Abstract:
A twistable bimetal micro-actuator for a large-tilting-angle micromirror is provided to decrease yield stress against the mirror and the actuator by applying twisted deformation, thereby reducing malfunction of the micromirror. A twistable bimetal micro-actuator for a large-tilting-angle micromirror(225) comprises a support(223), a fist actuator(220a,), and a second actuator(220b). The support supports a part of the micromirror. The distal end of the first actuator is attached to one end of the support. The second actuator is attached to the other end of the support. The moving direction of the first actuator is reversed to the moving direction of the second actuator around the surface of the micromirror. The support is twisted by the activation of the first and second actuators.
Abstract:
본 발명의 큰 기울임 각을 갖는 마이크로 미러를 위한 비틀림형 미세 구동기는, 마이크로 미러 표면의 공간적 위치와 각도를 변화시키기 위한 미세 구동기에 있어서, 상기 미세 구동기는, 상기 마이크로 미러의 일부를 지지하는 지지대와, 상기 지지대의 일단에 그 선단이 고정된 제1 구동기와, 상기 지지대의 타단에 그 선단이 고정된 제2 구동기로 구성되는 미러 구동기구에 의하여 이루어지고, 상기 제1 구동기의 구동방향과 상기 제2 구동기의 구동방향은 상기 마이크로 미러의 표면을 기준으로 하여 서로 역방향이고, 상기 제1 구동기와 제2 구동기 중 어느 하나 이상의 구동에 의하여 상기 지지대에 비틀림 변형이 발생되도록 구성됨을 특징으로 한다. 본 발명에 의하면, 폭 20㎛, 길이 100㎛밖에 안되는 크기의 구동기, 폭 100㎛, 길이 100㎛밖에 안되는 크기의 마이크로 미러의 경우에도, 11V DC에서 28㎛의 변위, 28°의 구동각을 보인다. 이는 종래기술에 비하여 엄청난 향상이다. 열 미세 구동기, 열 더블 캔틸레버 바이메탈 구동기, 열팽창, 인텔리슈트
Abstract:
본 발명에 따른 열 마이크로 구동기는 고온부와, 저온부와, 상기 고온부 및 상기 저온부의 일단이 각각 연결된 연결부와, 상기 고온부의 타단에 형성된 제1 전극부와, 상기 저온부의 타단에 형성된 제2 전극부로 구성된 열 마이크로 구동기에 있어서, 상기 고온부의 외면(外面)에 순차적으로 적층된 절연층과 메탈층을 포함하여 구성되며, 상기 제1 전극부 및 상기 제2 전극부에 전류를 통전시킬 때, 상기 메탈층 및 상기 고온부의 열팽창률 차이에 따라 굴곡되는 제1 변위와, 상기 고온부 및 상기 저온부의 저항차이에 따라 굴곡되는 제2 변위가 합성된 합성변위가, 상기 저온부 측으로 발생하도록 구성한다. 이를 통해, 본 발명에 의한 열 마이크로 구동기는 2가지 구동한계 요소(최대허용온도 및 항복응력)를 최대한도 범위 내에서 충족시키면서, 종래의 열 마이크로 구동기보다 더 큰 변위를 얻을 수 있다. 열 마이크로 구동기, 차동저항, 바이메탈, 마이크로 미러
Abstract:
A thermal expansion micro actuator, a micro mirror formed directly on the same, a micro mirror actuating apparatus using the thermal expansion micro actuator, and a light switch using the same are provided to secure displacement larger than that of the existing thermal expansion micro actuator, satisfying two driving limit elements including maximum allowed temperature and yield stress. A thermal expansion micro actuator(100) is composed of a high temperature unit(101) of which temperature is increased up to high level due to high resistance by applying electricity and a low temperature unit(103) connected to the high temperature unit through a connecting unit(102), wherein the temperature of the low temperature unit is increased below the temperature of the high temperature unit due to resistance smaller than that of the high temperature unit. The thermal expansion micro actuator is bent from the high temperature unit to the low temperature unit when electricity is applied. An insulating layer(108) and a metal layer(109) are laminated in order on the outer surface of the high temperature unit at the opposite side of the low temperature unit.
Abstract:
본 발명은 마이크로 유속 센서로 적합한 유속 측정 장치에 관한 것이다. 본 발명의 유속 측정 장치는 유동 내에 삽입되는 저항 발열체, 상기 저항 발열체를 주기적으로 가열하기 위해 상기 저항 발열체에 공급되는 제1 주파수의 교류 전원, 상기 교류 전원에 의해 상기 저항 발열체에서 일어나는 온도 변화와 관련되어 상기 저항 발열체에서 발생하는 제1 신호를 검출하여, 상기 저항 발열체에서 발생하는 열량에 대한 상기 제1 신호의 위상 지연을 구하는 신호 처리 수단 및 상기 위상 지연으로부터 상기 유동의 속도를 계산하는 연산 수단을 포함한다. 본 발명에 따르면, 간단한 구조로 넓은 측정 범위와 높은 측정 정밀도를 갖는 유속 측정 장치의 제공이 가능하다.
Abstract:
PURPOSE: An AC type anemometry and a flow rate data mapping method therefor are provided to widen measuring range and to improve measuring accuracy by using a micro anemometry sensor. CONSTITUTION: An anemometry(100) includes a resistance heat emitter and a signal processor. The resistance heat emitter(120) is inserted in a flow. An AC power source(110) with a first frequency periodically supplies power to the resistance heat emitter. The signal processor(140) detects a first signal from the resistance heat emitter and calculates phase delay of the first signal with respect to the AC power source. The first signal is generated at the resistance heat emitter corresponding to the temperature variations of the resistance heat emitter. A calculator(150) calculates the low rate from the phase delay.