用于x射线生成的薄片状靶

    公开(公告)号:CN109243947A

    公开(公告)日:2019-01-18

    申请号:CN201810781507.3

    申请日:2018-07-10

    Applicant: FEI 公司

    Inventor: J.菲列维奇

    Abstract: 公开了一种方法和系统,用于使用薄片状靶产生样本的x射线图像以改善成像分辨率和图像获取时间之间的通常折衷。电子射束垂直于薄片的较窄尺寸撞击薄片状靶,所述较窄尺寸随后确定沿着该轴的实际源尺寸。对于低能量x射线生成,平行于薄片的较宽尺寸的小电子穿透深度确定沿着该轴的实际源尺寸。在相同成像分辨率情况下,与柱状靶相比,靶的传导冷却得到改善。薄片状靶足够长以确保电子射束不会撞击支撑结构,撞击支撑结构将会降低成像分辨率。靶材料可选自用于块状或柱状靶的相同金属,包括钨、钼、钛、钪、钒、银或难熔金属。

    一种旋转电子枪环形X射线发生器

    公开(公告)号:CN108447756A

    公开(公告)日:2018-08-24

    申请号:CN201810353591.9

    申请日:2018-04-19

    Inventor: 彭晟 蒋华伟

    CPC classification number: H01J35/12 H01J35/08

    Abstract: 本发明公布了一种旋转电子枪环形X射线发生器,包括设置在环形真空腔内环形轴承上的电子枪,固定设置的阳极靶环,及与阳极靶环并排同轴设置的探测器环。阳极靶环和探测器环的环体内分别设置有环形的阳极靶冷却水道和探测器冷却水道。电子枪在环形轴承上,绕着阳极靶环的轴心旋转。本发明环形固定式金属靶不再绕着轴心进行高速的旋转,从而使金属靶的受力情况大为好转。环形的冷却管道中的冷却液将金属靶产生的热量带走导出,解决了金属靶的过热和热容量有限的问题,从而使X射线发生器能够长时间的持续发出射线,使得金属靶不易损坏。由于环形金属靶不再旋转,金属靶不易损坏,使得X射线发生器的寿命得到极大的提高。

    X射线发生管、X射线发生装置和放射线照相系统

    公开(公告)号:CN105575747B

    公开(公告)日:2017-12-05

    申请号:CN201510700386.1

    申请日:2015-10-26

    Inventor: 五十岚洋一

    CPC classification number: H01J35/16 H01J35/08 H01J2235/087

    Abstract: 公开了X射线发生管、X射线发生装置和放射线照相系统。X射线发生管包括:包括靶和电气连接到靶的阳极构件的阳极;包括电子发射源和电气连接到电子发射源的阴极构件的阴极;以及在一个端部处接合到阳极构件且在另一个端部处接合到阴极构件以使得靶和电子发射源彼此相对的绝缘管,其中,内周导电膜形成在绝缘管的内表面上;端面导电膜从内周导电膜的所述一个端部侧的一个边缘延伸到绝缘管的所述一个端部的表面上;并且端面导电膜被夹在端面和阳极构件之间以被电气连接到阳极构件。

    X射线管装置
    7.
    发明公开

    公开(公告)号:CN107275174A

    公开(公告)日:2017-10-20

    申请号:CN201710201856.9

    申请日:2017-03-30

    Inventor: 清水克则

    Abstract: 本实施方式涉及X射线管装置。提供一种为了降低噪声而具备抑制导水管的振动的结构的X射线管装置。本实施方式涉及的X射线管装置,包括:释放电子的阴极;受到从阴极释放的电子的冲击而产生X射线的阳极靶;具有供冷却材料流入的流入部的连接部;有底的第一筒管,该有底的第一筒管的一端部与连接部相连接,另一端部的外侧的底部接合有阳极靶;第二筒管,该第二筒管设置在第一筒管的内侧,被配置为第一端部与流入部嵌合,第二端部将从第一端部流入的冷却材料向接合了阳极靶的第一筒管的底部释放;以及弹性构件,该弹性构件设置在第一端部与所述第一筒管之间。

    具有可偏转电子束的X射线设备

    公开(公告)号:CN103854940B

    公开(公告)日:2017-10-03

    申请号:CN201310757041.0

    申请日:2013-12-06

    Abstract: 公开了一种具有可偏转电子束的X射线设备。一种X射线设备(1),包括:电子束源(2),发射电子束(3);靶(4),电子束(3)被引导到其上,从而在靶(4)上形成焦斑(5;5a,5b);X射线光学元件(6),收集从焦斑(5;5a,5b)发射出的X射线,并形成X射线束(8);以及样品位置(9),X射线束(8)被引导到该样品位置(9)处,其特征在于,X射线设备(1)还包括适用于使焦斑(5;5a,5b)在靶(4)上移动的静电或电磁电子束偏转装置(10),以及在任意方向(x,y,z)上,焦斑(5;5a,5b)的扩展范围比靶(4)的扩展范围小至少F倍,F=1.5。本发明提供一种X射线设备,其中简化了相对于微焦距X射线源的X射线光学元件的对准。

    大物面X射线条纹变像管及电子光学成像系统

    公开(公告)号:CN107039223A

    公开(公告)日:2017-08-11

    申请号:CN201710280748.5

    申请日:2017-04-26

    Applicant: 深圳大学

    Inventor: 杨勤劳 张敬金

    Abstract: 本发明提供了一种大物面X射线条纹变像管,包括相互连接的绝缘外套和金属套筒,绝缘外套由绝缘材料制成,且绝缘外套和金属套筒内为真空环境,绝缘外套内顺次设置有阴极、栅极、聚焦极组件和阳极,阳极的尾部的外侧设置该金属套筒,金属套筒的端部设置有用于接收电子束并成像的荧光屏;聚焦极组件包括若干个聚焦极,栅极、若干个聚焦极和阳极拟合出类同心球静电透镜结构。本发明提供了一种屏蔽性好、抗干扰能力强、受场曲影响小、阴极工作面积大的大物面X射线条纹变像管。

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