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公开(公告)号：DE112019006279T5
公开(公告)日：2021-09-16
申请号：DE112019006279
申请日：2019-09-09
Applicant: HAMAMATSU PHOTONICS KK
Inventor： SEITZ PETER , TEICHMANN HELMUT , SHIBAYAMA KATSUMI , KASAHARA TAKASHI
Abstract: Es ist eine Steuervorrichtung zum Steuern eines Fabry-Perot-Interferenzfilters vorgesehen, das ein Paar einander zugewandte Spiegelabschnitte mit einem Luftspalt dazwischen sowie ein Paar einander zugewandte Ansteuerelektroden mit einem Luftspalt dazwischen aufweist und einen Abstand zwischen dem Paar Spiegelabschnitte aufweist, welcher gemäß den zwischen dem Paar Ansteuerelektroden gespeicherten Ladungen verändert wird. Die Steuervorrichtung weist auf: eine erste Ansteuerquelle, die unter Verwendung eines Stroms als Steuerparameter gesteuert wird und den Abstand zwischen dem Paar Spiegelabschnitte verändert; eine zweite Ansteuerquelle, die unter Verwendung einer Spannung als Steuerparameter gesteuert wird und den Abstand zwischen dem Paar Spiegelabschnitt verändert; und eine Steuereinheit, die die erste Ansteuerquelle sowie die zweite Ansteuerquelle derart steuert, dass der Abstand zwischen dem Paar Spiegelabschnitte durch eine erste Ansteuerquelle in einem ersten Bereich verändert wird und der Abstand zwischen dem Paar Spiegelabschnitte durch die zweite Ansteuerquelle in mindestens einem Teil eines anderen Bereichs als dem ersten Bereich geändert wird, wenn ein Bereich, der ein Maximum der Spannung in der Beziehung zwischen den zwischen dem Paar Ansteuerelektroden gespeicherten Ladungen und der Spannung zwischen dem Paar Ansteuerelektroden aufweist, als der erste Bereich definiert ist.
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公开(公告)号：DE112019005006T5
公开(公告)日：2021-06-24
申请号：DE112019005006
申请日：2019-09-24
Applicant: HAMAMATSU PHOTONICS KK
Inventor： KASAHARA TAKASHI , SHIBAYAMA KATSUMI , HIROSE MASAKI , OYAMA HIROKI , KURAMOTO YUMI
Abstract: Ein Fabry-Perot-Interferenzfilter hat: ein Substrat mit einer ersten Oberfläche; einen ersten laminierten Körper mit einem ersten Spiegelabschnitt, der auf der ersten Oberfläche angeordnet ist; einen zweiten laminierten Körper mit einem zweiten Spiegelabschnitt, welcher an einer dem Substrat bezüglich des ersten Spiegelabschnitts entgegengesetzt Seite dem ersten Spiegelabschnitt mit einen dazwischen angeordneten Spalt gegenüberliegt; eine Zwischenschicht mit einem Definierungsabschnitt, welcher den Spalt zwischen dem ersten laminierten Körper und dem zweiten laminierten Körper definiert; eine erste Elektrode, welche in einer ersten Schicht gebildet ist, die den ersten laminierten Körper bildet; und eine zweite Elektrode, welche in einer den zweiten laminierten Körper bildenden zweiten Schicht gebildet ist und der ersten Elektrode gegenüberliegt. Die Zwischenschicht hat ferner einen Deckabschnitt, welcher äußere Ränder einer Vielzahl von Schichten inklusive der ersten Schicht unter Schichten, welche den ersten laminierten Körper bilden, bedeckt; und einen Erstreckungsabschnitt, welcher sich von dem Deckabschnitt entlang einer Richtung parallel zu der ersten Oberfläche nach außen erstreckt. Der zweite laminierte Körper erstreckt sich, um eine gestufte Oberfläche, die zwischen dem Definierungsabschnitt und der Erstreckungsabschnitt durch den Deckabschnitt gebildet ist, und eine äußere Endfläche des Erstreckungsabschnitts zu bedecken.
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3.发明专利
公开(公告)号：SG11201807221YA
公开(公告)日：2018-09-27
申请号：SG11201807221Y
申请日：2017-05-01
Applicant: HAMAMATSU PHOTONICS KK
Inventor： KASAHARA TAKASHI , SHIBAYAMA KATSUMI , HIROSE MASAKI , KAWAI TOSHIMITSU , OYAMA HIROKI , KURAMOTO YUMI
Abstract: The Fabry-Perot interference filter includes: a substrate 11 having a first surface 11a, a first laminate 22 having a first mirror portion 31 disposed on the first surface 11a, a second laminate 24 5 having a second mirror portion 32 facing the first mirror portion 31 with an air gap S interposed therebetween, and an intermediate layer 23 defining the air gap S between the first laminate 22 and the second laminate 24. The substrate 11 has an outer edge portion 11 c positioned outside an outer edge of the intermediate layer 23 when viewed from a 10 direction perpendicular to the first surface 11a. The second laminate 24 further includes a covering portion 33 covering the intermediate layer 23 and a peripheral edge portion 34 positioned on the first surface 11 a in the outer edge portion 11c. The second mirror portion 32, the covering portion 33, and the peripheral edge portion 34 are integrally 15 formed so as to be continuous with each other. The peripheral edge portion 34 is thinned along an outer edge of the outer edge portion 11 c. Figure 3 34
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公开(公告)号：DE112013002559B4
公开(公告)日：2022-09-15
申请号：DE112013002559
申请日：2013-05-08
Applicant: HAMAMATSU PHOTONICS KK
Inventor： KASAHARA TAKASHI , SHIBAYAMA KATSUMI
Abstract: Spektralsensor (1A, 1B), mit:einer Interferenzfiltereinheit (20A, 20B), die eine Hohlschicht (21) und erste und zweite Spiegelschichten (22, 23) aufweist, die einander durch die Hohlschicht (21) gegenüberliegen, zum selektiven Übertragen dadurch eines vorbestimmten Wellenlängenbereichs von Licht gemäß einer Einfallposition davon von der ersten Spiegelschichtseite zu der zweiten Spiegelschichtseite; undeinem Lichterfassungssubstrat (30), das eine Licht-empfangende Oberfläche (32a) zum Empfangen des Lichts aufweist, das durch die Interferenzfiltereinheit (20A, 20B) übertragen wird, zum Erfassen des auf der Licht-empfangenden Oberfläche (32a) einfallenden Lichts;wobei die Interferenzfiltereinheit (20A, 20B) einen ersten Filterbereich (24) aufweist, welcher der Licht-empfangenden Oberfläche (32a) im Blick in eine vorbestimmte Richtung entspricht, welche die Licht-empfangende Oberfläche (32a) schneidet, und einen ringförmigen zweiten Filterbereich (25), der den ersten Filterbereich (24) im Blick in der vorbestimmten Richtung umgibt;wobei der Abstand in der vorbestimmten Richtung zwischen den ersten und zweiten Spiegelschichten (22, 23) in dem ersten Filterbereich (24) variiert; undwobei der Abstand in der vorbestimmten Richtung zwischen den ersten und zweiten Spiegelschichten (22, 23) in dem zweiten Filterbereich (25) fest ist.
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公开(公告)号：FI20215541A1
公开(公告)日：2021-05-07
申请号：FI20215541
申请日：2019-09-30
Applicant: HAMAMATSU PHOTONICS KK
Inventor： KASAHARA TAKASHI , SHIBAYAMA KATSUMI , HIROSE MASAKI , KAWAI TOSHIMITSU , OYAMA HIROKI , KURAMOTO YUMI
Abstract: An optical filter device includes: a Fabry-Perot interference filter; and a resistance measurement unit. The Fabry-Perot interference filter includes: a first structural body having a first surface and a second surface; a second structural body having a third surface; a first mirror portion provided to the first structural body; a second mirror portion provided to the second structural body so as to face the first mirror portion via an air gap; a first driving electrode provided to the first structural body; a second driving electrode provided to the second structural body; a first terminal and a third terminal electrically connected to the first driving electrode; and a second terminal electrically connected to the second driving electrode. The first driving electrode overlaps the air gap when viewed from a facing direction in which the first surface and the third surface face each other. A distance between the first driving electrode and the air gap is shorter than a distance between the second surface and the air gap in the facing direction. The resistance measurement unit is electrically connected to the first terminal and the third terminal and measures a resistance value of the first driving electrode.
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：SG11201810376PA
公开(公告)日：2018-12-28
申请号：SG11201810376P
申请日：2017-05-26
Applicant: HAMAMATSU PHOTONICS KK
Inventor： KASAHARA TAKASHI , SHIBAYAMA KATSUMI , HIROSE MASAKI , KAWAI TOSHIMITSU , OYAMA HIROKI , KURAMOTO YUMI
Abstract: method manufacturing Fabry-Perot filter includes a forming step of forming a first mirror layer having a plurality of first mirror portions, a sacrificial layer having a plurality of portions expected to be removed, and a second mirror layer having a plurality of 5 second mirror portions on a first main surface of a wafer which includes parts to plurality two-dimensionally substrates and is expected to be cut into the plurality of substrates along each of a plurality of lines; a removing step of simultaneously removing the of arranged expected be 10 removed the layer etching the step; a step cutting wafer the of substrates along each of the plurality of lines after the removing step. 15 FIGURE 7
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公开(公告)号：DE112013002559T5
公开(公告)日：2015-02-05
申请号：DE112013002559
申请日：2013-05-08
Applicant: HAMAMATSU PHOTONICS KK
Inventor： KASAHARA TAKASHI , SHIBAYAMA KATSUMI
Abstract: Ein Spektralsensor 1A umfasst eine Interferenzfiltereinheit 20A, die eine Hohlschicht 21 und erste und zweite Spiegelschichten 22, 23 aufweist, und ein Lichterfassungssubstrat 30, das eine Licht-empfangende Oberfläche 32a zum Empfangen des durch die Interferenzfiltereinheit 20A übertragenen Lichts aufweist. Die Interferenzfiltereinheit 20A weist einen ersten Filterbereich 24 auf, welcher der Licht-empfangenden Oberfläche 32a entspricht, und einen ringförmigen zweiten Filterbereich 25, der den ersten Filterbereich 24 umgibt. Der Abstand zwischen den ersten und zweiten Spiegelschichten 22, 23 variiert in dem ersten Filterbereich 24 und ist in dem zweiten Filterbereich 25 fest.
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公开(公告)号：DE112019006076T5
公开(公告)日：2021-09-02
申请号：DE112019006076
申请日：2019-09-30
Applicant: HAMAMATSU PHOTONICS KK
Inventor： KASAHARA TAKASHI , SHIBAYAMA KATSUMI , HIROSE MASAKI , KAWAI TOSHIMITSU , OYAMA HIROKI , KURAMOTO YUMI
Abstract: Eine optische Filtervorrichtung hat einen Fabry-Perot-Interferenzfilter und eine Widerstandsmesseinheit. Der Fabry-Perot-Interferenzfilter hat einen ersten Strukturkörper mit einer ersten Fläche und einer zweiten Fläche, einen zweiten Strukturkörper mit einer dritten Fläche, einen ersten Spiegelabschnitt, der an dem ersten Strukturkörper vorgesehen ist, einen zweiten Spiegelabschnitt, der an dem zweiten Strukturkörper derart vorgesehen ist, dass er dem ersten Spiegelabschnitt über einen Luftspalt zugewandt ist, eine erste Antriebselektrode, die an dem ersten Strukturkörper vorgesehen ist, eine zweite Antriebselektrode, die an dem zweiten Strukturkörper vorgesehen ist, einen ersten Anschluss und einen dritten Anschluss, die elektrisch mit der ersten Antriebselektrode verbunden sind, und einen zweiten Anschluss, der elektrisch mit der zweiten Antriebselektrode verbunden ist. Die erste Antriebselektrode überlappt den Luftspalt betrachtet aus einer Zuwendungsrichtung, in der die erste Fläche und die dritte Fläche einander zugewandt sind. Ein Abstand zwischen der ersten Antriebselektrode und dem Luftspalt ist kürzer als ein Abstand zwischen der zweiten Fläche und dem Luftspalt in der Zuwendungsrichtung. Die Widerstandsmesseinheit ist elektrisch mit dem ersten Anschluss und dem dritten Anschluss verbunden und misst einen Widerstandswert der ersten Antriebselektrode.
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公开(公告)号：FI20215359A1
公开(公告)日：2021-03-29
申请号：FI20215359
申请日：2019-09-24
Applicant: HAMAMATSU PHOTONICS KK
Inventor： KASAHARA TAKASHI , SHIBAYAMA KATSUMI , HIROSE MASAKI , OYAMA HIROKI , KURAMOTO YUMI
Abstract: A Fabry-Perot interference filter includes: a substrate including a first surface; a first laminated body including a first mirror portion disposed on the first surface; a second laminated body including a second mirror portion that faces the first mirror portion with a gap interposed therebetween on a side opposite to the substrate with respect to the first mirror portion; an intermediate layer including a defining portion that defines the gap between the first laminated body and the second laminated body; a first electrode formed in a first layer constituting the first laminated body; and a second electrode that is formed in a second layer constituting the second laminated body and faces the first electrode. The intermediate layer further includes a covering portion that covers outer edges of a plurality of layers including the first layer among layers constituting the first laminated body; and an extending portion that extends outward from the covering portion along a direction parallel to the first surface. The second laminated body extends to cover a stepped surface formed between the defining portion and the extending portion by the covering portion and an outer end surface of the extending portion.
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公开(公告)号：FI131351B1
公开(公告)日：2025-03-05
申请号：FI20215609
申请日：2019-09-09
Applicant: HAMAMATSU PHOTONICS KK
Inventor： KASAHARA TAKASHI , SHIBAYAMA KATSUMI , SEITZ PETER , TEICHMANN HELMUT
Abstract: Provided is a control device for controlling a Fabry-Perot interference filter having a pair of mirror parts facing each other with an air gap therebetween and a pair of driving electrodes facing each other with the air gap therebetween, and having a distance between the pair of mirror parts changed in accordance with charges stored between the pair of driving electrodes. The control device includes: a first driving source that is controlled by using a current as a control parameter, and changes the distance between the pair of mirror parts; a second driving source that is controlled by using a voltage as a control parameter, and changes the distance between the pair of mirror parts; and a control unit that controls the first driving source and the second driving source in such a way that the distance between the pair of mirror parts is changed by a first driving source in a first region and the distance between the pair of mirror parts is changed by the second driving source in at least one part of an region other than the first region when an region including a maximum of the voltage in relation between the charges stored between the pair of driving electrodes, and the voltage between the pair of driving electrodes is defined as the first region.
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