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公开(公告)号:KR1020090045845A
公开(公告)日:2009-05-08
申请号:KR1020080101698
申请日:2008-10-16
Applicant: 소니 가부시끼가이샤
CPC classification number: G01N15/1425 , G01N15/1436 , G01N15/1459 , G01N15/1484 , G01N21/6428 , G01N21/645 , G01N2015/1006 , G01N2015/1497 , G01N2021/058 , G01N2021/6419 , G01N2021/6421 , G01N2201/10 , G01N2201/11
Abstract: 기판 위에 배설(配設; provide)된 복수의 시료용 유로에 대해 광을 주사하고, 그 시료용 유로내에 도입된 미소 입자의 광학 측정을 행할 때에, 높은 측정 정밀도를 얻는 것이 가능한 측정 방법을 제공하는 것을 과제(목적)로 한다.
상기 과제를 해결하기 위해서, 기판(11) 위에 배설된 복수의 시료용 유로(111)에 대해 광을 주사하고, 그 시료용 유로(111) 내에 도입된 미소 입자의 광학 측정을 행하는 미소 입자 측정 방법에 있어서, 상기 시료용 유로(111)에 병설된 적어도 두개 이상의 참조 영역(113)에 대해, 상기 광을 순차(順次) 조사하고, 그 참조 영역(113)에 의해서 상기 광에 생기는 광학 특성의 변화를 검지하는 것에 의해, 상기 시료용 유로(111)에 대한 상기 광의 출사(出射; emission) 타이밍을 제어하는 것을 특징으로 하는 미소 입자 측정 방법을 제공한다.
미소 입자 측정 장치, 기판, 레이저 광원, 주사부, 대물 렌즈, 콜리메이터 렌즈, 검출기, 분광기, 광 제어부, 유로, 참조 영역, 검출 영역, 레이저광(측정광), 검출 대상광, 주사선.-
公开(公告)号:KR101670854B1
公开(公告)日:2016-10-31
申请号:KR1020080100094
申请日:2008-10-13
Applicant: 소니 가부시끼가이샤
CPC classification number: G01N15/1484 , B01L3/5027 , B01L9/527 , B01L2200/0647 , B01L2300/0816 , G01N15/1434 , G01N15/1459 , G01N21/6428 , G01N2015/1006 , G01N2015/1438
Abstract: 뛰어난측정처리속도및 측정정밀도를구비하는광학측정부및 광학검출용부재와, 이들을배설(配設; 배열, 이용)한미소입자측정장치를제공한다. 측정광의주사방향으로배설(배열)된복수의유로(11, 12, 13)에대해서, 같은(동일한) 방향으로복수의측정광(21, 22, 23)을주사해서, 그유로내에도입된미소입자의광학측정을행하는광학측정부를제공한다. 이광학측정부에있어서는, 하나의측정광이하나의유로에조사되고있는경우에있어서, 다른측정광은어느유로에도조사되지않도록측정광의주사를행하는것이가능하다.
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公开(公告)号:KR1020090039618A
公开(公告)日:2009-04-22
申请号:KR1020080100094
申请日:2008-10-13
Applicant: 소니 가부시끼가이샤
CPC classification number: G01N15/1484 , B01L3/5027 , B01L9/527 , B01L2200/0647 , B01L2300/0816 , G01N15/1434 , G01N15/1459 , G01N21/6428 , G01N2015/1006 , G01N2015/1438 , G01N21/00 , B01D43/00 , B01J19/00 , G01N21/01 , G01N21/031 , G01N21/13 , G01N21/51 , G01N21/53 , G01N21/85
Abstract: An optical measuring device, an optical measuring member and a fine particle measuring apparatus using the same are provided to improve measuring speed by flowing minute particle which is a measurement target into several flow channels and measuring optics through irradiating measurement light in one flow channel. An optical measuring device comprises: multiple flow channels(11,12,13) arranged in a scanning direction of measurement light; and multiple measurement lights(21,22,23) scanned in the same direction with a direction in which the flow channel is arranged. The optical measuring device is formed in the flow channel and performs the optical measurement of minute particle. In case one measurement light is irradiated in one flow channel, the other measurement light is not irradiated in the other flow channel.
Abstract translation: 提供了一种光学测量装置,光学测量部件和使用该光学测量部件的微粒测量装置,以通过在一个流动通道中照射测量光,使作为测量对象的微小颗粒流入几个流动通道并测量光学元件来提高测量速度。 光学测量装置包括:沿测量光的扫描方向布置的多个流动通道(11,12,13) 和多个测量光(21,22,23)沿与流动通道布置方向相同的方向扫描。 该光学测量装置形成在流路中,进行微粒的光学测量。 在一个测量光在一个流动通道中照射的情况下,另一个测量光不在另一个流动通道中照射。
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