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公开(公告)号：WO2016122223A1
公开(公告)日：2016-08-04
申请号：PCT/KR2016/000927
申请日：2016-01-28
Applicant: 한국화학연구원
Abstract: 본 발명에 따른 스퍼터링용 불소계고분자 복합 타겟은 전압을 인가하는 금속 전극과의 접합력이 우수하고, 휨 발생을 억제할 수 있으며, 전도성을 부여함으로써 산업적으로 널리 사용되는 DC 및 MF 전원 방식으로도 안정적으로 플라즈마의 형성이 가능하여 불소계고분자를 효과적으로 피착체에 스퍼터링 증착을 가능케 한다.
Abstract translation: 根据本发明的用于溅射的氟基聚合物复合靶，与施加电压的金属电极的粘附性优异，可以防止弯曲，并且即使在工业上广泛使用的DC和甚至是通过赋予电导率也能够稳定地形成等离子体 MF供电系统，从而允许氟基聚合物通过溅射有效地沉积在被粘物上。
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公开(公告)号：KR1020170140148A
公开(公告)日：2017-12-20
申请号：KR1020170171497
申请日：2017-12-13
Applicant: 한국화학연구원
CPC classification number: C23C14/3407 , C23C14/06 , C23C14/0635 , C23C14/0641 , C23C14/08 , C23C14/12 , C23C14/14 , C23C14/3414 , C23C14/3471 , H01B1/04 , H01B1/124
Abstract: 본발명에따른 RF 스퍼터링용불소계고분자복합타겟은전압을인가하는금속전극과의접합력이우수하고, 휨발생을억제할수 있으며, 전도성을부여함으로써향상된플라즈마형성이가능하여불소계고분자의절연파괴를방지및 우수한증착율을나타낼수 있다.
Abstract translation: 用于RF氟化聚合物复合物靶溅射按照金属电极之间的本发明yiwoosu结合力用于施加电压，能够抑制翘曲，能够提高通过施加导电防止和含氟聚合物的优异的介电击穿形成的等离子体 可以指示沉积速率。
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公开(公告)号：KR101719520B1
公开(公告)日：2017-03-24
申请号：KR1020150130675
申请日：2015-09-16
Applicant: 한국화학연구원
Abstract: 본발명은수분에대한배리어성이탁월할뿐 아니라우수한유연성, 투명성및크랙방지효과를가지는탄화불소박막을포함하는다층배리어필름및 향상된플라즈마형성이가능하여높은증착율로탄화불소박막을포함하는배리어필름의제조가가능한이의제조방법을제공하는것이다.
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公开(公告)号：KR1020160092897A
公开(公告)日：2016-08-05
申请号：KR1020150099822
申请日：2015-07-14
Applicant: 한국화학연구원
Abstract: 본발명에따른스퍼터링용불소계고분자복합타겟은전압을인가하는금속전극과의접합력이우수하고, 휨발생을억제할수 있으며, 전도성을부여함으로써산업적으로널리사용되는 DC 및 MF 전원방식으로도안정적으로플라즈마의형성이가능하여불소계고분자를효과적으로피착체에스퍼터링증착이가능한불소계고분자복합타겟을제공할수 있다.
Abstract translation: 本发明涉及用于沉积的氟聚合物复合靶。 根据本发明，用于溅射的含氟聚合物复合靶在与施加电压有关的金属电极附着时是优异的，并且防止弯曲形成。 另外，通过施加电导率，即使在工业中广泛使用的直流（DC）和中频（MF）电源系统，等离子体也能够稳定地产生。 因此，可以提供含氟聚合物复合靶，使得能够有效地将氟聚合物溅射沉积到基底上。 为此，通过模塑含有选自氟聚合物，导电性粒子，导电性聚合物和金属成分中的至少一种官能剂的混合物来制造含氟聚合物复合靶。
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Patent Agency Ranking
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公开(公告)号：KR1019900004118B1
公开(公告)日：1990-06-16
申请号：KR1019880008099
申请日：1988-06-30
Abstract: A catalyst of formula P, Mo12As0.2-2.0Cs0.1-1.0V0.1-2.0Tl 0.1-2.0 Cu0.1-2.0X0.1-0.5Oa [where X= Pd, Pb, Ba or Ca; a= bal. no. for prepg. methacrylic acid is prepd. by (a) adding soln. of B (contg. Tl(C2H3O2), CsNO3, Cu(NO3)2. 2.5H2O and nitrate of the X) to aq. soln. of A(contg. H3PMo12O40, H3AsO4 and V2O5) to coppte, (b) heating at 40-100 deg. C on a stirrr to obtain slurry, (c) vacuum-drying at 20-100 deg. C and molding, and (d) calcining for 3-15 hr at 320-400 deg. C in the air or N atm.. The methacrylic acid is prepd. by contacting methacrolein with O in the presence of the catalyst.
Abstract translation: 式P的催化剂，Mo12As0.2-2.0C0.1-1.0V0.1-2.0Tl 0.1-2.0 Cu0.1-2.0X0.1-0.5Oa [其中X = Pd，Pb，Ba或Ca; a = bal 没有。 为prepg。 甲基丙烯酸是制备的。 通过（a）添加soln。 的B（连续T1（C2H3O2），CsNO3，Cu（NO3 )2.2.5H2O和X的硝酸盐） SOLN。 的A（连续H3PMo12O40，H3AsO4和V2O5）来处理，（b）在40-100℃加热。 C，以获得浆料，（c）在20-100℃真空干燥。 和（d）在320-400度煅烧3-15小时。 C在空气中或N atm ..甲基丙烯酸是制备的。 通过在催化剂存在下使甲基丙烯醛与O接触。
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公开(公告)号：KR101791983B1
公开(公告)日：2017-11-01
申请号：KR1020160013829
申请日：2016-02-04
Applicant: 한국화학연구원
Abstract: 본발명은고경도특성을가지는투명하드코팅막및 이의제조방법에관한것으로, 보다상세하게우수한투명성, 내스크레치성, 발수성, 방오성, 내지문성을부여할수 있는고경도특성의투명하드코팅막및 이의제조방법에관한것이다.
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公开(公告)号：KR1020170026985A
公开(公告)日：2017-03-09
申请号：KR1020150123303
申请日：2015-09-01
Applicant: 한국화학연구원
Abstract: 본발명은초발수성및 고절연성의불소계고분자에전도성을부여함으로써산업적으로널리사용되는 DC 및 MF 전원방식으로도안정적으로플라즈마를형성하여, 보다낮은에너지에서도스퍼터링이가능한탄화불소박막의제조방법및 이의제조를위한연속적인롤투롤방식의스퍼터링증착시스템에관한것이다.
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