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公开(公告)号:WO2018093048A1
公开(公告)日:2018-05-24
申请号:PCT/KR2017/011403
申请日:2017-10-16
Applicant: 아주대학교산학협력단
IPC: H01L29/778 , H01L29/51 , H01L29/43 , H01L21/02 , H01L29/786
Abstract: 산화인듐층 및 상기 산화인듐층과 접촉하는 산화알루미늄층을 포함하는 금속산화물 이종 접합 구조에 있어서, 상기 산화인듐층과 상기 산화알루미늄층 사이에 인듐 이온, 알루미늄 이온 및 산소 이온을 포함하고, 전하의 이동 채널을 제공하는 계면층이 형성된 것을 특징으로 하는, 금속산화물 이종 접합 구조.
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公开(公告)号:WO2018080220A1
公开(公告)日:2018-05-03
申请号:PCT/KR2017/011972
申请日:2017-10-27
Applicant: 아주대학교산학협력단
IPC: G01N27/414 , G01N21/78 , H01L21/02
CPC classification number: G01N21/78 , G01N27/414 , H01L21/02
Abstract: 불소계 가스 감지 장치가 개시된다. 불소계 가스 감지 장치는 기판 및 기판 상에 배치되고 수소화된 전이금속 산화물을 포함하여 불소계 가스와 반응하는 경우 색이 변화하는 감지층을 구비한다. 이러한 불소계 가스 감지 장치는 감지층의 색변화를 통해 불소계 가스를 감지할 수 있다.
Abstract translation: 公开了一种氟基气体传感装置。 氟基气体感测装置具有基板和设置在基板上并含有氢化过渡金属氧化物且在与氟基气体反应时变色的感测层。 这些基于氟的气体传感装置可以通过改变传感层的颜色来检测氟基气体。 P>
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公开(公告)号:KR101914835B1
公开(公告)日:2018-11-02
申请号:KR1020160154013
申请日:2016-11-18
Applicant: 아주대학교산학협력단
IPC: H01L29/778 , H01L29/43 , H01L29/786
CPC classification number: H01L21/02 , H01L29/43 , H01L29/51 , H01L29/778 , H01L29/786
Abstract: 산화인듐층및 상기산화인듐층과접촉하는산화알루미늄층을포함하는금속산화물이종접합구조에있어서, 상기산화인듐층과상기산화알루미늄층사이에인듐이온, 알루미늄이온및 산소이온을포함하고, 전하의이동채널을제공하는계면층이형성된것을특징으로하는, 금속산화물이종접합구조.
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公开(公告)号:KR101854533B1
公开(公告)日:2018-05-03
申请号:KR1020160141778
申请日:2016-10-28
Applicant: 아주대학교산학협력단
IPC: G01N27/414 , H01L21/02
CPC classification number: G01N21/78 , G01N27/414 , H01L21/02 , G01N27/4141 , G01N21/783 , H01L21/02172
Abstract: 불소계가스감지장치가개시된다. 불소계가스감지장치는기판및 기판상에배치되고수소화된전이금속산화물을포함하여불소계가스와반응하는경우색이변화하는감지층을구비한다. 이러한불소계가스감지장치는감지층의색변화를통해불소계가스를감지할수 있다.
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公开(公告)号:KR101672143B1
公开(公告)日:2016-11-03
申请号:KR1020150136194
申请日:2015-09-25
Applicant: 아주대학교산학협력단
IPC: G01N21/78 , G01N27/407 , B82B3/00 , B82Y15/00 , B82Y20/00
CPC classification number: G01N33/0052 , B01J23/38 , B01J23/44 , B01J23/75 , B01J35/0013 , B01J37/10 , B01J37/18 , B01J37/343 , B01J37/345 , B01J37/348 , C23C18/1208 , C25D11/26
Abstract: 불소계가스감지장치가개시된다. 불소계가스감지장치는기판및 기판상에배치되고수소화된이산화티타늄나노입자들을포함하여불소계가스와반응하는경우색이변화하는감지층을구비한다. 이러한불소계가스감지장치는감지층의색변화를통해불소계가스를감지할수 있다.
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公开(公告)号:KR101788929B1
公开(公告)日:2017-11-15
申请号:KR1020150136193
申请日:2015-09-25
Applicant: 아주대학교산학협력단
IPC: H01L29/786 , H01L29/51 , H01L21/02
CPC classification number: H01L29/7869 , H01L21/02554 , H01L21/02565 , H01L21/02667 , H01L29/04 , H01L29/22 , H01L29/24 , H01L29/66969 , H01L29/78696
Abstract: 금속산화물박막의전기전도도향상방법이개시된다. 금속산화물박막의전기전도도는금속산화물박막을열처리한후 물분자및 산소분자를포함하는분위기에서금속산화물박막에자외선을조사하여금속산화물박막에수소를도핑함으로써향상될수 있다. 이러한방법에따르면투명도를저하시키지않으면서영구적으로금속산화물박막의전기전도도를향상시킬수 있다.
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8.금속산화물 박막의 전기 전도도 향상 방법 및 이에 의해 전도도가 조절된 금속산화물 박막을 포함하는 박막트랜지스터 有权
Title translation: 一种改善金属氧化物薄膜的导电性的方法和一种包括具有受控导电性的金属氧化物薄膜的薄膜晶体管公开(公告)号:KR1020170037089A
公开(公告)日:2017-04-04
申请号:KR1020150136193
申请日:2015-09-25
Applicant: 아주대학교산학협력단
IPC: H01L29/786 , H01L29/51 , H01L21/02
CPC classification number: H01L29/7869 , H01L21/02554 , H01L21/02565 , H01L21/02667 , H01L29/04 , H01L29/22 , H01L29/24 , H01L29/66969 , H01L29/78696
Abstract: 금속산화물박막의전기전도도향상방법이개시된다. 금속산화물박막의전기전도도는금속산화물박막을열처리한후 물분자및 산소분자를포함하는분위기에서금속산화물박막에자외선을조사하여금속산화물박막에수소를도핑함으로써향상될수 있다. 이러한방법에따르면투명도를저하시키지않으면서영구적으로금속산화물박막의전기전도도를향상시킬수 있다.
Abstract translation: 公开了一种用于改善金属氧化物薄膜的导电性的方法。 通过在含有水分子和氧分子的气氛中用紫外线照射金属氧化物薄膜,通过对金属氧化物薄膜进行热处理,然后用氢掺杂金属氧化物薄膜,可以提高金属氧化物薄膜的导电性。 根据该方法,可以永久地改善金属氧化物薄膜的电导率而不降低透明度。
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