公开(公告)号：KR101325010B1

公开(公告)日：2013-11-04

申请号：KR1020110076075

申请日：2011-07-29

Applicant: 전남대학교산학협력단

Inventor： 이동원 ,  윤영삼 ,  박종성

IPC: B82B1/00 ,  B82B3/00 ,  B82Y40/00

Abstract: 본 발명은 반도체 공정을 이용하여 표면에 마이크로 구조물을 형성한 후 플라즈마로 표면을 식각하여 표면에 미세한 나노 구조체를 형성하고 그 위에 소수성 폴리머를 코팅함에 따라 표면에서의 물의 접촉각이 150° 이상인 나노 패턴된 폴리머 니들 어레이를 갖는 초소수성 투명 박막 및 상기 초소수성 투명 박막을 제조하는 방법에 관한 것이다.
본 발명에 따르면, 비교적 간단한 방법으로 표면에 물방울 및 이물질 등을 자가세정할 수 있는 능력을 가지는 초소수성 표면을 구비할 수 있을 뿐만 아니라 특히 유리 표면에 접촉각이 160° 이상인 초소수성 표면을 구현하는 것이 가능하여 자동차 앞유리(windshield) , 사이드 미러(side mirror) 및 건물의 외벽 등에 유용하게 사용될 수 있다.

公开(公告)号：KR1020130014135A

公开(公告)日：2013-02-07

申请号：KR1020110076075

申请日：2011-07-29

Applicant: 전남대학교산학협력단

Inventor： 이동원 ,  윤영삼 ,  박종성

IPC: B82B1/00 ,  B82B3/00 ,  B82Y40/00

Abstract: PURPOSE: A super-hydrophobic transparent thin film is provided to coat a nanopatterned polymer needle array with hydrophobic polymer, thereby being capable of obtaining a hydrophobic surface by a simple process. CONSTITUTION: A super-hydrophobic transparent thin film comprises a nanopatterned polymer needle array. The substrate is selected from silicon or glass. A manufacturing method of the nanopatterned polymer needle array comprises a step of forming a micro structure and nano structure by a semiconductor process and plasma etching. The nano structure additionally comprises a hydrophobic polymer coating film. The hydrophobic polymer is parylene C(PC) or fluorocarbon(CxFy, FC).

Abstract translation: 目的：提供超疏水透明薄膜，用疏水聚合物涂覆纳米图案聚合物针阵列，从而通过简单的工艺获得疏水性表面。 构成：超疏水透明薄膜包括纳米图案聚合物针阵列。 衬底选自硅或玻璃。 纳米图案化聚合物针阵列的制造方法包括通过半导体工艺和等离子体蚀刻形成微结构和纳米结构的步骤。 纳米结构还包括疏水性聚合物涂膜。 疏水性聚合物是聚对二甲苯C（PC）或碳氟化合物（CxFy，FC）。