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公开(公告)号：KR102199676B1
公开(公告)日：2021-01-07
申请号：KR1020190064556
申请日：2019-05-31
Applicant: 서울대학교산학협력단
IPC: G03F7/00 , G03F7/20 , H01L21/311
Abstract: 본발명은탄소나노튜브패터닝방법으로, 탄소나노튜브와흡착될표면처리물질을기판에소정패턴으로인쇄공정하는단계와, 기판을탄소나노튜브분산용액에침지시키는단계와, 기판을세척한후, 건조시키는단계를포함한다.
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公开(公告)号：KR1020200137743A
公开(公告)日：2020-12-09
申请号：KR1020190064556
申请日：2019-05-31
Applicant: 서울대학교산학협력단
IPC: G03F7/00 , G03F7/20 , H01L21/311
Abstract: 본발명은탄소나노튜브패터닝방법으로, 탄소나노튜브와흡착될표면처리물질을기판에소정패턴으로인쇄공정하는단계와, 기판을탄소나노튜브분산용액에침지시키는단계와, 기판을세척한후, 건조시키는단계를포함한다.
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