公开(公告)号：EP2729789A4

公开(公告)日：2015-03-18

申请号：EP12807285

申请日：2012-07-03

Applicant: KLA TENCOR CORP

Inventor： KWAK HINDONG ,  DIXON WARD ,  POSLAVSKY LEONID ,  KAACK TORSTEN

IPC: G01N21/21 ,  G01J4/00

CPC classification number: G01J4/00 ,  G01N21/211 ,  G01N2021/213

公开(公告)号：EP2729760A4

公开(公告)日：2015-02-25

申请号：EP12807567

申请日：2012-07-02

Applicant: KLA TENCOR CORP

Inventor： KWAK HIDONG ,  DIXON WARD ,  KAACK TORSTEN ,  WANG NING-YI NEIL ,  SANDHU JAGJIT

IPC: G01B11/06 ,  B08B5/02

CPC classification number: G01N21/55 ,  B08B5/02 ,  G01B11/06 ,  G01B11/0641 ,  G01B2210/56 ,  G01N21/21 ,  H01L21/67017 ,  H01L22/12 ,  H01L2924/0002 ,  H01L2924/00