Abstract:
본 발명은 나노갭 센서의 제조방법 및 이에 의해 제조되는 나노갭 센서에 대한 것으로서, 본 발명에 따른 나노갭 센서의 제조방법에 의하면 실리콘 웨이퍼 등으로 이루어진 기판 상에 미세 균열을 형성시키는 기법을 이용해 저비용의 간단한 공정에 의해 나노갭을 제작한 후 나노갭 위에 금속 촉매층을 적층하여 특정 물질 또는 수소 등의 가스의 선택적 검출이 가능한 센서를 제조할 수 있다. 특히, 금속 촉매층으로서 팔라듐 또는 그 합금을 사용할 경우 다양한 수소 농도에 응답하는 고감도 수소센서를 대량으로 제작할 수 있다.
Abstract:
본 발명은 초발수/초발유 구조물 및 그의 제조 방법에 관한 것으로서, 더욱 구체적으로는 금속 기재의 표면에 형성된 조면화(roughening) 1차 구조물; 상기 조면화 1차 구조물에 형성된 나노 기공들; 및 상기 조면화 1차 구조물의 표면에 형성된 발수/발유 층을 포함하는 초발수/초발유 구조물 및 그의 제조 방법에 관한 것이다. 본 발명의 초발수/초발유 구조물은 수계 용액과 오일계 용액에 대하여 공히 극히 큰 접촉각 및 낮은 미끄럼각을 보이는 우수한 초발수/초발유 특성을 갖는다. 또한, 본 발명의 초발수/초발유 구조물의 제조 방법은 규모가 크거나 또는 곡면이 있는 구조물도 특별한 제조 장비를 필요로 하지 않고 용이하게 제조 가능하다.
Abstract:
PURPOSE: A production method of a super-hydrophobic of super-hydrophilic material is provided to form a metal oxide layer having a micro-nano layered structure on the surface of metal before treating the metal oxide layer by fluorination to obtain the super-hydrophobic of super-hydrophilic material with a simple and economic process. CONSTITUTION: A production method of a super-hydrophobic of super-hydrophilic material comprises the following steps: dipping a metal substrate in an alkali water solution; heating the alkali water solution with the metal substrate to form a metal oxide layer having a micro-nano layered structure; and fluorinating the metal oxide layer. The heating process is conducted at 60-90°C for 20-72 hours. The fluorination process includes a step of inserting the metal substrate with the metal oxide layer into a fluoride-containing compound. The super-hydrophobic of super-hydrophilic material contains the metal substrate, the metal oxide layer, and the fluoride-containing compound. The contact angle of the super-hydrophobic of super-hydrophilic material against water and oil is greater than 150°.
Abstract:
PURPOSE: A multi-channel quartz crystal micro-balance having a partitioning groove is provided to reduce interferences that vibration generated by each electrode interferes to other adjacent electrodes. CONSTITUTION: A multi-channel quartz crystal micro-balance(100) having a partitioning groove(40) comprises a crystal substrate(10) and a plurality of electrodes. The crystal substrate consists of a quartz crystal. The electrodes consists of a first electrode(20) and a second electrode. The first electrode is arranged in a front surface of the quartz crystal. The second electrode is arranged in a rear surface of the crystal substrate to be faced to the first electrode. The crystal substrate is divided into a plurality of sensing areas by the partitioning groove concavely formed on a surface of the crystal substrate. Each electrode is respectively arranged in the plurality of sensing areas divided by the partitioning groove.