公开(公告)号：JPS6237936A

公开(公告)日：1987-02-18

申请号：JP15812986

申请日：1986-07-07

Applicant: IBM

Inventor： NIXON PAUL E ,  POLAVARAPU MURTY S ,  STANASOLOVICH DAVID

IPC: H01L21/302 ,  C03C15/00 ,  H01L21/28 ,  H01L21/3065 ,  H01L21/311

公开(公告)号：JPH0545057B2

公开(公告)日：1993-07-08

申请号：JP15812986

申请日：1986-07-07

Applicant: IBM

Inventor： NIXON PAUL E ,  POLAVARAPU MURTY S ,  STANASOLOVICH DAVID

IPC: H01L21/302 ,  C03C15/00 ,  H01L21/28 ,  H01L21/3065 ,  H01L21/311