公开(公告)号：SG11201807221YA

公开(公告)日：2018-09-27

申请号：SG11201807221Y

申请日：2017-05-01

Applicant: HAMAMATSU PHOTONICS KK

Inventor： KASAHARA TAKASHI ,  SHIBAYAMA KATSUMI ,  HIROSE MASAKI ,  KAWAI TOSHIMITSU ,  OYAMA HIROKI ,  KURAMOTO YUMI

IPC: B81B3/00 ,  G02B26/00 ,  B81C1/00

Abstract: The Fabry-Perot interference filter includes: a substrate 11 having a first surface 11a, a first laminate 22 having a first mirror portion 31 disposed on the first surface 11a, a second laminate 24 5 having a second mirror portion 32 facing the first mirror portion 31 with an air gap S interposed therebetween, and an intermediate layer 23 defining the air gap S between the first laminate 22 and the second laminate 24. The substrate 11 has an outer edge portion 11 c positioned outside an outer edge of the intermediate layer 23 when viewed from a 10 direction perpendicular to the first surface 11a. The second laminate 24 further includes a covering portion 33 covering the intermediate layer 23 and a peripheral edge portion 34 positioned on the first surface 11 a in the outer edge portion 11c. The second mirror portion 32, the covering portion 33, and the peripheral edge portion 34 are integrally 15 formed so as to be continuous with each other. The peripheral edge portion 34 is thinned along an outer edge of the outer edge portion 11 c. Figure 3 34

公开(公告)号：DE112019006076T5

公开(公告)日：2021-09-02

申请号：DE112019006076

申请日：2019-09-30

Applicant: HAMAMATSU PHOTONICS KK

Inventor： KASAHARA TAKASHI ,  SHIBAYAMA KATSUMI ,  HIROSE MASAKI ,  KAWAI TOSHIMITSU ,  OYAMA HIROKI ,  KURAMOTO YUMI

IPC: G02B26/00 ,  G01J3/26 ,  G02B5/28

Abstract: Eine optische Filtervorrichtung hat einen Fabry-Perot-Interferenzfilter und eine Widerstandsmesseinheit. Der Fabry-Perot-Interferenzfilter hat einen ersten Strukturkörper mit einer ersten Fläche und einer zweiten Fläche, einen zweiten Strukturkörper mit einer dritten Fläche, einen ersten Spiegelabschnitt, der an dem ersten Strukturkörper vorgesehen ist, einen zweiten Spiegelabschnitt, der an dem zweiten Strukturkörper derart vorgesehen ist, dass er dem ersten Spiegelabschnitt über einen Luftspalt zugewandt ist, eine erste Antriebselektrode, die an dem ersten Strukturkörper vorgesehen ist, eine zweite Antriebselektrode, die an dem zweiten Strukturkörper vorgesehen ist, einen ersten Anschluss und einen dritten Anschluss, die elektrisch mit der ersten Antriebselektrode verbunden sind, und einen zweiten Anschluss, der elektrisch mit der zweiten Antriebselektrode verbunden ist. Die erste Antriebselektrode überlappt den Luftspalt betrachtet aus einer Zuwendungsrichtung, in der die erste Fläche und die dritte Fläche einander zugewandt sind. Ein Abstand zwischen der ersten Antriebselektrode und dem Luftspalt ist kürzer als ein Abstand zwischen der zweiten Fläche und dem Luftspalt in der Zuwendungsrichtung. Die Widerstandsmesseinheit ist elektrisch mit dem ersten Anschluss und dem dritten Anschluss verbunden und misst einen Widerstandswert der ersten Antriebselektrode.

公开(公告)号：DE112013004001T5

公开(公告)日：2015-07-02

申请号：DE112013004001

申请日：2013-08-09

Applicant: HAMAMATSU PHOTONICS KK

Inventor： ITO MASASHI ,  SHIBAYAMA KATSUMI ,  YOKINO TAKAFUMI ,  HIROSE MASAKI ,  KAWAI TOSHIMITSU ,  OFUJI KAZUTO ,  MARUYAMA YOSHIHIRO

IPC: G01N21/65 ,  B82Y15/00 ,  B82Y40/00

Abstract: Ein Element zur oberflächenverstärkten Ramanstreuung umfasst ein Substrat mit einer Hauptoberfläche; eine geformte Schicht mit einem Halteteil, der auf der Hauptoberfläche des Substrats ausgebildet ist, um sich entlang der Hauptoberfläche zu erstrecken, und einem Feinstrukturteil, der auf dem Halteteil ausgebildet ist; einen Rahmenteil, der auf der Hauptoberfläche des Substrats so ausgebildet ist, dass er den Halteteil und den Feinstrukturteil entlang der Hauptoberfläche umgibt; und eine Leitungsschicht, die zumindest auf dem Feinstrukturteil ausgebildet ist und einen optischen Funktionsteil zum Erzeugen von oberflächenverstärkter Raman-Streuung bildet; während der Feinstrukturteil integral mit dem Halteteil ausgebildet ist.

公开(公告)号：DE112013004001B4

公开(公告)日：2021-11-18

申请号：DE112013004001

申请日：2013-08-09

Applicant: HAMAMATSU PHOTONICS KK

Inventor： ITO MASASHI ,  SHIBAYAMA KATSUMI ,  YOKINO TAKAFUMI ,  HIROSE MASAKI ,  KAWAI TOSHIMITSU ,  OFUJI KAZUTO ,  MARUYAMA YOSHIHIRO

IPC: G01N21/65 ,  B82Y15/00 ,  B82Y40/00

Abstract: Element zur oberflächenverstärkten Ramanstreuung umfassend:ein Substrat mit einer Hauptoberfläche;eine geformte Schicht mit einem Halteteil, der auf der Hauptoberfläche des Substrats so ausgebildet ist, dass er sich entlang der Hauptoberfläche erststreckt, und einem Feinstrukturteil, der auf dem Halteteil ausgebildet ist;einen Rahmenteil, der auf der Hauptoberfläche des Substrats ausgebildet ist, so dass er den Halteteil und den Feinstrukturteil entlang der Hauptoberfläche umgibt; undeine Leitungsschicht, die zumindest auf dem Feinstrukturteil ausgebildet ist und einen optischen Funktionsteil zum Erzeugen von oberflächenverstärkter Raman-Streuung bildet;wobei der Feinstrukturteil integral mit dem Halteteil ausgebildet ist.

公开(公告)号：FI20215541A1

公开(公告)日：2021-05-07

申请号：FI20215541

申请日：2019-09-30

Applicant: HAMAMATSU PHOTONICS KK

Inventor： KASAHARA TAKASHI ,  SHIBAYAMA KATSUMI ,  HIROSE MASAKI ,  KAWAI TOSHIMITSU ,  OYAMA HIROKI ,  KURAMOTO YUMI

IPC: G01J3/26 ,  G02B5/28 ,  G02B26/00

Abstract: An optical filter device includes: a Fabry-Perot interference filter; and a resistance measurement unit. The Fabry-Perot interference filter includes: a first structural body having a first surface and a second surface; a second structural body having a third surface; a first mirror portion provided to the first structural body; a second mirror portion provided to the second structural body so as to face the first mirror portion via an air gap; a first driving electrode provided to the first structural body; a second driving electrode provided to the second structural body; a first terminal and a third terminal electrically connected to the first driving electrode; and a second terminal electrically connected to the second driving electrode. The first driving electrode overlaps the air gap when viewed from a facing direction in which the first surface and the third surface face each other. A distance between the first driving electrode and the air gap is shorter than a distance between the second surface and the air gap in the facing direction. The resistance measurement unit is electrically connected to the first terminal and the third terminal and measures a resistance value of the first driving electrode.

公开(公告)号：SG11201810376PA

公开(公告)日：2018-12-28

申请号：SG11201810376P

申请日：2017-05-26

Applicant: HAMAMATSU PHOTONICS KK

Inventor： KASAHARA TAKASHI ,  SHIBAYAMA KATSUMI ,  HIROSE MASAKI ,  KAWAI TOSHIMITSU ,  OYAMA HIROKI ,  KURAMOTO YUMI

IPC: G02B26/00 ,  B81B3/00 ,  B81C1/00

Abstract: method manufacturing Fabry-Perot filter includes a forming step of forming a first mirror layer having a plurality of first mirror portions, a sacrificial layer having a plurality of portions expected to be removed, and a second mirror layer having a plurality of 5 second mirror portions on a first main surface of a wafer which includes parts to plurality two-dimensionally substrates and is expected to be cut into the plurality of substrates along each of a plurality of lines; a removing step of simultaneously removing the of arranged expected be 10 removed the layer etching the step; a step cutting wafer the of substrates along each of the plurality of lines after the removing step. 15 FIGURE 7

公开(公告)号：FI4350430T3

公开(公告)日：2025-03-21

申请号：FI24159648

申请日：2017-03-03

Applicant: HAMAMATSU PHOTONICS KK

Inventor： HIROSE MASAKI ,  SHIBAYAMA KATSUMI ,  KASAHARA TAKASHI ,  KAWAI TOSHIMITSU ,  OYAMA HIROKI

IPC: G01J3/02 ,  G01J1/04 ,  G01J3/26 ,  G02B26/00 ,  G02F1/21

Abstract: A light detection device includes a Fabry-Perot interference filter provided with a light transmitting region on a predetermined line, a light detector disposed on one side with respect to the Fabry-Perot interference filter on the line, a package having an opening positioned on the other side with respect to the Fabry-Perot interference filter on the line, a light transmitting member provided in the package such that the opening is blocked, and a temperature control element having an endothermic region thermally connected to the Fabry-Perot interference filter and the light detector. The endothermic region is positioned on one side with respect to the light detector on the line.

公开(公告)号：FI3428589T3

公开(公告)日：2024-05-07

申请号：FI17763113

申请日：2017-03-03

Applicant: HAMAMATSU PHOTONICS KK

Inventor： HIROSE MASAKI ,  SHIBAYAMA KATSUMI ,  KASAHARA TAKASHI ,  KAWAI TOSHIMITSU ,  OYAMA HIROKI

IPC: G01J3/26 ,  G01J1/04 ,  G01J3/02 ,  G02B26/00 ,  G02F1/21

Abstract: A light detection device includes a Fabry-Perot interference filter provided with a light transmitting region on a predetermined line, a light detector disposed on one side with respect to the Fabry-Perot interference filter on the line, a package having an opening positioned on the other side with respect to the Fabry-Perot interference filter on the line, a light transmitting member provided in the package such that the opening is blocked, and a temperature control element having an endothermic region thermally connected to the Fabry-Perot interference filter and the light detector. The endothermic region is positioned on one side with respect to the light detector on the line.

公开(公告)号：PH12018502444A1

公开(公告)日：2019-09-09

申请号：PH12018502444

申请日：2018-11-20

Applicant: HAMAMATSU PHOTONICS KK

Inventor： KASAHARA TAKASHI ,  SHIBAYAMA KATSUMI ,  HIROSE MASAKI ,  KAWAI TOSHIMITSU ,  OYAMA HIROKI ,  KURAMOTO YUMI

IPC: B81B3/00 ,  B81C1/00 ,  G02B26/00

Abstract: A production method for a Fabry-Perot interference filter, the production method comprising a formation step, a removal step that is after the formation step, and a cutting step that is after the removal step. The formation step is for forming, on a first main surface of a wafer that includes two-dimensionally arrayed sections that correspond to a plurality of substrates and that is to be cut along each of a plurality of lines into the plurality of substrates, a first mirror layer that has a plurality of first mirror parts, a sacrificial layer that has a plurality of removal parts, and a second mirror layer that has a plurality of second mirror parts. The removal step is for simultaneously removing the plurality of removal parts, which are two-dimensionally arrayed, from the sacrificial layer by etching. The cutting step is for cutting the wafer along each of the plurality of lines into the plurality of substrates.

公开(公告)号：PH12018502443A1

公开(公告)日：2019-09-09

申请号：PH12018502443

申请日：2018-11-20

Applicant: HAMAMATSU PHOTONICS KK

Inventor： KASAHARA TAKASHI ,  SHIBAYAMA KATSUMI ,  HIROSE MASAKI ,  KAWAI TOSHIMITSU ,  OYAMA HIROKI ,  KURAMOTO YUMI

IPC: B81B3/00 ,  B81C1/00 ,  G02B26/00

Abstract: A Fabry-Perot interference filter 1 that comprises: a substrate 11 that has a first surface 11a; a first laminate 22 that is arranged on the first surface 11a and has a first mirror part 31; a second laminate 24 that has a second mirror part 32 that faces the first mirror part 31 across a space S; and an intermediate layer 23 that demarcates the space S between the first laminate 22 and the second laminate 24. The substrate 11 has an outer edge part 11c that, seen from a direction that is orthogonal to the first surface 11a, is positioned further to the outside than an outer edge of the intermediate layer 23. The second laminate 24 also has: a covering part 33 that covers the intermediate layer 23; and a peripheral edge part 34 that is positioned upon the first surface 11a at the outer edge part 11c. The second mirror part 32, the covering part 33, and the peripheral edge part 34 are integrally formed so as to be continuous. The peripheral edge part 34 is thinned along an outer edge of the outer edge part 11c.