物镜、光学测定装置
    91.
    发明授权

    公开(公告)号:CN101308243B

    公开(公告)日:2012-11-28

    申请号:CN200810097144.8

    申请日:2008-05-19

    Inventor: 冈部宪嗣

    CPC classification number: G02B21/02 G02B5/005

    Abstract: 一种物镜和光学测定装置,显微镜的物镜(200)包括:与被测定物相对且透射被该被测定物(A)的测定面反射的光的透镜(222)、设置在透镜(222)的后段且把与透射透镜(222)的光的主光轴大致正交的光通过面中光通过孔的孔径进行变更的可变光阑(230)、能装卸地设置在具备把通过光通过孔的光进行成像的变焦距成像透镜的本体部的物镜转换器上且保持透镜(222)和可变光阑(230)的筒状本体部(210)。

    彩色点传感器的强度概貌数据选择的动态补偿方法及装置

    公开(公告)号:CN101435719B

    公开(公告)日:2012-09-26

    申请号:CN200810173468.5

    申请日:2008-11-14

    Abstract: 在彩色点传感器中,距离测量基于强度概貌数据的距离指示子集,该子集以随着所确定的概貌数据的峰值位置索引坐标(PPIC)变化的方式而选择的。PPIC将概貌数据峰值的位置编索引。对于具有特定PPIC的概貌数据,基于被以所述相同的特定PPIC编索引的、特定的索引专用的数据限制参数来选择概貌数据的距离指示子集。在不同实施例中,被以特定PPIC编索引的、索引专用的数据限制参数的每一集合将数据的距离指示子集特征化,而在相应于具有所述PPIC的概貌数据的距离校准操作期间使用所述数据的距离指示子集。不管总的强度变动和探测器偏压信号电平的变动如何,数据的距离指示子集都可以被补偿,以与在校准操作期间所使用的数据的相应距离指示子集相似。

    用于估计不确定性的方法和程序

    公开(公告)号:CN101713645B

    公开(公告)日:2012-09-19

    申请号:CN200910254203.2

    申请日:2006-01-05

    CPC classification number: G01B21/045

    Abstract: 本发明涉及一种估计测量机不确定性的方法,包括:基于估计的测量机的精度描述估计长度测量的不确定性;从估计的不确定性计算方差,并且通过一定的函数来近似协方差,以导出协方差矩阵或相关矩阵;从对上一步骤中导出的协方差矩阵的特征值分解中导出特征值和特征向量;通过产生正态随机数作为耦合在上一步骤中导出的各特征向量的系数来产生测量机的伪测量值并综合所有特征向量,该正态随机数具有期望值0并且方差等于对应于特征向量的特征值;以及通过对在前面步骤中获得的伪测量值进行统计处理来估计测量机的不确定性。

    光电式编码器
    94.
    发明授权

    公开(公告)号:CN101315290B

    公开(公告)日:2011-12-21

    申请号:CN200810109351.0

    申请日:2008-05-28

    Inventor: 水谷都

    CPC classification number: G01D5/347

    Abstract: 一种光电式编码器,提高对于标尺污垢的可靠性,使信号强度稳定化且改善信号检测效率。具备相对移动的标尺(14、16、18)和成像光学系统(22、24),检测标尺的相对位移,其中,在标尺的格栅(15、17、19)侧表面设置具有成像光学系统的焦深(DOF)以上厚度t的透明保护材料(40、42)。透明保护材料能设定为是粘接在标尺的格栅侧表面的透明带(40)或是向标尺的格栅侧表面涂布的透明保护材料(42)。透明保护材料的表面能具有亲水性和亲油性。

    绝对位置长度测量型编码器

    公开(公告)号:CN101368831B

    公开(公告)日:2011-12-07

    申请号:CN200810171432.3

    申请日:2008-04-11

    Inventor: 草野亘平

    CPC classification number: G01D5/2497

    Abstract: 一种绝对位置长度测量型编码器,包括具有增量轨迹、绝对轨迹和参考位置轨迹的刻度尺。所述增量轨迹具有包括按第一周期以相等间隔形成的第一明暗图案的增量图案。所述绝对轨迹具有表示绝对位置的绝对图案。所述参考位置轨迹具有包括按比所述第一周期长的第二周期以相等间隔形成的第二明暗图案的参考位置图案。光源向所述刻度尺发射测量光。光电检测器接收在所述刻度尺处反射或通过所述刻度尺透射的测量光。信号处理电路处理所述光电检测器的接收光信号,以检测所述刻度尺的绝对位置。

    编码器及其信号调整方法
    96.
    发明授权

    公开(公告)号:CN1712889B

    公开(公告)日:2011-05-11

    申请号:CN200510077921.9

    申请日:2005-06-15

    Inventor: 寺口干也

    CPC classification number: G01D5/24452 G01D5/24409 G01D5/2448 G01D5/2449

    Abstract: 在包括:检测器;将从该检测器输出的两相模拟信号进行A/D变换的A/D变换器;对所述两相模拟信号的误差进行校正的误差校正电路;根据该被校正的A/D变换结果进行内插处理的内插电路;存储校正数据的存储器;以及具有通信部件的中央处理装置(CPU)的编码器中,将所述两相模拟信号的A/D变换结果通过通信部件发送到外部个人计算机,在所述外部个人计算机中检测正弦波、余弦波信号与规定值的误差,从而通过通信部件发送编码器的误差,在该编码器中,进行通过接收的校正数据进行误差校正后的内插处理。由此,不用观察示波器,可以一边以无阶段确认信号调整状态一边进行信号调整,可以进行最佳的调整、确认,使编码器信号的调整的内插误差变小。

    卡尺
    97.
    发明授权
    卡尺 有权

    公开(公告)号:CN101131312B

    公开(公告)日:2011-04-06

    申请号:CN200710146816.5

    申请日:2007-08-24

    CPC classification number: G01B3/205 F16D7/048

    Abstract: 一种卡尺,具备使滑尺(11)沿本尺(10)移动的进给机构(12),进给机构(12)包括:外滚轮(121)、被设置成能以外滚轮(121)的旋转轴为中心旋转、且与本尺(10)抵接的内滚轮(122)、把外滚轮(121)的旋转向内滚轮(122)传递且在内滚轮(122)被作用有规定以上的载荷时使外滚轮(121)相对于内滚轮(122)空转的定压机构(123),定压机构(123)包括:设置在外滚轮(121)内周面上的锯齿状突起部、中间部被固定在内滚轮(122)的外周面上而两端部与外滚轮(121)的锯齿状突起部抵接的板簧。

    数字式位移测定器
    98.
    发明授权

    公开(公告)号:CN101097128B

    公开(公告)日:2010-06-16

    申请号:CN200710126270.7

    申请日:2007-06-26

    CPC classification number: G01B3/18

    Abstract: 本发明涉及根据测杆轴向的位移量来测定被测定物尺寸等的数字式位移测定器。其中,旋转传递部(44)包括:设置在测杆(2)外周的转子支承部件(440)、具有能与卡合槽(23)卡合的卡合部(46)的旋转件(45)、以及设置在该旋转件(45)与转子支承部件(440)之间的螺旋弹簧(48)。旋转件(45)被支承在转子支承部件(440)上并能沿着与测杆(2)的轴平行设置的旋转轴(441)的周向旋转,螺旋弹簧(48)通过旋转件(45)使卡合部(46)向卡合槽(23)施加压力。

    追踪式激光干涉仪
    99.
    发明授权

    公开(公告)号:CN1904544B

    公开(公告)日:2010-05-26

    申请号:CN200610107610.7

    申请日:2006-07-26

    Abstract: 一种追踪式激光干涉仪,向被测定体的后向反射器照射激光束,利用后向反射器返回方向反射的激光束的干涉检测后向反射器的位移,利用激光束光轴位置变化进行追踪,其具有:固定设置的基准球;以基准球中心为中心转动的滑架;设置在滑架上输出对应后向反射器位移的位移信号的激光干涉仪以及输出对应基准球和位移计相对位移的位移信号的位移计;从位移计输出的位移信号和激光干涉仪输出的位移信号算出以基准球为基准的后向反射器位移的数据处理装置;输出对应偏移量输出位置信号的位置检测装置;使偏移量为零控制滑架转动的控制装置。相对旋转机构的径向跳动可靠,不易受到基准球表面的瑕疵或尘埃的影响,实现了使用较廉价基准球的追踪式激光干涉仪。

    螺纹测定方法、螺纹测定用探针及使用它的螺纹测定装置

    公开(公告)号:CN101038148B

    公开(公告)日:2010-05-26

    申请号:CN200710088557.5

    申请日:2007-03-16

    CPC classification number: G01B5/204 G01B7/284

    Abstract: 本发明涉及一种螺纹测定装置,其特征在于,具有内侧尺寸测定器和中径运算器,所述内侧尺寸测定器将具有对应于设置于坐标测定机本体的阴螺纹的螺距而选择的直径的测头前端球抵接于该阴螺纹的螺纹槽,测定该阴螺纹的内侧尺寸信息Dw;所述中径运算器根据由该内侧尺寸测定器测定的内侧尺寸信息Dw、该测头前端球的直径信息2r、该阴螺纹的螺纹牙型角信息α及螺距信息P,通过De=Dw+2r·cosec(α/2)-(P/2)·cot(α/2)的中径运算式计算该阴螺纹中径信息De。

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