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发明申请
표면탄성파 장치용 기판 및 이를 포함하는 표면탄성파 장치 审中-公开

公开(公告)号：WO2022108337A1

公开(公告)日：2022-05-27

申请号：PCT/KR2021/016917

申请日：2021-11-17

Applicant: 포항공과대학교 산학협력단

Inventor： 공병돈 , 윤석현 , 조현수 , 이승호 , 서경민 , 백창기

IPC: H03H9/02 , H03H9/64 , H03H9/72

Abstract: 표면탄성파 장치용 기판으로, 상기 기판은 2차원 결정질 육방정 질화붕소층을 포함하며, 상기 표면탄성파 장치의 표면탄성파는 상기 2차원 결정질 육방정 질화붕소 층을 통하여 전달되는 것을 특징으로 하는 표면탄성파 장치용 기판이 제공된다.

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