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公开(公告)号：WO2018034437A1
公开(公告)日：2018-02-22
申请号：PCT/KR2017/007879
申请日：2017-07-21
Applicant: 서울대학교산학협력단
IPC: G01N1/28 , G01N1/36 , H01L21/306 , H01L29/16 , H01L21/205 , H01L21/66 , H01L21/033
Abstract: 본 발명은 박막 물성측정 및 분석용 시료 제작 방법 및 이에 의해 제작된 시료에 관한 것으로, 보다 상세하게는 하나의 시료에서 여러 가지 물성을 측정하거나 분석할 수 있는 시료를 제작하는 방법 및 이에 의해 제작된 시료에 관한 것이다. 본 발명에 따른 박막 물성측정 및 분석용 시료 제작 방법은 기판의 전면에 절연 물질로 이루어진 제1층을 형성하고, 기판의 후면에 제2층을 형성하고, 제2층을 패터닝하고, 패터닝된 제2층을 마스크로 이용하여 기판의 후면을 식각하여 기판의 전면과 후면을 관통하는 관통공을 형성함으로써 제1층의 기판과 대향하는 면의 일부를 하나 이상 노출시키고, 기판의 후면을 통하여 제1층의 노출된 부분을 일부 식각하고, 그리고 제1층의 기판과 대향하는 면의 반대면 상에 대상 박막을 형성한다.
Abstract translation: 本发明涉及用于测量和分析薄膜的物理性质的样品制备方法和由此制备的样品，并且更具体地涉及能够测量或分析一个样品中的各种物理性质的样品制备方法 并通过该方法生成一个样本。 根据本发明的用于制造用于物理性质测量和分析的样品的方法包括：在衬底的前表面上形成第一绝缘材料层;在衬底的后表面上形成第二层;图案化第二层; 第二层用作掩模以蚀刻基板的后表面以形成贯穿基板的前表面和后表面的通孔，以暴露第一层的面向基板的表面的至少一部分， 对该层的暴露部分进行部分蚀刻，并且在第一层的与衬底相对的衬底的相对侧上形成目标薄膜。
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公开(公告)号：KR101353055B1
公开(公告)日：2014-01-17
申请号：KR1020110081813
申请日：2011-08-17
Applicant: 서울대학교산학협력단
IPC: G01N27/447 , G01N27/30
Abstract: 절연성 지지 부재 상의 나노 포어 구조를 이용한 이온 소자가 제공된다. 본 발명의 일 실시예에 따른 나노 포어 구조를 이용한 이온 소자는, 제1 영역 및 제2 영역을 포함하는 챔버; 제1 영역에 위치하는 제1 전극; 제1 전극에 대향하여 상기 제2 영역에 위치하는 제2 전극; 제1 전극 및 제2 전극의 사이에 위치하고, 중심에 위치하는 나노 포어를 포함하는 나노 포어 막; 및 나노 포어 막을 지지하도록 나노 포어의 주변에 위치하는 절연성 지지 부재를 포함하고, 제1 전극 및 제2 전극에 인가되는 전기적 신호에 의해 나노 포어를 통과하는 이온 이동을 발시키는 것을 특징으로 한다.
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公开(公告)号：KR1020120000520A
公开(公告)日：2012-01-02
申请号：KR1020110061325
申请日：2011-06-23
Applicant: 서울대학교산학협력단
Abstract: PURPOSE: A DNA analysis device using a nanopore structure is provided to easily control electric charge of the surface of the nanopores. CONSTITUTION: A DNA analysis device using a nanopore structure comprises: a chamber(10) which contains a solution and comprises first(12) and second(14) areas; a first electrode(30) placed at the first area; a second electrode(40) which is placed at the second area to face the first electrode; and an electric signal unit(50) which is placed between the first and second electrodes and is electrically linked to a conductive layer, and the first and second electrodes.
Abstract translation: 目的：提供使用纳米孔结构的DNA分析装置，以容易地控制纳米孔表面的电荷。 构成：使用纳米孔结构的DNA分析装置包括：容纳溶液并包含第一（12）和第二（14）区域的腔室（10） 放置在第一区域的第一电极（30） 第二电极（40），其位于所述第二区域以面对所述第一电极; 以及电信号单元（50），其被放置在第一和第二电极之间并且电连接到导电层，以及第一和第二电极。
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公开(公告)号：KR1020110015120A
公开(公告)日：2011-02-15
申请号：KR1020090072674
申请日：2009-08-07
Applicant: 서울대학교산학협력단
CPC classification number: G03F7/70625 , G03F1/76 , G03F7/063 , G03F7/162 , G03F7/2059 , G03F7/70408 , H01L29/0669
Abstract: PURPOSE: A method for forming a pattern is provided to easily form a pattern of nano-size and grid form. CONSTITUTION: A method for forming a pattern comprises: a step of placing an object having a crystalline structure and grid image on a chamber; a step of irradiating a first electron beam to the object; a step of exposing a substrate having the electron resist to a first electron beam; a step of rotating grid image; a step of irradiating a second electron beam to the object; a step of exposing the substrate to a second electron beam; a step of developing the electron beam resist to form an electron beam resist pattern; a step of etching electron beam resist pattern; and a step of forming a pattern from grid image.
Abstract translation: 目的：提供一种用于形成图案的方法，以容易地形成纳米尺寸和格子形式的图案。 构成：形成图案的方法包括：将具有晶体结构和栅格图像的物体放置在室上的步骤; 向所述物体照射第一电子束的步骤; 将具有电子抗蚀剂的基板暴露于第一电子束的步骤; 旋转网格图像的一步; 向所述物体照射第二电子束的步骤; 将衬底暴露于第二电子束的步骤; 显影电子束抗蚀剂以形成电子束抗蚀图案的步骤; 蚀刻电子束抗蚀图案的步骤; 以及从网格图像形成图案的步骤。
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公开(公告)号：KR101737946B1
公开(公告)日：2017-05-19
申请号：KR1020160103476
申请日：2016-08-16
Applicant: 서울대학교산학협력단
IPC: G01N1/28 , G01N1/36 , H01L21/306 , H01L21/205 , H01L21/66 , H01L21/033
CPC classification number: G01N1/28 , G01N1/36 , H01L21/033 , H01L21/205 , H01L21/306 , H01L29/16
Abstract: 본발명은박막물성측정및 분석용시료제작방법및 이에의해제작된시료에관한것으로, 보다상세하게는하나의시료에서여러가지물성을측정하거나분석할수 있는시료를제작하는방법및 이에의해제작된시료에관한것이다. 본발명에따른박막물성측정및 분석용시료제작방법은기판의전면에절연물질로이루어진제1층을형성하고, 기판의후면에제2층을형성하고, 제2층을패터닝하고, 패터닝된제2층을마스크로이용하여기판의후면을식각하여기판의전면과후면을관통하는관통공을형성함으로써제1층의기판과대향하는면의일부를하나이상노출시키고, 기판의후면을통하여제1층의노출된부분을일부식각하고, 그리고제1층의기판과대향하는면의반대면상에대상박막을형성한다.
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR1020130143429A
公开(公告)日：2013-12-31
申请号：KR1020120066985
申请日：2012-06-21
Applicant: 서울대학교산학협력단
Abstract: An ion element with a vertical nanochannel and a nanopore is provided. The ion element according to an embodiment of the present invention includes: an insulating substrate that has a cavity formed on the center; a first membrane that is located on the substrate and has a vertical nanochannel located in the upper portion of the cavity and penetrating the first membrane while having a first mean diameter; and a second membrane that is located on the first membrane and has a nanopore located in the upper portion of the vertical nanochannel and penetrating the second membrane while having a second mean diameter smaller than the first mean diameter.
Abstract translation: 提供了具有垂直纳米通道和纳米孔的离子元件。 根据本发明的实施方式的离子元件包括：绝缘基板，其具有形成在中心的空腔; 第一膜，其位于所述基底上并且具有位于所述空腔的上部中并穿透所述第一膜同时具有第一平均直径的垂直纳米通道; 以及第二膜，其位于所述第一膜上并且具有位于所述垂直纳米通道的上部中并且穿透所述第二膜的纳米孔，同时具有小于所述第一平均直径的第二平均直径。
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公开(公告)号：KR101197639B1
公开(公告)日：2012-11-07
申请号：KR1020100092512
申请日：2010-09-20
Applicant: 서울대학교산학협력단
CPC classification number: H01L31/1884 , B82Y30/00 , B82Y40/00 , C01B32/184 , C23C14/0605 , C30B1/023 , C30B29/02 , H01L21/02491 , H01L21/02513 , H01L21/02527 , H01L21/02667 , H01L31/022466 , Y02E10/50
Abstract: A method of forming graphene using an amorphous carbon layer and a solar cell including graphene formed by using the method. The method of forming graphene includes: forming an amorphous carbon layer on a substrate; forming a graphitizing catalyst layer on the amorphous carbon layer; and heat treating the amorphous carbon layer and the graphitizing catalyst layer to crystallize the amorphous carbon layer, thereby forming a graphene layer on the graphitizing catalyst layer.
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公开(公告)号：KR101143694B1
公开(公告)日：2012-05-09
申请号：KR1020090120640
申请日：2009-12-07
Applicant: 서울대학교산학협력단
Abstract: PURPOSE: A method for manufacturing graphine is provided to directly form the graphine on a substrate and to simplify process without graphine damage. CONSTITUTION: A method for manufacturing graphine comprises: a step of forming a carbon-dissolved metal thin film(230) on a substrate(210); and a step of performing thermal treatment of the metal thin film to form a laminate structure on the substrate.
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公开(公告)号：KR1020120035416A
公开(公告)日：2012-04-16
申请号：KR1020100096910
申请日：2010-10-05
Applicant: 서울대학교산학협력단
IPC: G01N33/48 , G01N35/00 , C23C16/455 , C23C16/00
CPC classification number: B81C1/00087
Abstract: PURPOSE: A method for preparing nanopore with limited size by atom layer deposition is provided to produce a large amount of nanopores with uniform size. CONSTITUTION: A method for preparing nanopores(25) comprises: a step of forming an opening part at a membrane(23); and a step of forming the nanopores by forming a cover film(24) from a precursor using ALD(atom layer deposition) at one side of the opening part. The membrane further comprises a conductive layer and insulation layer placed at upper side, lower side, and both sides of the conductive layer.
Abstract translation: 目的：提供通过原子层沉积制备具有有限尺寸的纳米孔的方法，以产生大量均匀的纳米孔。 构成：制备纳米孔（25）的方法包括：在膜（23）上形成开口部分的步骤; 以及通过在开口部的一侧使用ALD（原子层沉积）从前体形成覆盖膜（24）来形成纳米孔的步骤。 膜还包括导电层和放置在导电层的上侧，下侧和两侧的绝缘层。
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公开(公告)号：KR1020120000343A
公开(公告)日：2012-01-02
申请号：KR1020100060665
申请日：2010-06-25
Applicant: 서울대학교산학협력단
IPC: G01N27/414 , C12Q1/68
CPC classification number: G01N27/4145 , B82B1/008 , C01B32/182 , C12Q1/6816 , G01N27/26 , G01N27/4146
Abstract: PURPOSE: An ion device and a DNA analyzing device using a graphene nanopore structure are provided to implement a nano-size ion field transistor by applying gate voltage to graphene having conductivity to form an ion channel inside nanopore. CONSTITUTION: An ion device(100) using a graphene nanopore structure comprises a chamber(10), a first electrode(30), a second electrode(40), and a nanopore film(20). The chamber comprises a first area(12) in which the first electrode is located and a second area(14) in which the second electrode is located opposite to the first electrode. The nanopore film is composed of a graphene layer, which nanopre(25) passes through, and located between the first electrode and the second electrode. Ion current, which passes through the nanopore, is generated by an electric signal applied to the nanopore film and the first and second electrodes.
Abstract translation: 目的：提供使用石墨烯纳米孔结构的离子装置和DNA分析装置，以通过向具有导电性的石墨烯施加栅极电压以在纳米孔内形成离子通道来实现纳米尺寸离子场晶体管。 构成：使用石墨烯纳米孔结构的离子装置（100）包括室（10），第一电极（30），第二电极（40）和纳米孔膜（20）。 该腔室包括第一电极位于其中的第一区域（12）和第二区域（14），第二区域中第二电极与第一电极相对。 纳米孔膜由纳米孔（25）穿过并位于第一电极和第二电极之间的石墨烯层组成。 通过纳米孔的离子电流由施加到纳米孔膜和第一和第二电极的电信号产生。
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