薄膜构图方法及制造平板显示器件的方法和设备

    公开(公告)号:CN1637540A

    公开(公告)日:2005-07-13

    申请号:CN200410070552.6

    申请日:2004-08-06

    Inventor: 金容凡 金珍郁

    CPC classification number: G03F7/0002 B82Y10/00 B82Y40/00 H01L51/0014 H01L51/56

    Abstract: 公开了一种制造薄膜的方法,以及制造平板显示器件的方法和设备,它们可以无需利用光刻工艺而进行构图处理,从而可以缩短处理时间并减少图案缺陷。根据本发明实施例的制造薄膜的方法和制造平板显示器件的方法和设备包括以下步骤:在基板上形成薄膜;在形成有所述薄膜的基板上涂布含有溶剂的抗蚀剂溶液;在具有所述抗蚀剂溶液的基板上对准软模;在所述溶剂的气化温度以下对所述抗蚀剂溶液进行第一热处理,同时对所述抗蚀剂溶液上的软模施压,从而在所述薄膜上形成抗蚀剂图案;将所述软模与所述抗蚀剂图案分离;通过第二热处理使所述抗蚀剂图案固化;以及利用所述抗蚀剂图案作为掩模对所述薄膜进行构图。

    薄膜晶体管阵列基板及其制造方法

    公开(公告)号:CN1637535A

    公开(公告)日:2005-07-13

    申请号:CN200410061560.4

    申请日:2004-12-27

    Abstract: 薄膜晶体管阵列基板及其制造方法。一种薄膜晶体管阵列基板,其包括:第一导电图案组,包括薄膜晶体管的栅极和与该栅极相连的选通线;限定所述薄膜晶体管的沟道的半导体图案;第二导电图案组,包括所述薄膜晶体管的源极和漏极以及与所述选通线交叉的数据线,通过所述数据线与所述选通线交叉来限定像素区域;第三导电图案组,具有与所述薄膜晶体管相连的像素电极;以及设置在所述第一到第三导电图案组中的至少一个与所述多个半导体图案中的相邻的一个半导体图案之间的至少一个哑图案。

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