公开(公告)号：KR1020170083080A

公开(公告)日：2017-07-17

申请号：KR1020177015428

申请日：2015-11-10

Applicant: 코닝 인코포레이티드

Inventor： 바가바툴라벤카타아디세샤이아 ,  호토프다니엘워렌 ,  랄아키트 ,  리싱후아 ,  스톤존3세 ,  토마스윈저파이프스3세

IPC: C01B32/16 ,  C03C3/06 ,  C03C23/00 ,  C03B19/14

CPC classification number: C03C23/0025 ,  B01J21/08 ,  B01J35/002 ,  B01J35/0026 ,  B01J35/023 ,  B01J35/06 ,  B01J35/10 ,  B01J35/1004 ,  B01J37/349 ,  C01B32/16 ,  C01B32/162 ,  C01B33/12 ,  C03B19/1453 ,  C03C3/06 ,  C03C17/22 ,  C03C17/36 ,  C03C17/3605 ,  C03C17/3634 ,  C03C23/0095 ,  C03C2201/3488

Abstract: 탄소나노튜브를제조및/또는사용하기위한조립체는기판및 탄소나노튜브및 그의전구체중 적어도하나를포함한다. 기판은 SiO이고 500 ㎛미만의두께를갖는다. 추가로, 기판은굽힘가능하고표면이융기된특징부및 오목해진특징부를포함하도록비평탄또는비연마된텍스처를갖는표면을갖는다. 탄소나노튜브및/또는그의전구체는기판의오목해진특징부에결합된다.

Abstract translation: 用于制造和/或使用碳纳米管的组件包括基材和碳纳米管及其前体中的至少一种。 衬底是SiO并且具有小于500μm的厚度。 此外，基材具有非平面或非抛光纹理的表面，以包括可弯曲的表面凸起特征和凹陷特征。 碳纳米管和/或其前体结合到基底的凹陷结构。

公开(公告)号：KR1020160070179A

公开(公告)日：2016-06-17

申请号：KR1020167012335

申请日：2014-10-14

Applicant: 코닝 인코포레이티드

Inventor： 에닉스다윈진 ,  키치존타일러 ,  쇼리아릭브루스 ,  토마스윈저파이프스3세

IPC: H01L21/683 ,  H01L21/48 ,  H01L23/498 ,  H01L23/00

CPC classification number: H01L21/6835 ,  H01L21/486 ,  H01L23/15 ,  H01L23/49827 ,  H01L24/83 ,  H01L24/94 ,  H01L2221/68318 ,  H01L2221/68327 ,  H01L2221/68331 ,  H01L2221/68345 ,  H01L2221/68381 ,  H01L2224/83052 ,  H01L2224/8385 ,  H01L2924/01029 ,  H01L2924/05432 ,  H01L2924/05442 ,  H01L2924/10253 ,  H01L2924/10271 ,  H01L2924/10329 ,  H01L2924/1033 ,  H01L2924/12 ,  H01L2924/12041 ,  H01L2924/1432 ,  H01L2924/1461 ,  H01L2924/15788 ,  H01L2924/201 ,  H01L2924/20107 ,  H01L2924/2011 ,  H01L2924/2064 ,  H01L2924/20641 ,  H01L2924/20642 ,  H01L2924/00

Abstract: 물품(2)을형성하도록표면개질층(30)을통해캐리어(10) 상에배치된얇은시트(20)이며, 여기서물품은 FEOL 반도체가공에서와같이고온가공에적용될수 있고, 기체방출하지않고, 가공동안캐리어로부터분리되지않으면서캐리어상에유지되나얇은시트및 캐리어중 더얇은것을온전하게남아있게하는실온박리력에의해서는캐리어로부터분리되는얇은시트를갖는다. 비아(60)의어레이(50)를갖는인터포저(56)는얇은시트상에형성될수 있고, 장치(66)는인터포저상에형성될수 있다. 대안적으로, 얇은시트는 FEOL 가공동안그 위에반도체회로가형성된기판일수 있다.