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公开(公告)号：WO2016122223A1
公开(公告)日：2016-08-04
申请号：PCT/KR2016/000927
申请日：2016-01-28
Applicant: 한국화학연구원
Abstract: 본 발명에 따른 스퍼터링용 불소계고분자 복합 타겟은 전압을 인가하는 금속 전극과의 접합력이 우수하고, 휨 발생을 억제할 수 있으며, 전도성을 부여함으로써 산업적으로 널리 사용되는 DC 및 MF 전원 방식으로도 안정적으로 플라즈마의 형성이 가능하여 불소계고분자를 효과적으로 피착체에 스퍼터링 증착을 가능케 한다.
Abstract translation: 根据本发明的用于溅射的氟基聚合物复合靶，与施加电压的金属电极的粘附性优异，可以防止弯曲，并且即使在工业上广泛使用的DC和甚至是通过赋予电导率也能够稳定地形成等离子体 MF供电系统，从而允许氟基聚合物通过溅射有效地沉积在被粘物上。
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公开(公告)号：KR101817679B1
公开(公告)日：2018-01-11
申请号：KR1020150182969
申请日：2015-12-21
Applicant: 한국화학연구원
IPC: D06M15/277 , D06M11/74 , D06M15/00 , D06M11/42 , D06M11/46 , D06M11/47 , D06M11/48 , D06M11/49 , D06M11/83 , D06B1/14 , D06B3/10
Abstract: 본발명은수분에대한발수성이탁월한탄화불소박막을포함하는초발수코팅섬유및 이의제조방법에관한것으로, 보다상세하게본 발명은섬유직물에대한접착력이우수하고, 섬유직물표면에나노크기의두께로출력전압에상관없이스퍼터링법으로코팅하여섬유직물표면을초발수특성을가지도록가공된초발수코팅섬유및 이의제조방법에관한것이다.
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公开(公告)号：KR1020170140148A
公开(公告)日：2017-12-20
申请号：KR1020170171497
申请日：2017-12-13
Applicant: 한국화학연구원
CPC classification number: C23C14/3407 , C23C14/06 , C23C14/0635 , C23C14/0641 , C23C14/08 , C23C14/12 , C23C14/14 , C23C14/3414 , C23C14/3471 , H01B1/04 , H01B1/124
Abstract: 본발명에따른 RF 스퍼터링용불소계고분자복합타겟은전압을인가하는금속전극과의접합력이우수하고, 휨발생을억제할수 있으며, 전도성을부여함으로써향상된플라즈마형성이가능하여불소계고분자의절연파괴를방지및 우수한증착율을나타낼수 있다.
Abstract translation: 用于RF氟化聚合物复合物靶溅射按照金属电极之间的本发明yiwoosu结合力用于施加电压，能够抑制翘曲，能够提高通过施加导电防止和含氟聚合物的优异的介电击穿形成的等离子体 可以指示沉积速率。
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公开(公告)号：KR1020170138722A
公开(公告)日：2017-12-18
申请号：KR1020160070885
申请日：2016-06-08
Applicant: 한국화학연구원
Abstract: 본발명은스퍼터링용불소계고분자복합타겟의부착방법및 이로부터제조된장치에관한것으로, 본발명에따르면전극면에접합되는불소계고분자복합타겟에전도성을부여함으로써전극과의접착력을획기적으로개선하였으며, 탭가공을통해강한에너지에의해발생되는타겟의변형을최소화하여보다안정적으로플라즈마형성이가능하고, 단시간내에대면적박막의제조가가능한롤투롤공정의구현을가능케한다.
Abstract translation: 本发明涉及从附着和溅射对象的基于氟的聚合物化合物中的方法制造的装置中，根据本发明的通过给导电性，其中键合到电极表面被显着地提高在电极之间的粘合力的含氟聚合物复合物靶， 通过使通过轻敲产生的强能量引起的靶的变形最小化，并且实现能够在短时间内制造大面积薄膜的卷对卷（roll-to-roll）工艺，可以更稳定地形成等离子体。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR101719520B1
公开(公告)日：2017-03-24
申请号：KR1020150130675
申请日：2015-09-16
Applicant: 한국화학연구원
Abstract: 본발명은수분에대한배리어성이탁월할뿐 아니라우수한유연성, 투명성및크랙방지효과를가지는탄화불소박막을포함하는다층배리어필름및 향상된플라즈마형성이가능하여높은증착율로탄화불소박막을포함하는배리어필름의제조가가능한이의제조방법을제공하는것이다.
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公开(公告)号：KR1020160092897A
公开(公告)日：2016-08-05
申请号：KR1020150099822
申请日：2015-07-14
Applicant: 한국화학연구원
Abstract: 본발명에따른스퍼터링용불소계고분자복합타겟은전압을인가하는금속전극과의접합력이우수하고, 휨발생을억제할수 있으며, 전도성을부여함으로써산업적으로널리사용되는 DC 및 MF 전원방식으로도안정적으로플라즈마의형성이가능하여불소계고분자를효과적으로피착체에스퍼터링증착이가능한불소계고분자복합타겟을제공할수 있다.
Abstract translation: 本发明涉及用于沉积的氟聚合物复合靶。 根据本发明，用于溅射的含氟聚合物复合靶在与施加电压有关的金属电极附着时是优异的，并且防止弯曲形成。 另外，通过施加电导率，即使在工业中广泛使用的直流（DC）和中频（MF）电源系统，等离子体也能够稳定地产生。 因此，可以提供含氟聚合物复合靶，使得能够有效地将氟聚合物溅射沉积到基底上。 为此，通过模塑含有选自氟聚合物，导电性粒子，导电性聚合物和金属成分中的至少一种官能剂的混合物来制造含氟聚合物复合靶。
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公开(公告)号：KR101906301B1
公开(公告)日：2018-10-11
申请号：KR1020170149120
申请日：2017-11-10
Applicant: 한국화학연구원
CPC classification number: H01J37/3429 , C23C14/12 , C23C14/3414 , H01J37/3491
Abstract: 본발명에따른스퍼터링용불소계고분자복합타겟은전압을인가하는금속전극과의접합력이우수하고, 휨발생을억제할수 있으며, 전도성을부여함으로써산업적으로널리사용되는 DC 및 MF 전원방식으로도안정적으로플라즈마의형성이가능하여불소계고분자를효과적으로피착체에스퍼터링증착이가능한불소계고분자복합타겟을제공할수 있다.
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公开(公告)号：KR1020170092758A
公开(公告)日：2017-08-14
申请号：KR1020160013829
申请日：2016-02-04
Applicant: 한국화학연구원
Abstract: 본발명은고경도특성을가지는투명하드코팅막및 이의제조방법에관한것으로, 보다상세하게우수한투명성, 내스크레치성, 발수성, 방오성, 내지문성을부여할수 있는고경도특성의투명하드코팅막및 이의제조방법에관한것이다.
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公开(公告)号：KR1020170074008A
公开(公告)日：2017-06-29
申请号：KR1020150182969
申请日：2015-12-21
Applicant: 한국화학연구원
IPC: D06M15/277 , D06M11/74 , D06M15/00 , D06M11/42 , D06M11/46 , D06M11/47 , D06M11/48 , D06M11/49 , D06M11/83 , D06B1/14 , D06B3/10
Abstract: 본발명은수분에대한발수성이탁월한탄화불소박막을포함하는초발수코팅섬유및 이의제조방법에관한것으로, 보다상세하게본 발명은섬유직물에대한접착력이우수하고, 섬유직물표면에나노크기의두께로출력전압에상관없이스퍼터링법으로코팅하여섬유직물표면을초발수특성을가지도록가공된초발수코팅섬유및 이의제조방법에관한것이다.
Abstract translation: 本发明涉及一种超疏水涂料纤维和它们的制备方法，包括优异的碳氟化合物薄膜斥水，至厚度纳米尺寸纤维表面yiwoosu的，和粘附到本详细越发明纤维 无论输出电压如何，用溅射法涂覆的防水涂层纤维，以及在其表面上具有超疏水性能的防水涂层纤维及其制备方法。
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