Abstract:
본 발명은 커패시턴스 변화에 따른 공진주파수의 변화를 이용하여 혈관내 혈류량을 측정할 수 있는 혈관 압력센서의 제조방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는 굴곡진 스텐트에 유연하게 부착가능하고, 커패시터 제1 전극과 커패시터 제2 전극간의 별도의 정렬 공정이 필요 없어 제작 수율을 향상시킬 수 있는 혈관 압력센서의 제조방법, 상기 방법으로 제조된 혈관압력센서 및 상기 혈관 압력센서가 구비된 혈관용 스텐트에 관한 것이다.
Abstract:
PURPOSE: A power generator using a rotating body is provided to prevent the influence of a large centrifugal force, by generating electric power at a rotation speed of wide bandwidth efficiently. CONSTITUTION: A fixing member is fixed to a rotating body. An impact stick (113) comprises each magnet at both ends. A piezoelectric lever (114) is fixed to the fixing member. A magnetic element (120) is fixed to the rotating body. The magnetic element generates static magnetic field.
Abstract:
본 발명은 실리콘 나노 와이어(반도체 나노와이어)를 압저항체로 이용한 폴리머 외팔보 및 그 제조방법에 관한 것으로서, 피란하 클리닝(Piranha Cleaning), RCA-1 클리닝 및 RCA-2 클리닝을 수행하여 SOI 웨이퍼 표면에 잔류하는 잔류물을 제거하는 (a) 단계; SOI 웨이퍼 표면에 AZ계열의 AZ5214 감광제를 통해 포토리소그래피 공정을 수행하여 실리콘 나노 와이어 패턴을 형성하는 (b) 단계; 마스크 물질로 PR(PhotoResist)을 이용함과 아울러 RIE(Reactive ion etching)을 통해 실리콘 나노 와이어 패턴을 실리콘 나노 와이어로 제작하는 (c) 단계; E-beam evaporator를 이용하여 Au를 100㎚로 증착시키고, lift off 공정을 이용하여 실리콘 나노 와이어 상부에 금속층을 패터닝함과 아울러 AZ5214를 감광제로 이용하여 금속 배선 패턴을 제작하며, 아세톤 및 Ultrasonic을 이용하여 AZ5214를 제거하는 (d) 단계; 금속 배선 상부에 두께가 5㎛가 되도록 폴리머 재질의 감광막(SU-8 2002)을 통해 외팔보 패턴을 형성하는 (e) 단계; 외팔보 패턴 상부에 두께가 200㎛가 되도록 폴리머 재질의 감광막(SU-8 2050)을 통해 외팔보 바디 패턴을 형성하는 (f) 단계; 감광막(SU-8)의 열적 스트레스를 최소화하기 위해 lift-off 공정 실행, 감광제를 이용하여 외팔보 상부에 Bio-sensor 패턴을 제작하고, E-beam evaporator를 이용하여 Au를 30㎚ 증착시키며, 아세톤 및 Ultrasonic을 이용하여 AZ5214를 제거하는 (g) 단계; 외팔보 바디 패턴 상부에 Elctroplating 공정을 통해 200㎛의 두께를 갖도록 Ni를 통해 금속라인을 형성하는 (h) 단계; 및 BHF(Buffered Hydrofluoric acid) 용액을 이용하여 burried oxide층을 제거하는 (i) 단계; 를 포함한다. 상기와 같은 본 발명에 따르면, 압저항체로 실리콘 나노 와이어(반도체 나노와이어)를 사용함으로써, 고감도 외팔보를 제작할 수 있고, 외팔보 재료로 폴리머를 이용함으로써, 간단한 제작 공정으로 낮은 스프링 상수를 갖는 외팔보를 제작 할 수 있어 원자 현미경의 수직적 분해능을 향상시키며, 생체 친화적 재료인 감광막(SU-8)을 사용함으로써, 생체 조직 시료 및 액체 속에서 구동이 가능한 외팔보를 제작하는 효과가 있다.
Abstract:
PURPOSE: A biocompatible wireless flow sensor structure and a manufacturing method thereof are provided to measure pressure when a flow sensor is fixed to a blood vessel, thereby calculating the amount of blood flowing in a blood vessel. CONSTITUTION: A flow sensor(110) is installed in both sides of insulator films(100). The flow sensor comprises an insulating film, a capacitor lower electrode, and an inductor coil wherein the insulating film is made of an SU-8 polymer. The inductor coil is formed on the insulator film. A connection member(200) is formed on both sides of the insulator film by a metal line. The connection member connects insulator films.