公开(公告)号：KR1020160070179A

公开(公告)日：2016-06-17

申请号：KR1020167012335

申请日：2014-10-14

Applicant: 코닝 인코포레이티드

Inventor： 에닉스다윈진 ,  키치존타일러 ,  쇼리아릭브루스 ,  토마스윈저파이프스3세

IPC: H01L21/683 ,  H01L21/48 ,  H01L23/498 ,  H01L23/00

CPC classification number: H01L21/6835 ,  H01L21/486 ,  H01L23/15 ,  H01L23/49827 ,  H01L24/83 ,  H01L24/94 ,  H01L2221/68318 ,  H01L2221/68327 ,  H01L2221/68331 ,  H01L2221/68345 ,  H01L2221/68381 ,  H01L2224/83052 ,  H01L2224/8385 ,  H01L2924/01029 ,  H01L2924/05432 ,  H01L2924/05442 ,  H01L2924/10253 ,  H01L2924/10271 ,  H01L2924/10329 ,  H01L2924/1033 ,  H01L2924/12 ,  H01L2924/12041 ,  H01L2924/1432 ,  H01L2924/1461 ,  H01L2924/15788 ,  H01L2924/201 ,  H01L2924/20107 ,  H01L2924/2011 ,  H01L2924/2064 ,  H01L2924/20641 ,  H01L2924/20642 ,  H01L2924/00

Abstract: 물품(2)을형성하도록표면개질층(30)을통해캐리어(10) 상에배치된얇은시트(20)이며, 여기서물품은 FEOL 반도체가공에서와같이고온가공에적용될수 있고, 기체방출하지않고, 가공동안캐리어로부터분리되지않으면서캐리어상에유지되나얇은시트및 캐리어중 더얇은것을온전하게남아있게하는실온박리력에의해서는캐리어로부터분리되는얇은시트를갖는다. 비아(60)의어레이(50)를갖는인터포저(56)는얇은시트상에형성될수 있고, 장치(66)는인터포저상에형성될수 있다. 대안적으로, 얇은시트는 FEOL 가공동안그 위에반도체회로가형성된기판일수 있다.