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公开(公告)号:KR1020090035280A
公开(公告)日:2009-04-09
申请号:KR1020070100472
申请日:2007-10-05
Applicant: 재단법인서울대학교산학협력재단
CPC classification number: B81B1/004 , B81C1/00119
Abstract: A system for fabricating and handling microstructure of energy-cured materials is provided to manufacture a microstructure moved according to various forms of treatment units and to accurately control the positional of the manufactured microstructure. A system for fabricating and handling microstructure(90) of energy-cured materials comprises an energy source; a deformation unit changing the energy generated from an energy source into the energy having the selected property; a stream tube(30) generating a microstructure by selectively curing the energy-curable fluid(31); and a treatment unit(36) moving, arranging or combining the microstructure according to the constant pattern.
Abstract translation: 提供了一种用于制造和处理能量固化材料的微结构的系统,以制造根据各种形式的处理单元移动的微结构并且精确地控制所制造的微结构的位置。 用于制造和处理能量固化材料的微结构(90)的系统包括能量源; 变形单元,其将从能量源产生的能量改变为具有所选择的特性的能量; 流管(30),其通过选择性地固化所述能量可固化流体(31)产生微结构; 和处理单元(36),根据恒定图案移动,排列或组合微结构。
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公开(公告)号:KR1020100013674A
公开(公告)日:2010-02-10
申请号:KR1020080075302
申请日:2008-07-31
Applicant: 재단법인서울대학교산학협력재단
IPC: H01L21/56 , H01L21/677 , H01L23/02
CPC classification number: H01L21/565 , H01L21/67121 , H01L21/67144 , H01L21/67721 , H01L23/02
Abstract: PURPOSE: A method and a system for fabricating and handling a fine structure are provided to implement high productivity by forming a chip package through hardening a photocurable fluid. CONSTITUTION: A solution having a chip therein is hardened selectively and a chip package is formed(S120). Thereafter, the chip is moved along with a rail of groove type and protruded type which is installed in the stream tube(S130). The chip is stopped at the end of the rail(S140). The next chip of which package is completed is moved along the rail and is stopped when it is contacted to the pervious chip(S150).
Abstract translation: 目的:提供一种用于制造和处理精细结构的方法和系统,以通过硬化可光固化流体形成芯片封装来实现高生产率。 构成:其中具有芯片的溶液选择性地硬化并形成芯片封装(S120)。 此后,芯片与安装在流管中的槽型突起型轨(S130)一起移动。 芯片停在轨道的末端(S140)。 完成该包装的下一个芯片沿轨道移动,并且当它与上述芯片接触时停止(S150)。
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公开(公告)号:KR101061966B1
公开(公告)日:2011-09-05
申请号:KR1020080084082
申请日:2008-08-27
Applicant: 재단법인서울대학교산학협력재단
Abstract: 다조성 나노와이어 및 이의 제조방법이 제공된다. 미세 유체 채널(microfluidic channel)로 복수의 수지들을 공급하고, 공급된 수지들을 광에 노출시켜 나노 와이어를 형성한다.
Abstract translation: 提供了多项式纳米线及其制造方法。 向微流体通道提供多种树脂并将所提供的树脂曝光以形成纳米线。
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公开(公告)号:KR101038233B1
公开(公告)日:2011-05-31
申请号:KR1020080075302
申请日:2008-07-31
Applicant: 재단법인서울대학교산학협력재단
IPC: H01L21/56 , H01L21/677 , H01L23/02
Abstract: 칩 패키징 방법에 있어서, 먼저, 칩이 제공된다. 그 후, 상기 칩이 담겨진 유체를 선택적으로 경화시킴으로써 상기 칩의 패키지를 형성한다. 그 후, 상기 패키지가 형성된 상기 칩을 유체관에 구비된 홈 형태 또는 돌기 형태의 레일을 따라 이동시킨다.
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公开(公告)号:KR1020100025366A
公开(公告)日:2010-03-09
申请号:KR1020080084082
申请日:2008-08-27
Applicant: 재단법인서울대학교산학협력재단
CPC classification number: H01L21/02603 , B82Y40/00
Abstract: PURPOSE: A method of fabricating a nanowire with plural compositions is provided to contact between plural elements with one wire in the inside of an integrated circuit, and to perform multiple functions with one wire. CONSTITUTION: A method of fabricating a nanowire comprises the following steps: supplying plural resins(32,34,36) into a micro fluidic channel; exposing plural resins to a light while flowing through the micro fluidic channel; and manufacturing the nanowire polymerized from resins with two-photon absorption(TPA). The plural resins have different compositions. The different compositions comprise p-type silicon and N type silicon. The step of supplying plural resins comprises a step of supplying a urethane acrylic acid monomer or a urethane acrylate acid oligomer with a photo-initiator into the micro fluidic channel.
Abstract translation: 目的:提供一种制造具有多种组成的纳米线的方法,用于在集成电路内部的一条导线之间的多个元件之间接触,并且通过一条导线执行多种功能。 构成:制造纳米线的方法包括以下步骤:将多种树脂(32,34,36)供应到微流体通道中; 在流过微流体通道的同时将多种树脂暴露于光; 并制造由具有双光子吸收(TPA)的树脂聚合的纳米线。 多种树脂具有不同的组成。 不同的组成包括p型硅和N型硅。 提供多种树脂的步骤包括将氨基甲酸酯丙烯酸单体或聚氨酯丙烯酸酯低聚物与光引发剂一起供入到微流体通道中的步骤。
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公开(公告)号:KR100893167B1
公开(公告)日:2009-04-16
申请号:KR1020070100472
申请日:2007-10-05
Applicant: 재단법인서울대학교산학협력재단
Abstract: 본 발명은 에너지 경화성 물질을 이용한 미세구조물 생성 및 처리 시스템으로서, 보다 구체적으로 다양한 에너지 경화성 유체에 선택적으로 에너지를 공급하여 원하는 형상의 미세구조물을 생성한 후, 상기 미세구조물을 일정 패턴에 따라 이동, 배열 또는 결합하는 시스템에 관한 것이다.
본 발명의 제1 측면은 광원; 상기 광원에서 조사된 광을 선택된 특성을 갖는 광으로 변형하는 변형 수단; 내부에 광경화성 유체가 흐르며, 상기 변형 수단에서 제공된 광에 따라 상기 광경화성 유체를 선택적으로 경화하여 미세구조물을 생성하는 유체관; 및 상기 유체관에 배치되어 상기 미세구조물을 일정 패턴에 따라 이동, 배열 또는 결합하는 처리수단 등으로 구성되는 것을 특징으로 하는 미세구조물 생성 및 처리 시스템을 제공하는 것이다.-
公开(公告)号:KR1020090035435A
公开(公告)日:2009-04-09
申请号:KR1020080096532
申请日:2008-10-01
Applicant: 재단법인서울대학교산학협력재단
CPC classification number: G03F7/20 , G03F7/004 , G03F7/0045 , G03F7/0047
Abstract: A system for fabricating and handling microstructure and a method for fabricating the microstructure are provided to combine the microstructure in one-dimension, two dimension or three dimension by controlling the position and movement of the microstructures. A system for fabricating and handling microstructure and a method for fabricating the microstructure comprises an energy source; a deformation unit changing the energy generated from an energy source into the energy having the selected property; a stream tube(30) generating a microstructure(90) by selectively curing the energy-curable fluid(31) according to the energy provided from the deformation unit; and a treatment unit(36) moving, arranging or combining the microstructure according to the constant pattern. The microstructure generated by hardening the photo-crosslinkable fluid has a guide(91).
Abstract translation: 提供了用于制造和处理微结构的系统以及用于制造微结构的方法,通过控制微结构的位置和运动来组合一维,二维或三维的微结构。 用于制造和处理微结构的系统和用于制造微结构的方法包括能量源; 变形单元,其将从能量源产生的能量改变为具有所选择的特性的能量; 流管(30),通过根据从变形单元提供的能量选择性地固化能量固化流体(31)来产生微结构(90); 和处理单元(36),根据恒定图案移动,排列或组合微结构。 通过硬化光可交联流体而产生的微观结构具有引导(91)。
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