公开(公告)号：CN107199169A

公开(公告)日：2017-09-26

申请号：CN201710246019.8

申请日：2017-04-14

Applicant: 杭州士兰微电子股份有限公司

Inventor： 季锋 ,  闻永祥 ,  刘琛 ,  周浩

IPC: B06B1/06 ,  G06K9/00

CPC classification number: B06B1/064 ,  B06B2201/55 ,  G06K9/0002

Abstract: 本申请公开了超声波换能器、超声波指纹传感器及其制造方法。所述方法包括：形成CMOS电路；以及在所述CMOS电路上形成超声波换能器。在该方法中，形成超声波换能器的步骤包括：形成牺牲层；图案化牺牲层；在所述牺牲层上形成掩模层，所述掩模层覆盖和围绕所述牺牲层；在所述掩模层上形成到达所述牺牲层的开口；经由所述开口进行气相蚀刻，从而去除所述牺牲层形成空腔，以及在所述掩模层上形成压电叠层。该方法利用图案化牺牲层形成空腔，从而可以降低制造成本以及提高传感器的性能。

公开(公告)号：CN107008636A

公开(公告)日：2017-08-04

申请号：CN201710329558.8

申请日：2017-05-11

Applicant: 上海师范大学

Inventor： 赵祥永 ,  马金鹏 ,  王飞飞 ,  唐艳学 ,  范方元 ,  薛赛东 ,  段志华 ,  张毅 ,  石旺舟

IPC: B06B1/06 ,  H01L41/33

CPC classification number: B06B1/0644 ,  B06B2201/55 ,  B06B2201/76 ,  H01L41/33

Abstract: 本发明一种无铅压电单晶高频超声换能器及其制备方法，涉及高频超声换能器技术领域。所述高频超声换能器由声匹配层(1)，发声材料(2)，背衬层(3)，金属外壳(4)组成，工作频率为20MHz至300MHz。其中，声匹配层(1)为聚对二甲苯；发声材料(2)为无铅压电单晶高频压电元件；背衬层(3)为导电胶；金属外壳(4)为不锈钢材料。高频超声换能器的制备方法，包括步骤：a.采用高居里温度的无铅压电单晶材料至l.将单晶元件封装在金属外壳内……。特别通过机械减薄‑化学机械减薄‑反应离子刻蚀相结合的减薄方法，将无铅压电单晶材料制成一种高性能无铅单晶元件，并以此元件制备一种换能器，解决了高频与铅污染问题。

公开(公告)号：CN106694347A

公开(公告)日：2017-05-24

申请号：CN201611007551.6

申请日：2016-11-16

Applicant: 珂纳医疗科技(苏州)有限公司

Inventor： Y·黄 ,  D·赵 ,  庄雪锋

IPC: B06B1/06

CPC classification number: B06B1/02 ,  A61B8/4494 ,  A61B8/52 ,  A61B8/5207 ,  B06B1/0292 ,  G01S15/8915 ,  G01S15/8927 ,  G01S15/895 ,  B06B1/0629 ,  B06B2201/55 ,  B06B2201/76

Abstract: 公开了具有变化性质的电容式微加工超声换能器。在一些示例中，CMUT阵列可包括多个元件，并且每个元件可包括多个子元件。例如，第一子元件和第二子元件可被设置在第三子元件的相对两侧上。在一些情况下，第三子元件可被配置成以比第一子元件或第二子元件中的至少一个高的中心频率传输超声能量。进一步，在一些实例中，子元件可具有多个区域，其中不同的区域被配置成以不同的谐振频率传输超声能量。例如，每个子元件中的多个CMUT单元的谐振频率可在垂直方向上从每个元件的中心朝向CMUT阵列的边缘减小。

公开(公告)号：CN106140594A

公开(公告)日：2016-11-23

申请号：CN201610509469.7

申请日：2016-06-29

Applicant: 北京工业大学

Inventor： 吕炎 ,  李永坤 ,  何存富 ,  刘秀成 ,  焦敬品 ,  吴斌

IPC: B06B1/06 ,  G01N29/00

CPC classification number: B06B1/06 ,  B06B2201/40 ,  B06B2201/55 ,  G01N29/00

Abstract: 本发明涉及一种双弧面非贯通型气体基线聚焦空气耦合传感器，属于声学换能器技术领域，其作用是把激励端产生的电信号转换为压电材料的振动进而产生超声波，同时接收从被测件反射回的声波信号，并将其转换为电信号。本发明采用双弧面非贯通型气体基压电复合材料作为激励接收敏感元件，与上电极、下电极、透射层、背衬层、阻抗匹配电路、金属外壳、BNC接头等组合成双弧面非贯通型气体基线聚焦空气耦合传感器，该传感器具有声阻抗低、能量传输效率高、声能量集中等优点，完全可以满足实验需要。

公开(公告)号：CN106076794A

公开(公告)日：2016-11-09

申请号：CN201610709579.8

申请日：2016-08-24

Applicant: 复旦大学

Inventor： 马建敏

IPC: B06B1/06

CPC classification number: B06B1/06 ,  B06B2201/20 ,  B06B2201/55

Abstract: 本发明属于超声波发射技术领域，具体为一种能发射高强度高指向性超声波的同相位密排阵列式超声波发射单元。本发明由同相位密排超声波换能器阵列和印刷线路板组成。根据需要，设计不同物理性能和几何尺寸的超声波换能器，换能器以密排方式组阵分别插到与密排阵列相配套的印刷线路板上。经过功率放大的超声波信号输入到同相位密排阵列式超声波发射单元，使其发出高强度高指向性的超声波。本发明不但可用于声波定向传播，而且还可以用于超声波悬浮、测距、遥控、成像、乳化、灭菌、促进化学反应和进行生物学研究等领域。

公开(公告)号：CN104272135B

公开(公告)日：2016-08-24

申请号：CN201380023954.8

申请日：2013-04-26

Applicant: 株式会社村田制作所

Inventor： 高畠智史

IPC: G01S7/524 ,  G01S15/10 ,  H04R3/00

CPC classification number: B06B1/0207 ,  B06B2201/30 ,  B06B2201/55 ,  G01S7/524 ,  G01S15/10 ,  G01S15/104

Abstract: 超声波传感器(1)作为发送侧电路而具备信号产生电路(11)、放大器(12)与匹配电路(13)。信号产生电路(11)具有：驱动信号产生电路(111)，其产生从兼用作收发的超声波振子(10)发送超声波的驱动信号；以及残响抑制信号产生电路(112)，其产生残响抑制信号，该残响抑制信号抑制在发送超声波后的超声波振子(10)中产生的残响。残响抑制信号产生电路(111)产生频率为驱动信号的1/2倍的残响抑制信号，以比驱动信号延迟半个波长的方式施加于超声波振子(10)。由此，提供能够缩短产生于超声波振子的残响的持续时间的超声波传感器驱动电路。

公开(公告)号：CN105723532A

公开(公告)日：2016-06-29

申请号：CN201480061653.9

申请日：2014-10-29

Applicant: 皇家飞利浦有限公司

Inventor： M·斯卡尔塞拉 ,  W·苏多尔

IPC: H01L41/047 ,  A61B8/00 ,  G10K11/00 ,  B06B1/06

CPC classification number: G01S7/5208 ,  A61B8/4444 ,  A61B8/4488 ,  A61B8/4494 ,  B06B1/064 ,  B06B2201/55 ,  B06B2201/76 ,  G01S15/8915 ,  G01S15/8925

Abstract: 一种超声探头，被形成为具有受保护的连接体，从而实现更鲁棒的探头。所述连接体被安装在换能器的阵列与集成电路之间。换能器元件的阵列经由倒装突起或其他结构耦合到所述连接体。底部填充材料固定地将所述连接体定位到所述集成电路。提供了一种制作所述换能器阵列的方法。

公开(公告)号：CN105665264A

公开(公告)日：2016-06-15

申请号：CN201610154567.3

申请日：2016-03-18

Applicant: 昆山联滔电子有限公司

Inventor： 李孟昭 ,  李伟 ,  俞胜平

IPC: B06B1/06

CPC classification number: B06B1/06 ,  B06B2201/55

Abstract: 本发明涉及一种压电振动器，其包括一圆形机壳、两质量块、一长条形的金属基片、两长条形压电片及两绝缘块，所述机壳设有一收容空间，所述两压电片贴附在基片两侧面，所述基片包括前后相对的前尾部、后尾部及连接前、后尾部的中间部，所述前、后尾部延伸出压电片，与绝缘块固定在一起，所述绝缘块固定于机壳，压电振动器结构简单、成本低。

公开(公告)号：CN105572672A

公开(公告)日：2016-05-11

申请号：CN201510707071.X

申请日：2015-10-27

Applicant: 西门子公司

Inventor： 乔治·布尔恰

IPC: G01S15/08

CPC classification number: G01S7/521 ,  B06B1/0215 ,  B06B2201/55 ,  G01S7/523 ,  G01S15/10 ,  G01S15/08

Abstract: 本发明涉及一种超声脉冲回波测距装置，包括：压电转换器，用于发射超声波至目标物体并接收由目标物体反射的回波；发射器，用于驱动转换器；接收器，用于接收转换器的信号；第一变压器，具有耦接至发射器的输出的初级绕组以及连接至转换器的次级绕组；第二变压器，具有耦接至接收器的输入的初级绕组以及连接至转换器的次级绕组。为了优化传入和传出压电转换器的信号，第一和第二转换器的次级绕组与转换器串联，第一开关元件与第一变压器的初级绕组并联，并且控制第一开关元件，以当接收器接收来自转换器的信号时，使该初级绕组短路，以及第二开关元件与第二变压器的初级绕组并联，控制第二开关元件，以当发射器驱动转换器时，使该初级绕组短路。

公开(公告)号：CN104067635A

公开(公告)日：2014-09-24

申请号：CN201280068125.7

申请日：2012-11-08

Applicant: 赵笑软

Inventor： 赵笑软 ,  赵诚赞 ,  姜学成

IPC: H04R17/00 ,  A61B8/00 ,  G01N29/24

CPC classification number: H01L41/042 ,  A61B17/320068 ,  A61B90/98 ,  A61B2017/0003 ,  A61B2017/00154 ,  A61B2017/00482 ,  B06B1/0215 ,  B06B2201/55

Abstract: 超声波生成装置包括超声波转换器和电脉冲生成装置。超声波转换器包括：压电元件，其从电脉冲生成装置接收电脉冲并进行振动；以及存储器，其存储超声波转换器的特性信息。而且，电脉冲生成装置包括：可变脉冲生成器，其形成为能够生成频率、电压及电流中一者以上可变的电脉冲并输出；信息接收器，其从所述存储器接收所述超声波转换器的特性信息；以及控制器，其根据由所述信息接收器接收的所述特性信息，控制所述可变脉冲生成器，使得所述可变脉冲生成器生成频率及电压、电流中的一种以上可变的电脉冲并输出。