디스플레용 박막 트랜지스터 및 그 제조 방법
    2.
    发明公开
    디스플레용 박막 트랜지스터 및 그 제조 방법 失效
    用于其显示和制造方法的薄膜晶体管

    公开(公告)号:KR1020080083882A

    公开(公告)日:2008-09-19

    申请号:KR1020070024673

    申请日:2007-03-13

    Abstract: A thin film transistor for display and a manufacturing method thereof are provided to prevent chemical and thermal damage of a flexible substrate by performing an ICP-RIE process at low temperature. A gate electrode layer(12) is formed on a flexible substrate(11). A first insulating layer(13) is formed on the flexible substrate and the gate electrode layer. A source(14a) and a drain(14b) are formed on the first insulating layer. An active layer(15) is formed on the first insulating layer between the source and the drain. A second insulating layer(16) is formed on the first insulating layer, the source, and the drain. A drain electrode is connected to the drain by opening the second insulating layer. The drain electrode is composed of a CNT distribution conducting polymer.

    Abstract translation: 提供一种用于显示的薄膜晶体管及其制造方法,以通过在低温下进行ICP-RIE工艺来防止柔性基板的化学和热损伤。 栅极电极层(12)形成在柔性基板(11)上。 第一绝缘层(13)形成在柔性基板和栅电极层上。 源极(14a)和漏极(14b)形成在第一绝缘层上。 在源极和漏极之间的第一绝缘层上形成有源层(15)。 在第一绝缘层,源极和漏极上形成第二绝缘层(16)。 通过打开第二绝缘层将漏极连接到漏极。 漏电极由CNT分布导电聚合物组成。

    열구동 방식의 일체형 잉크젯 프린트헤드 및 그 제조방법
    3.
    发明公开
    열구동 방식의 일체형 잉크젯 프린트헤드 및 그 제조방법 无效
    热驱单片喷墨打印机及其制造方法

    公开(公告)号:KR1020060070696A

    公开(公告)日:2006-06-26

    申请号:KR1020040109271

    申请日:2004-12-21

    Abstract: 열구동 방식의 일체형 잉크젯 프린트헤드 및 그 제조방법이 개시된다. 개시된 일체형 잉크젯 프린트헤드는 잉크 챔버가 표면쪽에 형성되고, 매니폴드가 배면쪽에 형성되며, 잉크 챔버와 매니폴드 사이에는 리스트릭터가 형성된 기판; 기판 상에 적층되는 다수의 보호층과 이 보호층들 위에 적층되는 열발산층을 포함하며, 노즐이 관통되어 형성된 노즐 플레이트; 및 노즐 플레이트의 보호층들 사이에 마련되는 히터와 도체;를 구비하며, 열발산층은 실리콘(Si)을 포함하는 물질로 이루어진다.

    잉크젯 프린트헤드 및 그 제조방법

    公开(公告)号:KR100499132B1

    公开(公告)日:2005-07-04

    申请号:KR1020020065184

    申请日:2002-10-24

    Abstract: 잉크젯 프린트헤드 및 그 제조방법이 개시된다. 개시된 잉크젯 프린트헤드는, 토출될 잉크가 채워지는 잉크 챔버가 그 표면쪽에 형성되고, 잉크 챔버로 잉크를 공급하기 위한 매니폴드가 그 배면쪽에 형성되며, 잉크 챔버와 매니폴드를 연결하는 잉크 유로가 그 표면에 나란하게 형성된 기판; 및 기판 상에 적층되는 것으로, 잉크 챔버로부터 잉크가 토출되는 노즐이 형성되고, 히터 및 히터와 전기적으로 연결되어 히터에 전류를 인가하는 전극이 배치된 노즐판;을 구비한다. 이와 같은 본 발명에 따르면, 잉크 유로는 잉크 챔버와 동일 평면 상에서 기판의 표면에 나란하게 형성됨으로써 잉크의 토출 성능을 향상시킬 수 있으며, 최적의 형상을 가지는 잉크 챔버 및 잉크 유로를 형성할 수 있다.

    디스플레용 박막 트랜지스터의 제조 방법
    5.
    发明公开
    디스플레용 박막 트랜지스터의 제조 방법 无效
    用于显示的薄膜晶体管的制造方法

    公开(公告)号:KR1020080081751A

    公开(公告)日:2008-09-10

    申请号:KR1020070022205

    申请日:2007-03-06

    CPC classification number: H01L51/0017 H01L51/0545

    Abstract: A method of manufacturing a thin film transistor for a display device is provided to prevent cations from being accumulated in a channel region by removing a negative bias applied by an RF(Radio Frequency) generator. A gate layer(32) is formed on a substrate(31). An insulation layer(33) is formed on the substrate and the gate layer. A source(34a) and a drain(34b) are formed on the insulation layer. Active materials are applied on the insulation layer, the source, and the drain. The active material is etched by using an ICP-RIE(Inductively Coupled Plasma-Reactive Ion Etching) process, such that an active layer(35) is formed. The substrate is mounted on a substrate mounting unit inside an etching chamber. Plasma is generated in the etching chamber by using an RF generator. A pulse generator is connected to the RF generator and a negative bias is periodically removed from the RF generator.

    Abstract translation: 提供制造用于显示装置的薄膜晶体管的方法,以通过消除由RF(射频)发生器施加的负偏压来防止阳离子积聚在沟道区中。 在基板(31)上形成栅极层(32)。 在衬底和栅极层上形成绝缘层(33)。 源极(34a)和漏极(34b)形成在绝缘层上。 活性材料应用于绝缘层,源极和漏极。 通过使用ICP-RIE(电感耦合等离子体 - 反应离子蚀刻)工艺来蚀刻活性材料,从而形成活性层(35)。 衬底安装在蚀刻室内的衬底安装单元上。 通过使用RF发生器在蚀刻室中产生等离子体。 脉冲发生器连接到RF发生器,并且从RF发生器周期性地移除负偏压。

    이미지 드럼의 제조장치 및 이를 이용한 제조방법
    6.
    发明授权
    이미지 드럼의 제조장치 및 이를 이용한 제조방법 失效
    图像鼓的制造装置及其制造方法

    公开(公告)号:KR100785474B1

    公开(公告)日:2007-12-13

    申请号:KR1020050125203

    申请日:2005-12-19

    Abstract: 인쇄장치에서 이미지 형성을 위해 토너를 선택적으로 흡착하는 이미지 드럼의 제조장치 및 이를 이용한 제조방법이 개시된다. 이미지 드럼의 제조방법은 중공의 원통형으로 형성되고 내면에 원주 방향으로 복수개의 성형 홈을 새긴 성형 몰드, 및 성형 몰드의 중공보다 작은 크기의 반경을 가지고 슬릿 형상의 결속 홈이 형성된 코어부를 제공하는 단계, 성형 몰드의 성형 홈에 도전성 물질을 채우는 단계, 각 단자에 전압을 독립적으로 인가하기 위한 제어 유닛을 코어부의 결속 홈에 도전성 물질에 대응하는 도전 패턴이 외부로 부분적으로 노출되도록 삽입하는 단계, 도전 패턴과 성형 홈의 도전성 물질이 각각 대응하도록 성형 몰드에 코어부를 삽입하는 단계 및 성형 몰드와 코어부 사이의 공간에 용융 플라스틱을 채워서 제어 유닛 및 도전성 물질과 일체를 이루는 드럼 몸체를 형성하는 단계를 구비한다. 드럼 몸체의 표면에 도전성 물질을 사출 성형하며, 제어 유닛을 수용하는 드럼 몸체가 인서트 사출을 통해서 형성되므로 종래에 일일이 링 전극을 새기고, 제어 유닛을 드럼 몸체에 고정시키는 공정을 극히 단순화시킬 수 있으며, 작업 공정도 보다 쉬우므로 제조 비용을 줄일 수 있다.
    이미지 드럼, 제어 유닛, 제어 유닛 가이드

    컬러 필터용 블랙 매트릭스의 제조방법
    7.
    发明公开
    컬러 필터용 블랙 매트릭스의 제조방법 无效
    制作彩色滤光片黑色矩阵的方法

    公开(公告)号:KR1020070055301A

    公开(公告)日:2007-05-30

    申请号:KR1020050123162

    申请日:2005-12-14

    Abstract: 컬러 필터용 블랙 매트릭스의 제조방법이 개시된다. 개시된 블랙 매트릭스의 제조방법은, 투명 기판의 표면에 소수성 유기물로 이루어진 차광층을 형성하는 단계; 차광층을 패터닝하여 블랙 매트릭스를 형성하는 단계; 및 블랙 매트릭스를 가열하면서 투명 기판의 배면 쪽에 자외선을 조사하여 블랙 매트릭스의 측면을 친수화시키는 단계;를 포함한다.

    Abstract translation: 提供一种制造滤色器的黑矩阵的方法。 在该方法中,在透明基板的上表面上形成由疏水性有机材料形成的黑矩阵层。 通过构图黑矩阵层形成黑矩阵。 通过在加热黑色矩阵的同时用紫外线照射透明基板的下表面,使黑色矩阵的侧表面变得亲水。

    일체형 잉크젯 프린트헤드 및 그 제조방법
    8.
    发明公开
    일체형 잉크젯 프린트헤드 및 그 제조방법 有权
    单片喷墨打印头及其制造方法,包括可以减少喷嘴之间的间隙的墨水罐

    公开(公告)号:KR1020040107591A

    公开(公告)日:2004-12-23

    申请号:KR1020030036332

    申请日:2003-06-05

    Abstract: PURPOSE: A monolithic ink jet print head and a method for manufacturing the same are provided to print an image having a high resolution by installing an ink chamber capable of reducing a gap between nozzles. CONSTITUTION: A monolithic ink jet print head includes a substrate(110) having an ink chamber, a manifold, and an ink channel. The ink chamber(106) filled with ink is formed on an upper surface of the substrate(110). The manifold supplying ink to the ink chamber(106) is formed at the substrate. An ink channel(104) is formed between the ink chamber and the manifold. A sidewall(111) is formed from the surface of the substrate(110) with a predetermined depth so as to define a side surface of the ink chamber. A bottom wall(112) is formed with a predetermined depth from the surface of the substrate(110) so as to define a bottom surface of the ink chamber(106).

    Abstract translation: 目的:提供一种单片喷墨打印头及其制造方法,通过安装能够减少喷嘴之间的间隙的墨室来打印具有高分辨率的图像。 构成:单片式喷墨打印头包括具有墨水室,歧管和墨水通道的基底(110)。 填充有墨的墨室(106)形成在基板(110)的上表面上。 向墨水室(106)供墨的歧管形成在基板上。 墨水通道(104)形成在墨水室和歧管之间。 从衬底(110)的表面以预定深度形成侧壁(111),以限定墨水室的侧表面。 底壁(112)从衬底(110)的表面形成有预定深度,以便限定油墨室(106)的底表面。

    점착 방지 미세 구조물 제조 방법
    9.
    发明授权
    점착 방지 미세 구조물 제조 방법 有权
    점착방지미세구조물제조방법

    公开(公告)号:KR100421217B1

    公开(公告)日:2004-03-02

    申请号:KR1020010030085

    申请日:2001-05-30

    Inventor: 배기덕 윤용섭

    CPC classification number: B81B3/0005

    Abstract: A method of fabricating micro-electromechanical system (MEMS) structures that can prevent stiction between a microstructure and a substrate or adjacent structures after etching for releasing the microstructure is provided. In a micromaching process for fabricating a microstructure suspended above a substrate using a sacrificial layer, the fabricating method includes stacking an anti-stiction layer, which can be removed by dry etching, before or after stacking a sacrificial layer.

    Abstract translation: 提供了一种制造微机电系统(MEMS)结构的方法,所述微机电系统(MEMS)结构可以防止在微结构与衬底或相邻结构之间的蚀刻之后用于释放微结构的粘附。 在使用牺牲层制造悬浮在衬底上的微结构的微制造工艺中,制造方法包括在堆叠牺牲层之前或之后堆叠可通过干法蚀刻去除的抗粘附层。

    전기 습윤 소자 및 그 제조 방법
    10.
    发明公开
    전기 습윤 소자 및 그 제조 방법 审中-实审
    电润湿装置及制造电润湿装置的方法

    公开(公告)号:KR1020130024102A

    公开(公告)日:2013-03-08

    申请号:KR1020110087343

    申请日:2011-08-30

    CPC classification number: G02B26/005

    Abstract: PURPOSE: An electrowetting device and a manufacturing method thereof are provided to easily form an electrode by extending a partition for electrodes. CONSTITUTION: A second medium does not mix with a first medium. The refractive index of the first medium is different from the refractive index of the second medium. An upper electrode(130) controls the angle of the boundary surface of the first and second mediums. A partition(140) surrounds the first and second mediums.

    Abstract translation: 目的:提供一种电润湿装置及其制造方法,通过延伸用于电极的隔板来容易地形成电极。 构成:第二种介质与第一种介质不混合。 第一介质的折射率不同于第二介质的折射率。 上电极(130)控制第一和第二介质的边界面的角度。 分隔件(140)围绕第一和第二介质。

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