公开(公告)号：US3357871A

公开(公告)日：1967-12-12

申请号：US52024566

申请日：1966-01-12

Applicant: IBM

Inventor： JONES JR ROBERT E

IPC: C23F1/02 ,  H01L21/00 ,  H01L21/762

CPC classification number: H01L21/76297 ,  H01L21/00 ,  Y10S148/051 ,  Y10S148/085 ,  Y10S438/928 ,  Y10S438/977

公开(公告)号：JPS61255523A

公开(公告)日：1986-11-13

申请号：JP7684986

申请日：1986-04-04

Applicant: IBM

Inventor： JONES JR ROBERT E ,  LEE RODNEY E ,  YEH TSU-HSING

IPC: G11B5/31