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公开(公告)号:KR102131619B1
公开(公告)日:2020-07-08
申请号:KR1020180067504
申请日:2018-06-12
Applicant: 한국과학기술연구원
IPC: H01L21/02 , H01L21/3213 , H01L21/324
公开(公告)号:KR102131619B1
公开(公告)日:2020-07-08
申请号:KR1020180067504
申请日:2018-06-12
Applicant: 한국과학기술연구원
IPC: H01L21/02 , H01L21/3213 , H01L21/324