公开(公告)号：KR1020070117236A

公开(公告)日：2007-12-12

申请号：KR1020060051208

申请日：2006-06-08

Applicant: 재단법인서울대학교산학협력재단

Inventor： 박승호 ,  이준식 ,  최영기 ,  권오명 ,  권기남 ,  김동현 ,  오경수

IPC: B81B7/00

CPC classification number: B81B7/02 ,  B81B3/0083 ,  B81B2201/042

Abstract: A twistable bimetal micro-actuator for a large-tilting-angle micromirror is provided to decrease yield stress against the mirror and the actuator by applying twisted deformation, thereby reducing malfunction of the micromirror. A twistable bimetal micro-actuator for a large-tilting-angle micromirror(225) comprises a support(223), a fist actuator(220a,), and a second actuator(220b). The support supports a part of the micromirror. The distal end of the first actuator is attached to one end of the support. The second actuator is attached to the other end of the support. The moving direction of the first actuator is reversed to the moving direction of the second actuator around the surface of the micromirror. The support is twisted by the activation of the first and second actuators.

Abstract translation: 提供一种用于大倾角微镜的可扭曲双金属微致动器，通过施加扭曲变形来减小对镜子和致动器的屈服应力，从而减少微镜的故障。 用于大倾角微镜（225）的可扭曲双金属微致动器包括支撑件（223），第一致动器（220a）和第二致动器（220b）。 支持支持微镜的一部分。 第一致动器的远端附接到支撑件的一端。 第二致动器附接到支撑件的另一端。 第一致动器的移动方向与微镜的表面周围的第二致动器的移动方向相反。 通过第一和第二致动器的激活来扭转支撑件。

公开(公告)号：KR100789269B1

公开(公告)日：2008-01-02

申请号：KR1020060051208

申请日：2006-06-08

Applicant: 재단법인서울대학교산학협력재단

Inventor： 박승호 ,  이준식 ,  최영기 ,  권오명 ,  권기남 ,  김동현 ,  오경수

IPC: B81B7/00

Abstract: 본 발명의 큰 기울임 각을 갖는 마이크로 미러를 위한 비틀림형 미세 구동기는, 마이크로 미러 표면의 공간적 위치와 각도를 변화시키기 위한 미세 구동기에 있어서, 상기 미세 구동기는, 상기 마이크로 미러의 일부를 지지하는 지지대와, 상기 지지대의 일단에 그 선단이 고정된 제1 구동기와, 상기 지지대의 타단에 그 선단이 고정된 제2 구동기로 구성되는 미러 구동기구에 의하여 이루어지고, 상기 제1 구동기의 구동방향과 상기 제2 구동기의 구동방향은 상기 마이크로 미러의 표면을 기준으로 하여 서로 역방향이고, 상기 제1 구동기와 제2 구동기 중 어느 하나 이상의 구동에 의하여 상기 지지대에 비틀림 변형이 발생되도록 구성됨을 특징으로 한다.
본 발명에 의하면, 폭 20㎛, 길이 100㎛밖에 안되는 크기의 구동기, 폭 100㎛, 길이 100㎛밖에 안되는 크기의 마이크로 미러의 경우에도, 11V DC에서 28㎛의 변위, 28°의 구동각을 보인다. 이는 종래기술에 비하여 엄청난 향상이다.
열 미세 구동기, 열 더블 캔틸레버 바이메탈 구동기, 열팽창, 인텔리슈트