Abstract:
PURPOSE: Low-emissive glass is provided to improve crystal growth of a metal layer and to prevent the oxidation of a metal layer in a glass strengthening process by using titanium dioxide to a lower dielectric layer and an upper lower dielectric layer. CONSTITUTION: A transparent conductive multilayer(100) comprises cation-substituted transparent electrode(120) and a conductive film(130) based on titanium dioxide(TiO2) doped with impurities. The conductive film based on titanium dioxide(TiO2) doped with impurities is formed at the upper part of the cation-substituted transparent electrode. The conductive film based on titanium dioxide(TiO2) doped with impurities is formed on the cation-substituted transparent electrode.
Abstract:
유리 기판 상에 양이온 치환형 투명전극을 형성하고, 양이온 치환형 투명전극 상에 이산화티탄의 Ti 사이트의 일부를 다른 원자, 예를 들어 Nb, Ta, Mo, As, Sb, W, V, Mn, Tc, Re, P, Bi 등 으로 치환하여 얻어지는 물질을 적층하여 다층형 투명 전극을 형성한다. 열 산화 공정 및 화학 반응 공정 시, 열적 안정성 및 화학적 안정성이 확보된 다층 구조의 투명 전도막을 저 비용으로 형성할 수 있다.