公开(公告)号：WO2011027987A2

公开(公告)日：2011-03-10

申请号：PCT/KR2010/005630

申请日：2010-08-24

Applicant: 주식회사 아이피에스 ,  황희 ,  허필웅 ,  한창희

Inventor： 황희 ,  허필웅 ,  한창희

IPC: H01L21/20 ,  H01L21/02

CPC classification number: H01L21/68764 ,  C23C16/45551 ,  C23C16/45574 ,  H01L21/68771

Abstract: 본 발명은 가스분사장치 및 이 가스분사장치를 채용한 기판처리장치에 관한 것이다. 본 발명에 따른 가스분사장치는 챔버 내부에 회전가능하게 설치되어 복수의 기판을 지지하는 기판지지부의 상부에 설치되며, 기판지지부의 중심점을 기준으로 원주방향을 따라 배치되어 기판에 공정가스를 분사하는 복수의 가스분사유닛을 구비하는 것으로서, 복수의 가스분사유닛들 중 적어도 하나의 가스분사유닛은, 공정가스가 도입되는 도입구가 형성되어 있는 탑플레이트와, 탑프레이트와의 사이에서 기판지지부의 반경방향을 따라 가스확산공간을 형성하도록 탑플레이트의 하부에 배치되며, 도입구를 통해 유입되어 가스확산공간에서 확산된 공정가스가 기판을 향해 분사되도록 가스확산공간의 하측에 다수의 가스분사공이 형성되어 있는 분사플레이트 및 가스확산공간을 기판지지부의 반경방향을 따라 상호 격리된 복수의 공간으로 분할하도록 탑플레이트와 분사플레이트 사이에 설치되는 격벽을 구비하며, 격리된 공간별로 공정가스들이 독립적으로 유입되도록, 도입구는 복수 개 마련되어 격리된 공간별로 배치되는 것에 특징이 있다.

Abstract translation: 气体喷射装置和使用该气体喷射装置的基板处理装置技术领域本发明涉及气体喷射装置和使用该气体喷射装置的基板处理装置。 根据本发明的气体注入装置安装在可旋转地安装在所述腔室中支撑多个基板内的基板支撑件的上部，它被布置在周向相对于所述基板的所述处理气体注入到基板支撑部的中心点的方向 为具有多个气体喷射单元，多个气体喷射单元中的至少一个气体喷射单元，该处理气体中的顶板上形成的入口端口被引入，与货运塔架之间的衬底支撑件的半径 在气体扩散空间的下侧形成多个气体喷射孔，使得通过引入端口引入并扩散到气体扩散空间中的工艺气体朝向基板喷射 喷射板和气体扩散空间沿基板支撑件的径向被分成多个相互隔离的空间 为隔离空间提供多个入口开口，使得过程气体可以独立地流入隔离开口。

公开(公告)号：WO2011062357A2

公开(公告)日：2011-05-26

申请号：PCT/KR2010/006206

申请日：2010-09-13

Applicant: 주식회사 아이피에스 ,  한창희 ,  류동호 ,  이기훈

Inventor： 한창희 ,  류동호 ,  이기훈

IPC: H01L21/205

CPC classification number: C23C16/4401 ,  C23C16/45536 ,  C23C16/45565 ,  C23C16/45574 ,  C23C16/509

Abstract: 본 발명은 원자층 증착법 및 화학적 기상 증착법을 모두 구현할 수 있는 샤워헤드 어셈블리 및 이를 구비한 박막증착장치에 관한 것이다. 본 발명에 따르면, 하나의 장치로 원자층 증착법과 화학적 기상 증착법을 모두 구현할 수 있으므로, 장치의 경제성 및 효율성이 향상되며, 장치의 내부에 파티클이 누적되는 것이 방지된다.

Abstract translation: 本发明涉及可实现原子层沉积和化学气相沉积两者的淋浴头组件，以及包括淋浴头组件的薄膜沉积设备。 根据本发明，可以使用单个装置来实现原子层沉积和化学气相沉积，改善了器件的经济可行性和效率，并且防止了颗粒积聚在器件内。

公开(公告)号：KR102203386B1

公开(公告)日：2021-01-14

申请号：KR1020200051300

申请日：2020-04-28

Applicant: 한창희

Inventor： 한창희

IPC: H01H23/06 ,  H01H23/14

Abstract: 본발명은전기기구를온/오프시키거나전기의공급을단속하도록전선과전선사이에배치되고, 외부로부터의물의침투를방지할수 있는방수스위치에관한것으로, 상부반체; 상기상부반체와결합하는하부반체; 상기상부반체와상기하부반체가형성하는공간내부로외부에서전선을유입시키는도입튜브; 상기상부반체에고정부재에의해고정되는소프트커버; 및상기고정부재에고정되고, 상기소프트커버에조작부가노출되는스위칭유니트를포함하여이루어진다.

公开(公告)号：KR101096818B1

公开(公告)日：2011-12-22

申请号：KR1020100044013

申请日：2010-05-11

Applicant: 주식회사 에스이오 ,  전인덕 ,  한창희

Inventor： 박장호 ,  전인덕 ,  한창희

IPC: H01L21/02 ,  H01L21/302 ,  H01L21/67

Abstract: 본발명은웨이퍼척 파티클제거방법및 파티클제거용크리닝페이퍼에관한것으로써, 그목적으로는웨이퍼척(2)에생성된파티클을점착지(8)의점착력으로제거함으로써크리닝작업의편리성향상과함께웨이퍼척(2)에대한스크래치의발생을극소화하고자하는데에있다. 이를실현하기위한본 발명은, 크리닝페이퍼(4)를웨이퍼척(2) 상단에올려놓는과정; 상기이후로후지(10) 일측을웨이퍼척(2)으로부터이격시키는과정; 상기이후로, 분리층이어(22)를중간층이어(18)로부터분리시키면서분리층본체(20)를중간층본체(16)로부터분리하는과정; 상기이후로, 점착지(8)의노출된중간층본체(16)를웨이퍼척(2)에부착하는과정; 상기이후로, 후지(10) 타측을웨이퍼척(2)으로부터이격시키는과정; 상기이후로, 분리층이어(22)를중간층이어(18)로부터분리시키면서분리층본체(20)를중간층본체(16)로부터분리하는과정; 상기이후로, 점착지(8)의노출된중간층본체(16)를웨이퍼척(2)에부착하는과정; 상기이후로, 점착지(8)를웨이퍼척(2)으로부터분리함으로써웨이퍼척(2)의파티클을제거하는과정;인것을특징으로한다.

公开(公告)号：KR1020080095517A

公开(公告)日：2008-10-29

申请号：KR1020070040094

申请日：2007-04-24

Applicant: 박태흠 ,  한창희

Inventor： 박태흠 ,  한창희

IPC: C25D3/00 ,  C25D17/00

CPC classification number: C25D1/10

Abstract: A micro-metal mold with patterns of grooves, protrusions and through-openings, a processes for fabricating the mold, and a micro-metal sheet product made from the mold is provided to manufacture micro-metal mold in which the negative part to 1 micrometer and relief, and a penetration part can be formed, a thin sheet of metal is manufactured with the electro-forming plating reproduction. A method for manufacturing a micro-metal-mold processing as the followings; a preparation step of the insulating thin film(S401), a first photo resist coating step(S402), a first exposure for the patterning of the photoresist solution and development step(S403), a first baking step for the hardening of the patterned photoresist solution(S404), a board etch step for the form realization of the relief or the negative part(S405), an insulating film deposition step for the adhesive force enforcement of the insulation reinforcement effect in the plating and substrate and metal seed layer(S406), a metal seed layer deposition step for forming the electrode of the electro-forming plating(S407), a second photo resist coating step(S408), a second exposure and development step(S409), a second baking step(S410), a metal seed layer etch step for the penetration part pattern realization(S411), A step for forming the seed plating electric pole by a first plating for ensuring durability of the metal seed layer(S412).

Abstract translation: 提供具有凹槽，突起和通孔图案的微金属模具，用于制造模具的方法以及由模具制成的微金属片材产品，以制造其中负部分至1微米的微金属模具 并且可以形成穿透部分，通过电镀电镀再生制造薄金属片。 一种微金属模具加工的制造方法，其特征在于， 绝缘薄膜的制备步骤（S401），第一光致抗蚀剂涂覆步骤（S402），用于图案化光致抗蚀剂溶液的第一曝光和显影步骤（S403），用于硬化图案化光致抗蚀剂的第一烘烤步骤 解决方案（S404），用于形成浮雕或负面部件的板蚀刻步骤（S405），用于在电镀和基板和金属种子层中实现绝缘增强效果的粘合力的绝缘膜沉积步骤（S406 ），用于形成电镀的电极的金属种子层沉积步骤（S407），第二光刻胶涂覆步骤（S408），第二曝光和显影步骤（S409），第二烘烤步骤（S410）， 用于穿透部位图案实现的金属种子层蚀刻步骤（S411），通过用于确保金属种子层的耐久性的第一镀覆形成种子电镀电极的步骤（S412）。

公开(公告)号：KR200333379Y1

公开(公告)日：2003-11-15

申请号：KR2020030022053

申请日：2003-07-09

Applicant: 한창희 ,  한성건

Inventor： 한창희 ,  한성건

IPC: A47K1/00

Abstract: 본 고안은 가정 또는 공공시설 등의 실내에 장착하여 사용할 수 있는 핸드 크리닝 장치에 관한 것으로, 몸체의 상부에 히터와 모터 및 토출팬이 내장되고, 그 몸체의 측면에는 착탈식 물통을 장착하며 상기 물통으로부터 세척수를 고압 토출하는 펌프 및 분사노즐, 상기 몸체의 상부에 위치한 UV램프 또는 광촉매램프 등의 살균램프, 상기 몸체의 하부에 위치한 집수통을 부가 장착 하여, 이를 별도의 제어회로 및 콘트롤러에 의해 자동 또는 수동 작동되게 함으로서,
설치장소에 구애받지 않으므로 세면대가 없는 장소에서도 상기 세척수를 이용하여 용이하게 손을 씻을 수 있음은 물론 세척된 손을 공지의 히팅수단에 의해 건조시킴과 동시에 살균램프에 의해 살균작용이 동시에 이루어지므로 보다 간편하고 위생적으로 손을 씻을 수 있는 효과가 있는 세척 및 살균이 가능한 핸드 크리닝 장치에 대한 것이다.

公开(公告)号：KR200266454Y1

公开(公告)日：2002-02-28

申请号：KR2020010036567

申请日：2001-11-27

Applicant: 한창희

Inventor： 한창희

IPC: A61N5/06

Abstract: 본 고안의 무좀 치료기는 본체 케이스(1)의 상측에 발을 얹어 놓기 위한 풋 플레이트(4)가 설치되어 있고, 그 풋 플레이트(4)의 하측에 세균을 살균하기 위한 자외선과 탈취를 위한 오존을 발생시키는 살균 램프(6)가 설치되어 있으며, 그 살균램프(6)의 하측에 살균램프(6)에서 발생되는 자외선 및 오존이 상기 풋 플레이트(4)에 형성된 통공(7)들을 통하여 발 바닥에 전달되도록 송풍하는 송풍팬(9)이 구비되도록 하여, 상기 살균램프(6)에서 발생되는 자외선에 의하여 발 바닥에 기생하는 무좀균이나 파상풍균과 같은 세균들의 살균이 이루어짐과 아울러 오존에 의하여 발에서 발생되는 냄새의 탈취가 이루어지게 된 것이다. 또한, 풋 플레이트(4)에는 다수개의 지압돌기(5)들이 설치되어 있어서 발 바닥에 지압이 동시에 이루어지게 된다.

公开(公告)号：KR200180807Y1

公开(公告)日：2000-05-15

申请号：KR2019990028549

申请日：1999-12-17

Applicant: 한창희

Inventor： 한창희

IPC: E02B7/20

Abstract: 본 고안은 유압을 이용한 수문개폐장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 수문의 개폐를 유압으로 작동되는 실린더를 이용하여 개폐되도록 하므로서, 수문의 개폐를 쉽고 용이하게 할 수 있고, 수문개폐에 따른 작업인원을 최소화할 수 있도록 한 유압을 이용한 수문개폐장치에 관한 것이다.
상기 목적을 달성하기 위한 본 고안은 내측면 양측에 가이드(11')가 설치되는 문틀(11)과, 그 가이드(11')에서 승하강되면서 개폐되는 수문(12)으로 이루어진 수문개폐장치에 있어서, 상기 수문(12)을 승하강시킬 수 있도록 수문(12)의 상부 양측에 고정되어 문틀(11)의 상부를 관통하여 돌출되게 설치되며, 돌출된 외연에는 각각 피스톤(16)이 고정설치되는 한 쌍의 로드(13)와, 상기 피스톤(16)이 고정설치된 로드(13)의 외연에 설치되는 실린더(14)와, 문틀(11)상부에 설치되어 모터(17)의 구동에 따라 작동되며, 오일탱크(18)의 오일을 상,하향 공급관(20)을 통해 상기 실린더(14)내로 공급하여 피스톤(16)을 승하강시키기 위한 오일펌프(19)와, 상기 오일펌프(19)와 공급관(20)사이에 설치되어 수문(12)의 승하강여부에 따라 오일을 선택적으로 공급할 수 있도록 한 솔레노이� �� 밸브(22)로 이루어진다.

公开(公告)号：KR2019990036567U

公开(公告)日：1999-09-27

申请号：KR2019980002466

申请日：1998-02-24

Applicant: 한창희

Inventor： 한창희

IPC: B65D85/00

Abstract: 본 고안은 사탕 포장용 단위포장용지에 관한 것으로, 단위포장용지(2)를 다수의 사탕(1)을 낱개씩 포장하도록 하나의 사탕을 포장하는데 적절한 크기를 가지고, 외관이 미려하도록 재질이 오팔지로 구비하므로, 사탕이 낱개씩 포장된 상태에서 사탕봉투에 담겨지므로 꺼내 먹을시 손에 끈적한 것이 묻지 않고 이에 따라 청결을 유지할 수 있으며, 필요한 만큼씩 주머니 등에 간편하게 휴대할 수 있을 뿐 아니라, 오팔지 특유의 빛깔에 의해 포장된 사탕의 상품성을 높일 수 있도록 하였다.

公开(公告)号：KR102118243B1

公开(公告)日：2020-06-09

申请号：KR1020170024439

申请日：2017-02-24

Applicant: 정택종 ,  한창희

Inventor： 정택종 ,  한창희

IPC: B09B3/00 ,  B09B5/00