公开(公告)号：DE69506948T2

公开(公告)日：1999-07-29

申请号：DE69506948

申请日：1995-05-17

Applicant: IBM

Inventor： DATTA MADHAV ,  SHENOY RAVINDRA VAMAN

IPC: C23F1/26 ,  C23F1/44 ,  H01L21/28 ,  H01L21/306 ,  H01L21/3213 ,  H01L21/60 ,  H01L23/485

公开(公告)号：DE69506948D1

公开(公告)日：1999-02-11

申请号：DE69506948

申请日：1995-05-17

Applicant: IBM

Inventor： DATTA MADHAV ,  SHENOY RAVINDRA VAMAN

IPC: C23F1/26 ,  C23F1/44 ,  H01L21/28 ,  H01L21/306 ,  H01L21/3213 ,  H01L21/60 ,  H01L23/485