公开(公告)号：US3549401A

公开(公告)日：1970-12-22

申请号：US3549401D

申请日：1966-12-20

Applicant: IBM

Inventor： BUSZKO LEONARD J ,  FOSTER LUTHER M ,  LORENZ MAX R

IPC: C30B19/06 ,  H01L21/208 ,  H01L33/30 ,  H01L7/38

CPC classification number: H01L33/30 ,  C30B19/061 ,  H01L21/02543 ,  H01L21/02581 ,  H01L21/02625 ,  H01L21/02628 ,  Y10S148/107

公开(公告)号：CA808347A

公开(公告)日：1969-03-11

申请号：CA808347D

Applicant: IBM

Inventor： BUSZKO LEONARD J ,  LORENZ MAX R ,  FOSTER LUTHER M