易地可视化，从而快速准确地检测浓度 和类型的重金属包括在水中，不管地方如何。