公开(公告)号：KR101661576B1

公开(公告)日：2016-09-30

申请号：KR1020150049059

申请日：2015-04-07

Applicant: 국방과학연구소

Inventor： 김선호 ,  최현진 ,  김남환 ,  고경근 ,  강상구

IPC: G01J5/20 ,  G01J5/02

Abstract: 본발명은볼로미터형태의적외선검출기에서볼로미터저항체의선택적환원을통해형성된볼로미터구조체및 이의제조방법에관한것으로, 더욱상세하게는금속산화물상태의반도체물질로제조된전기전도도가낮은저항체를고주파(RF) 전원을인가하는백-스퍼터링(back sputtering)법을통해선택적으로환원하여전기적신호전달을위한연결다리로사용함으로써그 제조방법이간편하면서도신호대잡음비가개선된고성능볼로미터구조체를특징적으로한다.

Abstract translation: 本发明涉及一种通过从测辐射热量计类型的红外线检测器中选择性地还原测辐射热计电阻而形成的测辐射热计结构，更具体地说，涉及一种简单的制造方法和通过使用电阻来改善信噪比的高性能测辐射热计结构 具有低导电性，由金属氧化物状态的半导体材料形成，作为施加高频功率的反溅射法选择性地使电阻器脱氧后的电信号传输用连接桥。