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公开(公告)号:CN100374917C
公开(公告)日:2008-03-12
申请号:CN200410058251.1
申请日:2004-08-20
Applicant: LG.菲利浦LCD株式会社
Inventor: 金珍郁
IPC: G02F1/133 , G02F1/136 , H01L29/786 , H01L21/00
CPC classification number: G03F7/0007 , G02F1/1368 , G02F2001/136231 , G02F2001/136295
Abstract: 本发明提供液晶显示器图案形成方法及制造TFT阵列基板的方法。液晶显示器图案形成方法用于通过使用微转印形成图案来减少掩模数,并且该方法包括:提供一其上形成有待构图的层的基板;提供具有对应于希望图案的凹版部分的主基板;将有机材料填入位于所述主基板的第一侧的所述凹版部分中;使所述主基板与所述基板接触;通过从所述主基板的第二侧照射光来使所述有机材料硬化;通过将所述主基板与所述基板分开,来将硬化的有机膜图案转印到所述待构图的层的表面上;以及通过使用所述有机膜图案作为掩模,对所述待构图的层进行刻蚀。
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公开(公告)号:CN100370334C
公开(公告)日:2008-02-20
申请号:CN200510063578.2
申请日:2005-04-13
Applicant: LG.菲利浦LCD株式会社
Inventor: 金珍郁
IPC: G02F1/1335 , G02F1/133 , G02B5/20
CPC classification number: G02F1/1339 , G02F2001/133519
Abstract: 本发明公开了一种形成液晶显示板的方法。在基板上形成黑矩阵,在由黑矩阵分隔开的区域形成滤色片,在滤色片上通过用软模将液态预聚物材料挤压成形而同时形成涂敷层和衬垫料。当使用模具时将液态预聚物材料加热预定时间。液态预聚物材料包括例如聚乙烯乙二醇的基础树脂,例如苯乙烯-丙烯酸共聚单体的粘合剂以及光引发剂。
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公开(公告)号:CN101097399A
公开(公告)日:2008-01-02
申请号:CN200610161878.9
申请日:2006-12-05
Applicant: LG.菲利浦LCD株式会社
IPC: G03F1/00 , G03F7/20 , H01L21/027
CPC classification number: G03F7/0017 , B29C33/3857 , B29C33/40 , B82Y10/00 , B82Y40/00 , G03F7/0002
Abstract: 本发明公开了一种通过容易地改变模具的表面能制造具有所需表面特性的模具的方法。该方法包括:在形成有第一图案的主基板和透明模具基板之间形成光可聚合树脂层;通过将所述树脂层曝光于透过所述透明模具基板的UV光而硬化该树脂层;以及通过在树脂层与模具基板结合的情况下将该已聚合的树脂层与所述主基板分离,形成具有凹陷形式的第二图案的模具,该凹陷是通过转印所述第一图案得到的。
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公开(公告)号:CN101089731A
公开(公告)日:2007-12-19
申请号:CN200710110866.8
申请日:2007-06-12
Applicant: LG.菲利浦LCD株式会社
IPC: G03F7/00 , G03F7/004 , H01L21/00 , H01L21/027
CPC classification number: B29C35/0888 , B29C2035/0827
Abstract: 本发明公开了一种使用模形成图案的制造装置和制造方法。该制造涉及在诸如液晶显示器(LCD)或者有机电致发光显示器(OELD)的显示器件中用作转换元件和驱动元件的薄膜晶体管(TFT)。该制造方法和制造装置使用在基本真空的环境下粘接到背板的树脂层制造软模。可以使用紫外(UV)光照射树脂层并且然后将树脂层从主板上分离以形成期望的图案。该制造工艺使软模相对较薄且重量轻,并且能够避免被损害。
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公开(公告)号:CN101063813A
公开(公告)日:2007-10-31
申请号:CN200710104467.0
申请日:2007-04-23
Applicant: LG.菲利浦LCD株式会社
Inventor: 金珍郁
IPC: G03F7/00 , G02F1/1333 , G02F1/1362
CPC classification number: B41M7/00 , B41M1/06 , G03G7/0006
Abstract: 本发明公开了一种印刷板以及使用该印刷板制造液晶显示器件的方法,其通过在形成在印刷板上的每个突部上形成多个压印图案来提高图案材料的转印性能,其中,所述印刷板包括:多个突部,其上被转印有图案材料;和压印图案,其形成在所述多个突部中的每一个上。
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公开(公告)号:CN101266950A
公开(公告)日:2008-09-17
申请号:CN200710306349.8
申请日:2007-12-28
Applicant: LG.菲利浦LCD株式会社
Inventor: 金珍郁
IPC: H01L21/84 , H01L21/768 , H01L21/3105 , H01L21/311 , G03F7/00 , G02F1/1362
CPC classification number: G02F1/136227 , H01L27/1248 , H01L27/1288 , Y10S977/887
Abstract: 一种制造用于液晶显示器件的阵列基板的方法,包括:在基板上形成栅极线、与栅极线交叉的数据线以及与栅极线和数据线相连的薄膜晶体管;在栅极线、数据线和薄膜晶体管上形成有机绝缘材料层,该有机绝缘材料具有光固化性、柔韧性和动态稳定性;在有机绝缘材料层上方设置具有凸起部分的印模;将凸起部分插入有机绝缘材料层内以利用反润湿现象将有机绝缘材料层从凸起部分推出;将紫外射线辐射在有机绝缘材料层上以固化有机绝缘材料层;从有机绝缘材料层去除印模以形成具有漏极接触孔的钝化层,该漏极接触孔暴露薄膜晶体管的漏极;以及在钝化层上形成像素电极,像素电极通过漏极接触孔与漏极相连。
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公开(公告)号:CN101226331A
公开(公告)日:2008-07-23
申请号:CN200710302367.9
申请日:2007-12-25
Applicant: LG.菲利浦LCD株式会社
IPC: G03F7/028 , G02F1/1335 , G03F7/00
Abstract: 本发明公开了一种UV固化液体预聚物和一种制造LCD器件的方法,其中所述UV固化液体预聚物通过改变涂覆层的成分或通过改变除涂覆层以外的柱状衬垫料的成分来改善热稳定性。所述UV固化液体预聚物包括单功能单体30~60vol%、双功能单体20~50vol%、三功能单体10~20vol%和光引发剂。
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公开(公告)号:CN101097851A
公开(公告)日:2008-01-02
申请号:CN200610167086.2
申请日:2006-12-14
Applicant: LG.菲利浦LCD株式会社
IPC: H01L21/02 , H01L21/3105 , G02F1/1333
Abstract: 本发明涉及具有平坦层的基板的制造方法。用于液晶显示装置的滤色器基板的制造方法包括以下步骤:在基板上的滤色器区中形成红色滤色器、绿色滤色器以及蓝色滤色器;在所述红色滤色器、绿色滤色器以及蓝色滤色器上形成外敷层;在所述外敷层上设置模子;通过所述模子在所述外敷层上执行第一固化处理;从所述外敷层去除所述模子;以及在去除所述模子之后,在所述外敷层上执行第二固化处理。
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公开(公告)号:CN101097400A
公开(公告)日:2008-01-02
申请号:CN200710104859.7
申请日:2007-05-23
Applicant: LG.菲利浦LCD株式会社
IPC: G03F7/00 , G03F7/004 , G03F7/028 , H01L21/027 , H01L21/00
CPC classification number: G03F7/0002 , B82Y10/00 , B82Y40/00 , Y10S430/114 , Y10T428/10 , Y10T428/1005
Abstract: 本发明涉及软模具及其制造方法。该软模具包括:可光固化材料;和光引发剂,其中,所述软模具满足公式,其中,γdM是所述软模具的表面能的分散项,γpM是所述软模具的表面能的极性项,而γL是去离子水的表面能。
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公开(公告)号:CN101093349A
公开(公告)日:2007-12-26
申请号:CN200610168863.5
申请日:2006-12-08
Applicant: LG.菲利浦LCD株式会社
Inventor: 金珍郁
IPC: G03F7/00 , G03F7/004 , H01L21/00 , H01L21/027 , H01L21/28
CPC classification number: G02F1/1333 , G02F2202/022 , G02F2202/28 , H01J2209/02 , H01L21/0212 , H01L21/02288 , H01L21/3127 , H01L21/6715 , H01L27/124 , H01L27/1292 , H01L51/56
Abstract: 本发明提供了一种薄膜图案制造装置及方法,其提高了利用抗蚀剂印刷法来形成薄膜图案的可靠性。该薄膜图案制造装置包括:辊形的印辊装置,其上缠绕有覆层;喷射装置,其位于所述印辊装置周围,用于向所述覆层喷射抗蚀剂溶液;以及具有雕刻形状的印板,其上形成有具有期望的薄膜形状的槽以及除该槽以外的突出部分,并且所述抗蚀剂溶液具有包含环氧乙烷氟化聚合物材料的表面活性剂。
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