Patent search ap:("KOREA RES INST OF STANDARDS") AND inv:"SEO SUNG WON" Page 1

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发明授权
오존 생성을 이용한 흑린 박막 제조 방법 및 이를 위한 제조 장치 有权
Title translation: 黑色薄膜制造方法和使用臭氧发生的制造装置

公开(公告)号：KR101576573B1

公开(公告)日：2015-12-10

申请号：KR20150074810

申请日：2015-05-28

Applicant: KOREA RES INST OF STANDARDS

Inventor： KWON HYUK SANG , SEO SUNG WON , KIM JEONG WON

IPC: H01L21/02 , H01L21/70

Abstract: 본발명은오존생성을이용한흑린박막제조방법및 이를위한제조장치에관한것으로서, 더욱상세하게는챔버내부에흑린을구비하고, 상기챔버내에자외선을조사하여오존을형성하는과정에서발생하는활성산소를이용하여흑린의식각을통해흑린박막을제조하는오존생성을이용한흑린박막제조방법및 이를위한제조장치에관한것이다.

Abstract translation: 本发明涉及通过使用臭氧产生制造黑色磷薄膜的方法及其制造装置，更具体地，涉及一种通过使用在室中制备黑色磷的臭氧产生来制造黑色磷薄膜的方法，并通过在紫外线照射室内形成臭氧的过程中产生的活性氧来蚀刻黑色磷制造黑色磷薄膜及其制造装置。

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