公开(公告)号：KR20210031272A

公开(公告)日：2021-03-19

申请号：KR1020190113028A

申请日：2019-09-11

Applicant: 서울대학교산학협력단

Inventor： 차국린 ,  김영모 ,  김유정

IPC: H01L29/778 ,  H01L21/02 ,  H01L21/28 ,  H01L29/66

CPC classification number: H01L29/778 ,  H01L21/02172 ,  H01L21/28008 ,  H01L29/66462 ,  H01L2924/01012 ,  H01L2924/01049 ,  H01L2924/0105 ,  H01L2924/01056 ,  H01L2924/01057

Abstract: BaSnO
3 와 LaInO
3 계면을 이용한 전자 소자로서, 상기 전자 소자는, 비-SrTiO
3 재질의 금속 산화물로 이루어진 기판; 상기 기판 상에 배치되고, BaSnO
3 재질로 형성된 제1 버퍼 레이어; 상기 제1 버퍼 레이어의 적어도 일부분에 배치되고, (Ba
1-x ,La
x )SnO
3 재질로 형성되는 BLSO 레이어 - 상기 x는 0 이상 1 이하의 값을 가짐 -; 적어도 일부분이 상기 BLSO 레이어의 적어도 일부분에 배치되어 상기 BLSO 레이어와의 사이에 계면(interface)을 이루고, LaInO
3 재질로 형성된 LIO 레이어; 및 적어도 일부분이 상기 BLSO 레이어와 상기 LIO 레이어 사이의 계면과 접촉하고, 적어도 2개 이상의 분리된 부분으로 형성되는, 제1 전극 레이어;를 포함하는, BaSnO
3 와 LaInO
3 계면을 이용한 전자 소자가 제공된다.

公开(公告)号：WO2021049686A1

公开(公告)日：2021-03-18

申请号：PCT/KR2019/011863

申请日：2019-09-11

Applicant: 서울대학교산학협력단

Inventor： 차국린 ,  김영모 ,  김유정

IPC: H01L29/778 ,  H01L29/66 ,  H01L21/28 ,  H01L21/285

Abstract: BaSnO3와 LaInO3 계면을 이용한 전자 소자로서, 상기 전자 소자는, 비-SrTiO3 재질의 금속 산화물로 이루어진 기판; 상기 기판 상에 배치되고, BaSnO3 재질로 형성된 제1 버퍼 레이어; 상기 제1 버퍼 레이어의 적어도 일부분에 배치되고, (Ba1-x,Lax)SnO3 재질로 형성되는 BLSO 레이어 - 상기 x는 0 이상 1 이하의 값을 가짐 -; 적어도 일부분이 상기 BLSO 레이어의 적어도 일부분에 배치되어 상기 BLSO 레이어와의 사이에 계면(interface)을 이루고, LaInO3 재질로 형성된 LIO 레이어; 및 적어도 일부분이 상기 BLSO 레이어와 상기 LIO 레이어 사이의 계면과 접촉하고, 적어도 2개 이상의 분리된 부분으로 형성되는, 제1 전극 레이어;를 포함하는, BaSnO3와 LaInO3 계면을 이용한 전자 소자가 제공된다.