公开(公告)号：KR1020100013593A

公开(公告)日：2010-02-10

申请号：KR1020080075190

申请日：2008-07-31

Applicant: 재단법인서울대학교산학협력재단

Inventor： 권성훈 ,  박욱 ,  박현성

IPC: H01L21/027

CPC classification number: B82B3/0009 ,  B82Y40/00

Abstract: PURPOSE: A method and a system for transporting a fine structure are provided to control the position of micro pipe to be vertical to the microstructure by using a protruded guide and a fine structure. CONSTITUTION: A microstructures transport system includes a fluidic channel(110) and a microstructures(120) is located inside the stream tube. The stream tube includes a rail(140) of the groove type. The microstructures moves along with the rail. The microstructures includes a protruded guide(150). The guide prevent the microstructures from deviated off the rail. The guide has one side of a wedge(160). The pointed edge(162) of wedge is not arranged at the center of the guide and is leaned one of both sides of the rail.

Abstract translation: 目的：提供一种运输精细结构的方法和系统，以通过使用突出的导向和精细结构来控制微管垂直于微结构的位置。 构成：微结构输送系统包括流体通道（110），微流体（120）位于流管内。 流管包括槽型的轨道（140）。 微结构与轨道一起移动。 微结构包括突出导向件（150）。 导轨可防止微结构偏离轨道。 导轨具有楔形物的一侧（160）。 楔形物的尖锐边缘（162）不布置在引导件的中心并且倾斜轨道两侧之一。

公开(公告)号：KR100893167B1

公开(公告)日：2009-04-16

申请号：KR1020070100472

申请日：2007-10-05

Applicant: 재단법인서울대학교산학협력재단

Inventor： 권성훈 ,  정수은 ,  박욱

IPC: G03F7/20 ,  G03F7/004

Abstract: 본 발명은 에너지 경화성 물질을 이용한 미세구조물 생성 및 처리 시스템으로서, 보다 구체적으로 다양한 에너지 경화성 유체에 선택적으로 에너지를 공급하여 원하는 형상의 미세구조물을 생성한 후, 상기 미세구조물을 일정 패턴에 따라 이동, 배열 또는 결합하는 시스템에 관한 것이다.
본 발명의 제1 측면은 광원; 상기 광원에서 조사된 광을 선택된 특성을 갖는 광으로 변형하는 변형 수단; 내부에 광경화성 유체가 흐르며, 상기 변형 수단에서 제공된 광에 따라 상기 광경화성 유체를 선택적으로 경화하여 미세구조물을 생성하는 유체관; 및 상기 유체관에 배치되어 상기 미세구조물을 일정 패턴에 따라 이동, 배열 또는 결합하는 처리수단 등으로 구성되는 것을 특징으로 하는 미세구조물 생성 및 처리 시스템을 제공하는 것이다.

公开(公告)号：KR1020090035435A

公开(公告)日：2009-04-09

申请号：KR1020080096532

申请日：2008-10-01

Applicant: 재단법인서울대학교산학협력재단

Inventor： 권성훈 ,  정수은 ,  박욱

IPC: G03F7/20 ,  G03F7/004

CPC classification number: G03F7/20 ,  G03F7/004 ,  G03F7/0045 ,  G03F7/0047

Abstract: A system for fabricating and handling microstructure and a method for fabricating the microstructure are provided to combine the microstructure in one-dimension, two dimension or three dimension by controlling the position and movement of the microstructures. A system for fabricating and handling microstructure and a method for fabricating the microstructure comprises an energy source; a deformation unit changing the energy generated from an energy source into the energy having the selected property; a stream tube(30) generating a microstructure(90) by selectively curing the energy-curable fluid(31) according to the energy provided from the deformation unit; and a treatment unit(36) moving, arranging or combining the microstructure according to the constant pattern. The microstructure generated by hardening the photo-crosslinkable fluid has a guide(91).

Abstract translation: 提供了用于制造和处理微结构的系统以及用于制造微结构的方法，通过控制微结构的位置和运动来组合一维，二维或三维的微结构。 用于制造和处理微结构的系统和用于制造微结构的方法包括能量源; 变形单元，其将从能量源产生的能量改变为具有所选择的特性的能量; 流管（30），通过根据从变形单元提供的能量选择性地固化能量固化流体（31）来产生微结构（90）; 和处理单元（36），根据恒定图案移动，排列或组合微结构。 通过硬化光可交联流体而产生的微观结构具有引导（91）。

公开(公告)号：KR100968490B1

公开(公告)日：2010-07-07

申请号：KR1020080075190

申请日：2008-07-31

Applicant: 재단법인서울대학교산학협력재단

Inventor： 권성훈 ,  박욱 ,  박현성

IPC: H01L21/027

Abstract: 내부에 유체가 흐르는 유체관, 및 상기 유체관의 내부에 위치하는 미세구조물을 구비하는 미세구조물 운반 시스템에 있어서, 상기 유체관은 홈 형태의 레일을 구비한다. 상기 미세구조물은 상기 레일을 따라 이동한다. 상기 미세구조물은 돌기 형태의 가이드를 구비한다. 상기 가이드는 상기 미세구조물이 상기 레일을 벗어나지 않도록 한다. 상기 가이드의 일단은 쐐기 형태을 가진다. 상기 쐐기의 첨단은 상기 가이드의 중심에 위치하지 아니하고, 상기 레일의 양 측면들 중 어느 하나의 방향으로 치우친다.

公开(公告)号：KR1020090035280A

公开(公告)日：2009-04-09

申请号：KR1020070100472

申请日：2007-10-05

Applicant: 재단법인서울대학교산학협력재단

Inventor： 권성훈 ,  정수은 ,  박욱

IPC: G03F7/20 ,  G03F7/004

CPC classification number: B81B1/004 ,  B81C1/00119

Abstract: A system for fabricating and handling microstructure of energy-cured materials is provided to manufacture a microstructure moved according to various forms of treatment units and to accurately control the positional of the manufactured microstructure. A system for fabricating and handling microstructure(90) of energy-cured materials comprises an energy source; a deformation unit changing the energy generated from an energy source into the energy having the selected property; a stream tube(30) generating a microstructure by selectively curing the energy-curable fluid(31); and a treatment unit(36) moving, arranging or combining the microstructure according to the constant pattern.

Abstract translation: 提供了一种用于制造和处理能量固化材料的微结构的系统，以制造根据各种形式的处理单元移动的微结构并且精确地控制所制造的微结构的位置。 用于制造和处理能量固化材料的微结构（90）的系统包括能量源; 变形单元，其将从能量源产生的能量改变为具有所选择的特性的能量; 流管（30），其通过选择性地固化所述能量可固化流体（31）产生微结构; 和处理单元（36），根据恒定图案移动，排列或组合微结构。