BASNO3와 LAINO3 계면에서의 2차원 전자 가스

    公开(公告)号:WO2021049686A1

    公开(公告)日:2021-03-18

    申请号:PCT/KR2019/011863

    申请日:2019-09-11

    Abstract: BaSnO3와 LaInO3 계면을 이용한 전자 소자로서, 상기 전자 소자는, 비-SrTiO3 재질의 금속 산화물로 이루어진 기판; 상기 기판 상에 배치되고, BaSnO3 재질로 형성된 제1 버퍼 레이어; 상기 제1 버퍼 레이어의 적어도 일부분에 배치되고, (Ba1-x,Lax)SnO3 재질로 형성되는 BLSO 레이어 - 상기 x는 0 이상 1 이하의 값을 가짐 -; 적어도 일부분이 상기 BLSO 레이어의 적어도 일부분에 배치되어 상기 BLSO 레이어와의 사이에 계면(interface)을 이루고, LaInO3 재질로 형성된 LIO 레이어; 및 적어도 일부분이 상기 BLSO 레이어와 상기 LIO 레이어 사이의 계면과 접촉하고, 적어도 2개 이상의 분리된 부분으로 형성되는, 제1 전극 레이어;를 포함하는, BaSnO3와 LaInO3 계면을 이용한 전자 소자가 제공된다.

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