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公开(公告)号：CN1394275A
公开(公告)日：2003-01-29
申请号：CN01803459.4
申请日：2001-01-04
Applicant: 埃科斯弗电光工程公司
Abstract: 光谱分析仪包括：一个衍射光栅(DG)；一个偏振分解单元(PDM)，用于将输入光束分解成具有相互垂直的线偏振态的第一和第二光束；和两个输出端口(EP2/1，EP2/2)，每个输出端口用于在衍射光栅(DG)衍射之后，从光栅基本上只是接收相应的一个偏振光束(LR，LT)。在其线偏振态与衍射光线相应的衍射面成任何规定的角度的情况下，将每个线偏振光束导向衍射光栅。安排是这样的，即在分析仪工作频带内的任何特定波长下，光束的偏振态基本上不随时间而改变。分析仪还可以具有一个反射镜(RAM)，用于反射第一次衍射之后离开衍射光栅的光束，以便使它们返回到衍射光栅进行第二次衍射。
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公开(公告)号：CN1091254C
公开(公告)日：2002-09-18
申请号：CN96105768.8
申请日：1996-04-06
Applicant: 欧姆龙公司
Abstract: 利用S偏振光照射检测试样目标和非检测试样目标。利用不同的光检测元件检测由每个试样目标反射的S偏振光和P偏振光。根据光检测元件的检测输出判别检测和非检测试样目标的光泽度和光通量，并计算光泽度差和光通量差。利用光泽度差和光通量差确定以光泽度和光通量中至少其中之一作为度量的评估函数，根据检测和非检测试样目标的评估函数值，计算用于目标鉴别的阈值。
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公开(公告)号：CN105705935A
公开(公告)日：2016-06-22
申请号：CN201480060875.9
申请日：2014-10-27
Applicant: 康宁股份有限公司
CPC classification number: G01J4/02 , G01J2004/005 , G01N21/23 , G01N21/43 , G01N2021/4126 , G01N2021/434 , G02B5/04 , G02B5/06 , G02B6/34
Abstract: 揭示了用于测量具有陡峭折射率区域的离子交换玻璃基材的模谱的设备和方法。在耦合棱镜和玻璃基材之间提供界面化流体。对界面化流体厚度进行选择从而使得随着流体厚度的模式双折射的变化降低至可接受水平。耦合棱镜可以在耦合表面上包含棱镜涂层，从而基材-棱镜界面包括棱镜涂层。耦合棱镜还可包括远离化元件，其作用是限定界面化流体的厚度。
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公开(公告)号：CN102933944B
公开(公告)日：2015-06-17
申请号：CN201180015634.9
申请日：2011-03-24
Applicant: 耶达研究开发公司
IPC: G01J4/04
Abstract: 提出了一种用于测量光束的偏振的系统和方法。该系统被配置成并且可操作地用于确定沿着输入光束的横截面的偏振式样，并且该系统包括光学系统和像素矩阵。光学系统包括偏振分束组件，偏振分束组件被配置成并且可操作地用于将输入光束分成预定数目的彼此之间具有预定偏振关系的光束分量，偏振分束组件包括第一偏振分束器和双折射元件，第一偏振分束器位于输入光束的光路中，用于将所述输入光束分成彼此之间具有特定偏振关系的第一多个光束分量，双折射元件位于所述第一多个光束分量的光路中，用于将第一多个光束分量中的每个光束分量分成一对具有寻常偏振和非寻常偏振的光束，由此生成所述预定数目的输出光束分量。像素矩阵位于所述输出光束分量的基本上不相交的光路中，并且生成分别表示所述输出光束分量内的强度分布的输出数据片，包含在所述数据片中的数据表示沿着输入光束的横截面的偏振式样。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN102933944A
公开(公告)日：2013-02-13
申请号：CN201180015634.9
申请日：2011-03-24
Applicant: 耶达研究开发公司
IPC: G01J4/04
Abstract: 提出了一种用于测量光束的偏振的系统和方法。该系统被配置成并且可操作地用于确定沿着输入光束的横截面的偏振式样，并且该系统包括光学系统和像素矩阵。光学系统包括偏振分束组件，偏振分束组件被配置成并且可操作地用于将输入光束分成预定数目的彼此之间具有预定偏振关系的光束分量，偏振分束组件包括第一偏振分束器和双折射元件，第一偏振分束器位于输入光束的光路中，用于将所述输入光束分成彼此之间具有特定偏振关系的第一多个光束分量，双折射元件位于所述第一多个光束分量的光路中，用于将第一多个光束分量中的每个光束分量分成一对具有寻常偏振和非寻常偏振的光束，由此生成所述预定数目的输出光束分量。像素矩阵位于所述输出光束分量的基本上不相交的光路中，并且生成分别表示所述输出光束分量内的强度分布的输出数据片，包含在所述数据片中的数据表示沿着输入光束的横截面的偏振式样。
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公开(公告)号：CN1221785C
公开(公告)日：2005-10-05
申请号：CN01803459.4
申请日：2001-01-04
Applicant: 埃科斯弗电光工程公司
Abstract: 光谱分析仪包括：一个衍射光栅(DG)；一个偏振分解单元(PDM)，用于将输入光束分解成具有相互垂直的线偏振态的第一和第二光束；和两个输出端口(EP2/1，EP2/2)，每个输出端口用于在衍射光栅(DG)衍射之后，从光栅基本上只是接收相应的一个偏振光束(LR，LT)。在其线偏振态与衍射光线相应的衍射面成任何规定的角度的情况下，将每个线偏振光束导向衍射光栅。安排是这样的，即在分析仪工作频带内的任何特定波长下，光束的偏振态基本上不随时间而改变。分析仪还可以具有一个反射镜(RAM)，用于反射第一次衍射之后离开衍射光栅的光束，以便使它们返回到衍射光栅进行第二次衍射。
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公开(公告)号：EP1252489B1
公开(公告)日：2003-12-17
申请号：EP01900347.4
申请日：2001-01-04
Applicant: EXFO ELECTRO-OPTICAL ENGINEERING INC.
Inventor： HE, Gang , GARIEPY, Daniel , SCHINN, Gregory, Walter
Abstract: An optical spectrum analyzer comprises a diffraction grating (DG), a polarization decomposing unit (PDM) for decomposing the input light beam into first and second light beams having mutually-perpendicular linear states of polarization, and two output ports (FP2/1, FP2/2) each for receiving from the grating, substantially exclusively, a respective one of the polarized light beams (LT, LR) after diffraction by the diffraction grating (DG). Each of the linearly-polarized light beams is directed onto the diffraction grating with its linear state of polarization at any prescribed angle to a corresponding plane of diffraction of the diffraction grating. The arrangement is such that the state of polarization of the light beams, at any particular wavelength within an operating band of the analyzer remains substantially unchanged with respect to time. The analyzer also may have a reflector (RAM) for reflecting the light beams leaving the diffraction grating after diffraction a first time so as to return them to the diffraction grating for diffraction a second time.
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公开(公告)号：WO2015119849A1
公开(公告)日：2015-08-13
申请号：PCT/US2015/013681
申请日：2015-01-30
Applicant: FILM SENSE, LLC
Inventor： JOHS, Blaine, D. , HADWIGER, Bruce, A.
CPC classification number: G01J4/02 , G01N21/211 , G01N2021/213 , G01N2021/215 , G01N2021/216
Abstract: A multiple wavelength ellipsometer system for use in thin film characterization is disclosed. The light source for the system may include sequentially scanned multiple light emitting diodes or laser diodes. The polarization state detector may comprise no moving parts, and utilizes economical uncoated glass plates as beam splitters. The system compensates for potential measurement errors induced by misalignment of the input beam angle to the polarization state detector via a paired arrangement of the beam splitters. To provide improved accuracy in the analysis of data acquired by the system, methods herein actively compensate for the relatively large bandwidth of a preferable light emitting diode source.
Abstract translation: 公开了用于薄膜表征的多波长椭偏仪系统。 该系统的光源可以包括顺序扫描的多个发光二极管或激光二极管。 偏振状态检测器可以不包括移动部件，并且使用经济的未涂覆的玻璃板作为分束器。 该系统通过分束器的配对布置补偿由输入光束角与偏振状态检测器的未对准而引起的潜在测量误差。 为了提供对由系统获取的数据的分析的改进的精度，本文中的方法主动地补偿优选的发光二极管源的相对大的带宽。
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公开(公告)号：WO2011117873A1
公开(公告)日：2011-09-29
申请号：PCT/IL2011/000275
申请日：2011-03-24
Applicant: YEDA RESEARCH AND DEVELOPMENT Co. LTD , DAVIDSON, Nir , FRIESEM, Asher , FRIDMAN, Moti
Inventor： DAVIDSON, Nir , FRIESEM, Asher , FRIDMAN, Moti
IPC: G01J4/04
Abstract: A system and method are presented for use in measuring polarization of an optical beam. The system is configured and operable for determining polarization profile along a cross section of the input optical beam, and comprises an optical system and a pixel matrix. The optical system comprises a polarization beam splitting assembly configured and operable for splitting said input optical beam into a predetermined number of beam components with a predetermined polarization relation between them, the polarization beam splitting assembly comprising a first polarization beam splitter in an optical path of the input optical beam splitting said input optical beam into a first plurality of beam components with a certain polarization relation between them and a birefringent element in an optical path of said first plurality of the beam components for splitting each of them into a pair of beams having ordinary and extraordinary polarizations, thereby producing said predetermined number of output beam components. The pixel matrix is located in substantially non intersecting optical paths of said output beam components and generates a corresponding number of output data pieces indicative of intensity distribution within said output beam components, respectively, data contained in said data pieces being indicative of the polarization profile along the cross section of the input optical beam.
Abstract translation: 提出了一种用于测量光束偏振的系统和方法。 该系统被配置和操作用于沿着输入光束的横截面确定偏振分布，并且包括光学系统和像素矩阵。 光学系统包括偏振分束组件，其被配置和可操作用于将所述输入光束分成具有预定偏振关系的预定数量的光束分量，所述偏振分束组件包括位于所述第一偏振分束器的光路中的第一偏振分束器 输入光束将所述输入光束分解成在它们之间具有一定偏振关系的第一多个光束分量和在所述第一多个光束分量的光路中的双折射元件，以将它们中的每一个分成具有普通的一对光束 和非常极化，从而产生所述预定数量的输出光束分量。 像素矩阵位于所述输出光束分量的基本上非相交的光路中，并且分别产生指示所述输出光束分量内的强度分布的相应数量的输出数据段，所述数据段中包含的数据表示沿着 输入光束的横截面。
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