公开(公告)号：KR102010637B1

公开(公告)日：2019-08-13

申请号：KR1020167010178

申请日：2014-09-05

Applicant: 아토테크더치랜드게엠베하

Inventor： 슈타인헤우저에디트 ,  비제슈테파니 ,  그레고리아즈로렌스존 ,  쉬만율리아 ,  슈탐프루츠

IPC: C23C18/20 ,  C23C18/24 ,  C23G1/10 ,  H05K3/00 ,  C23C18/30 ,  C23C18/40

公开(公告)号：KR1020160062054A

公开(公告)日：2016-06-01

申请号：KR1020167010178

申请日：2014-09-05

Applicant: 아토테크더치랜드게엠베하

Inventor： 슈타인헤우저에디트 ,  비제슈테파니 ,  그레고리아즈로렌스존 ,  쉬만율리아 ,  슈탐프루츠

IPC: C23C18/20 ,  C23C18/24 ,  C23G1/10 ,  H05K3/00 ,  C23C18/30 ,  C23C18/40

CPC classification number: C23G1/103 ,  B08B9/027 ,  C11D7/08 ,  C11D7/10 ,  C11D7/263 ,  C23C18/2086 ,  C23C18/24 ,  C23C18/30 ,  C23C18/40 ,  C23C18/405 ,  H05K3/0055 ,  H05K2203/0789

Abstract: 본발명은인쇄회로기판, IC 기판등의제작중에스미어제거를위해유전체재료내의오목구조물을처리하는방법에관한것이다. 유전체재료는 60 내지 80 중량% 황산과 0.04 내지 0.66 mol/l 페록소이황산염이온그리고알코올, 분자에테르및 중합체에테르로부터선택되는적어도하나의안정화제첨가제를포함하는수용액과접촉된다. 스미어는유전체재료내로처리화학약품의투과없이본 발명에따른방법에의해오목구조물로부터제거되며충분히낮은구리에칭속도가달성된다. 게다가, 상기수용액의저장수명은심지어구리이온이존재할때에도개선된다.