公开(公告)号：WO2018093048A1

公开(公告)日：2018-05-24

申请号：PCT/KR2017/011403

申请日：2017-10-16

Applicant: 아주대학교산학협력단

Inventor： 서형탁 ,  이상연 ,  박아영

IPC: H01L29/778 ,  H01L29/51 ,  H01L29/43 ,  H01L21/02 ,  H01L29/786

Abstract: 산화인듐층 및 상기 산화인듐층과 접촉하는 산화알루미늄층을 포함하는 금속산화물 이종 접합 구조에 있어서, 상기 산화인듐층과 상기 산화알루미늄층 사이에 인듐 이온, 알루미늄 이온 및 산소 이온을 포함하고, 전하의 이동 채널을 제공하는 계면층이 형성된 것을 특징으로 하는, 금속산화물 이종 접합 구조.

公开(公告)号：KR101914835B1

公开(公告)日：2018-11-02

申请号：KR1020160154013

申请日：2016-11-18

Applicant: 아주대학교산학협력단

Inventor： 서형탁 ,  이상연 ,  박아영

IPC: H01L29/778 ,  H01L29/43 ,  H01L29/786

CPC classification number: H01L21/02 ,  H01L29/43 ,  H01L29/51 ,  H01L29/778 ,  H01L29/786

Abstract: 산화인듐층및 상기산화인듐층과접촉하는산화알루미늄층을포함하는금속산화물이종접합구조에있어서, 상기산화인듐층과상기산화알루미늄층사이에인듐이온, 알루미늄이온및 산소이온을포함하고, 전하의이동채널을제공하는계면층이형성된것을특징으로하는, 금속산화물이종접합구조.