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公开(公告)号：KR100209399B1
公开(公告)日：1999-07-15
申请号：KR1019940015346
申请日：1994-06-30
Applicant: 대우전자주식회사
Inventor： 민용기
IPC: G02F1/015
Abstract: 본 발명은 광로조절장치의 제조방법에 관한 것으로서, 트랜지스터들이 매트릭스 형태로 내장된 구동기판의 상부에 희생막을 형성한 후, 상기 트랜지스터가 형성된 구동기판의 일부분이 노출되도록 상기 희생막을 패터닝하는 공정과, 상기 희생막 및 상기 희생막의 패터닝으로 노출된 구동기판의 상부에 멤브레인을 형성하는 공정과, 상기 트랜지스터의 상측에 형성된 멤브레인이 노출되도록 상기 멤브레인의 상부에 신호전극을 형성하는 공정과, 상기 신호전극의 상부에 변형부 및 반사막을 형성하는 공정과, 상기 멤브레인의 노출된 부분에 상기 트랜지스터를 노출시키는 개구를 형성하고, 상기 개구에 상기 트랜지스터의 드레인영역과 접촉되는 플러그를 형성하는 공정과, 상기 플러그와 신호전극을 전기적으로 연결하는 드레인전극을 형성하는 공� ��과, 상기 희생막을 제거하는 공정을 구비한다. 따라서, 본 발명은 변형부를 형성한 후에 플러그와 드레인전극을 형성하므로 열처리시 고온공정에 의해 발생되는 구동기판의 열화를 방지할 수 있다.
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公开(公告)号：KR100203577B1
公开(公告)日：1999-06-15
申请号：KR1019940034972
申请日：1994-12-19
Applicant: 대우전자주식회사
Inventor： 민용기
IPC: G02F1/015
CPC classification number: G02B26/0858 , Y10S359/904
Abstract: 본 발명은 광로조절장치와 그 제조방법에 관한 것으로, 다수의 트랜지스터소자가 매트릭스 어레이형태로 내재된 액티브 매트릭스기판상에 형성된 신호전극패드에 전기적으로 접속되는 하부전극과, 그 하부전극상에 형성된 저온열처리에 의해 성형가능한 제1변형부, 그 제1변형부상에 형성된 중간전극, 그 중간전극의 상측에 저온열처리에 의해 성형가능한 제2변형부, 그 제2변형부상에 형성되어 반사영역에서 상기 하부전극과 전기적으로 접속되는 형태의 상부전극을 포함하여 구성되고, 중간전극을 공통전극으로 형성함과 더불어 상부전극과 하부전극은 공통접속하여 신호전극으로 작용하도록 형성하면서 Zn0소재를 사용하여 고온의 열처리공정이 배제되도록 한 것이다.
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公开(公告)号：KR1019980069200A
公开(公告)日：1998-10-26
申请号：KR1019970006132
申请日：1997-02-27
Applicant: 대우전자주식회사
IPC: H04N5/74
Abstract: 박막형 광로 조절 장치가 개시되어 있다. 상기 장치는, M×N(M, N은 정수)개의 트랜지스터가 내장되고 일측 상부에 드레인 패드가 형성된 액티브 매트릭스, 각기 ⅰ) 상기 액티브 매트릭스의 상부에 형성된 멤브레인, ⅱ) 상기 멤브레인의 상부에 각기 형성된 하부 전극, ⅲ) 상기 하부 전극의 상부에 각기 형성된 변형층 및 ⅳ) 상기 변형층의 상부에 형성된 상부 전극을 포함하며 서로 같은 방향으로 구동하는 복수개의 액츄에이팅부, 그리고 상기 액츄에이팅부들의 상부에 형성된 거울을 포함한다. 상기 장치에 따르면, 액티브 매트릭스 상부의 드레인 패드가 형성된 부분을 피하여 액츄에이팅부들을 형성한 후, 금속선을 통하여 드레인 패드로부터 하부 전극들에 화상 신호를 인가하기 때문에, 액티브 매트릭스에 내장된 트랜지스터가 손상을 입는 것을 최소화할 수 있다. 또한, 액츄에이팅부들의 일측에 두껍게 공통 전극선을 형성함으로써, 공통 전극선 내부의 전압 강하를 최소화하여 상부 전극들에 변형층들이 변형을 일으키는 데 필요한 충분한 전압을 인가할 수 있다. 그리고, 제2 희생층을 도포하고 복수 개의 지지부를 통하여 거울을 지지함으로써, 거울의 수평도를 향상시킬 수 있다.
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公开(公告)号：KR1019980069199A
公开(公告)日：1998-10-26
申请号：KR1019970006131
申请日：1997-02-27
Applicant: 대우전자주식회사
Inventor： 민용기
IPC: G02F1/015
Abstract: 광효율을 향상시킬 수 있는 박막형 광로 조절 장치 및 이의 제조 방법이 개시되어 있다. 상기 장치는 M×N(M, N은 정수)개의 트랜지스터가 내장되고, 일측 상부에 드레인 패드가 형성된 액티브 매트릭스, 상기 액티브 매트릭스의 일측 상부에 일측이 접촉되며 타측이 제1 에어 갭을 개재하여 상기 액티브 매트릭스와 평행하도록 형성된 멤브레인, 상기 멤브레인의 상부에 형성된 하부 전극, 상기 하부 전극의 상부에 형성된 변형층, 상기 변형층의 상부에 적층된 상부 전극, 상기 변형층의 일측 상부로부터 상기 드레인 패드까지 수직하게 형성된 비어 컨택(via contact)을 포함하는 액츄에이터, 그리고 상기 상부 전극의 일측 상부 및 인접한 액츄에이터의 상부 전극의 타측 상부에 포스트를 갖는 거울을 포함한다. 상기 장치는 거울이 복수 개의 포스트에 의해 지지되어 있으므로, 거울의 휘어짐이나 하방으로 처짐이 방지되어 광원으로부터 입사되는 광속의 반사각을 일정하게 함과 동시에 반사각을 증가시켜서 광효율을 향상시킬 수 있다.
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公开(公告)号：KR1019970078551A
公开(公告)日：1997-12-12
申请号：KR1019960018395
申请日：1996-05-29
Applicant: 대우전자주식회사
Inventor： 민용기
IPC: G02F1/015
Abstract: 본 발명에 따른 M×N개의 박막형 광로 조절 장치의 어레이는 구동기판, 비활성층, 식각 방지층 및 M×N개의 구동 구조의 어레이를 포함한다. 상기 각 구동 구조는 다른 쪽 끝에 돌출부 및 관통되는 식각 구멍을 갖으며 게다가 수평 스트라이프를 갖는 박막형 제1전극, 박막형 제2전극, 탄성부 및 플러그를 포함한다. 상기 수평 스트라이프, 돌출부 및 식각 구멍은 각 박막형 광로 조절 장치의 광효율을 증가시키고 린스 액의 제거를 용이하게 하며 박막형 회생층의 제거를 용이하게 하도록 한다.
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Patent Agency Ranking
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公开(公告)号：KR1019970006697B1
公开(公告)日：1997-04-29
申请号：KR1019930025878
申请日：1993-11-30
Applicant: 대우전자주식회사
Inventor： 민용기
IPC: H04N5/74
Abstract: A method of fabricating an optical path controller includes the steps of forming a first sacrificial layer on a driving substrate on which contact terminals are formed, the first sacrificial layer having no contact with the contact terminals, the driving substrate including transistors arranged in matrix form, forming first supports surrounding the contact terminals on a region where the first sacrificial layer is not formed, removing a predetermined portion of the first supports to expose the contact terminal, thereby forming trenches, forming plugs in the trenches and forming a signal electrode electrically connected to the plugs on the first sacrificial layer and first supports, sequentially forming a modification portion and bias electrode on the signal electrode, dividing the bias electrode and modification portion to allow them to be isolated from those of neighboring actuator by a predetermined distance, forming a modification portion thereon, forming a second sacrificial layer to expose a predetermined portion between the first supports adjacent to the top of the bias electrode and forming a second supports on the exposed portion of the bias electrode, forming a mirror body on the second sacrificial layer and second supports, removing a predetermined portion of the mirror body to elastic portion, to expose a predetermined portion of the substrate, forming a mirror on the mirror body and removing the first and second sacrificial layers.
Abstract translation: 制造光路控制器的方法包括以下步骤：在其上形成接触端子的驱动基板上形成第一牺牲层，第一牺牲层不与接触端子接触，驱动基板包括以矩阵形式布置的晶体管， 在不形成第一牺牲层的区域上形成围绕接触端子的第一支撑件，去除第一支撑件的预定部分以暴露接触端子，从而形成沟槽，在沟槽中形成插塞并形成电连接到 所述第一牺牲层上的插塞并且首先支撑，在所述信号电极上顺序地形成修改部分和偏置电极，将所述偏置电极和修改部分分开以允许它们与相邻致动器的距离隔离预定距离，形成修改 部分，形成第二牺牲层 暴露位于偏置电极顶部附近的第一支撑件之间的预定部分，并在偏置电极的暴露部分上形成第二支撑件，在第二牺牲层和第二支撑件上形成镜体，去除预定部分的 镜体到弹性部分，以暴露基板的预定部分，在镜体上形成反射镜并去除第一和第二牺牲层。
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公开(公告)号：KR1019970006696B1
公开(公告)日：1997-04-29
申请号：KR1019930025877
申请日：1993-11-30
Applicant: 대우전자주식회사
Inventor： 민용기
IPC: H04N5/74
Abstract: A method of fabricating an optical path controller includes the steps of forming a first sacrificial layer on a driving substrate on which contact terminals are formed, the first sacrificial layer having no contact with the contact terminals, the driving substrate including transistors arranged in matrix form, forming first supports surrounding the contact terminals on a region where the first sacrificial layer is not formed, forming an elastic portion on the first sacrificial layer and first supports and removing a predetermined portion of the elastic portion and supports to form trenches, forming plugs in the trenches and forming a signal electrode electrically connected to the plugs on the elastic portion, sequentially forming a modification portion and bias electrode on the signal electrode, forming a second sacrificial layer to expose a predetermined portion between the first supports adjacent to the top of the bias electrode and forming a second supports on the exposed portion of the bias electrode, forming a mirror body on the second sacrificial layer and second supports, removing a predetermined portion of the mirror body to elastic portion, to expose a predetermined portion of the substrate, forming a mirror on the mirror body and removing the first and second sacrificial layers.
Abstract translation: 制造光路控制器的方法包括以下步骤：在其上形成接触端子的驱动基板上形成第一牺牲层，第一牺牲层不与接触端子接触，驱动基板包括以矩阵形式布置的晶体管， 在所述第一牺牲层未形成的区域上形成围绕所述接触端子的第一支撑件，在所述第一牺牲层上形成弹性部分，并且首先支撑和移除所述弹性部分的预定部分并支撑以形成沟槽， 沟槽并形成与弹性部分上的插头电连接的信号电极，在信号电极上顺序地形成修改部分和偏置电极，形成第二牺牲层，以暴露与偏置顶部相邻的第一支撑件之间的预定部分 并在其暴露部分上形成第二支撑 所述偏置电极在所述第二牺牲层上形成镜体和第二支撑件，将所述镜体的预定部分移除到弹性部分，以暴露所述基板的预定部分，在所述镜体上形成反射镜并移除所述第一和 第二牺牲层。
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公开(公告)号：KR1019970006682B1
公开(公告)日：1997-04-29
申请号：KR1019930022795
申请日：1993-10-29
Applicant: 대우전자주식회사
Inventor： 민용기
IPC: H04N5/74
Abstract: A technique is described that provides a method for fabricating a control device of a light guiding path which does not require a groove where the body of mirror is fitted. The method includes the steps of forming a first groove 43 on a ceramic plate 41, preparing a ceramic wafer 49 by fixing another ceramic plate in the first groove 43, forming signal electrodes 51 at a variation part 45 and then mounting the prepared ceramic wafer 49 on a driving plate 53 so that the signal electrodes 51 can be contacted to a connection terminal 55, a bias electrodes 59 on the variation part 45, forming a nonconducting bond layer 47 and dielectric layer 63, forming mirror bodies 67 over a nonconducting bond 47, forming mirror bodies 67 and a supporting part 65, and forming mirror surface 69. Thereby, it is possible to increase the planerization degree of the mirror surface 69 and prevent the deterioration thereof.
Abstract translation: 描述了一种技术，其提供了一种用于制造光导路径的控制装置的方法，其不需要安装镜体的凹槽。 该方法包括以下步骤：在陶瓷板41上形成第一凹槽43，通过将另一个陶瓷板固定在第一凹槽43中来制备陶瓷晶片49，在变形部分45形成信号电极51，然后安装制备的陶瓷晶片49 在驱动板53上，使得信号电极51可以与连接端子55，变化部分45上的偏置电极59接触，形成不导电接合层47和电介质层63，在不导电接合点47上形成镜体67 ，形成镜体67和支撑部65，并形成镜面69.由此，可以提高镜面69的平面化度并防止其劣化。
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