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公开(公告)号：CN1800778B
公开(公告)日：2010-08-18
申请号：CN200610051308.4
申请日：2006-01-05
Applicant: 三丰株式会社
IPC: G01B21/04
CPC classification number: G01B21/045
Abstract: 本发明涉及一种估计测量机不确定性的方法。提供在要被估计的测量机中的测量值以估计测量值中的误差。根据估计的测量值中的误差导出测量值的协方差矩阵或相关矩阵。然后对协方差矩阵或相关矩阵进行特征值分解以导出特征值和特征向量。产生期望值为0、方差等于对应于特征向量的特征值的正态随机数作为耦合各特征向量的系数，并线性耦合所有特征向量以产生测量机的伪测量值。对产生的伪测量值进行统计处理以估计测量机的不确定性。
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公开(公告)号：CN101713645A
公开(公告)日：2010-05-26
申请号：CN200910254203.2
申请日：2006-01-05
Applicant: 三丰株式会社
CPC classification number: G01B21/045
Abstract: 本发明涉及一种估计测量机不确定性的方法，包括：基于估计的测量机的精度描述估计长度测量的不确定性；从估计的不确定性计算方差，并且通过一定的函数来近似协方差，以导出协方差矩阵或相关矩阵；从对上一步骤中导出的协方差矩阵的特征值分解中导出特征值和特征向量；通过产生正态随机数作为耦合在上一步骤中导出的各特征向量的系数来产生测量机的伪测量值并综合所有特征向量，该正态随机数具有期望值0并且方差等于对应于特征向量的特征值；以及通过对在前面步骤中获得的伪测量值进行统计处理来估计测量机的不确定性。
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公开(公告)号：CN1904544A
公开(公告)日：2007-01-31
申请号：CN200610107610.7
申请日：2006-07-26
Applicant: 三丰株式会社
IPC: G01B9/02
Abstract: 一种追踪式激光干涉仪，向被测定体的后向反射器照射激光束，利用后向反射器返回方向反射的激光束的干涉检测后向反射器的位移，利用激光束光轴位置变化进行追踪，其具有：固定设置的基准球；以基准球中心为中心转动的滑架；设置在滑架上输出对应后向反射器位移的位移信号的激光干涉仪以及输出对应基准球和位移计相对位移的位移信号的位移计；从位移计输出的位移信号和激光干涉仪输出的位移信号算出以基准球为基准的后向反射器位移的数据处理装置；输出对应偏移量输出位置信号的位置检测装置；使偏移量为零控制滑架转动的控制装置。相对旋转机构的径向跳动可靠，不易受到基准球表面的瑕疵或尘埃的影响，实现了使用较廉价基准球的追踪式激光干涉仪。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN1800778A
公开(公告)日：2006-07-12
申请号：CN200610051308.4
申请日：2006-01-05
Applicant: 三丰株式会社
IPC: G01B21/04
CPC classification number: G01B21/045
Abstract: 本发明涉及一种估计测量机不确定性的方法。提供在要被估计的测量机中的测量值以估计测量值中的误差。根据估计的测量值中的误差导出测量值的协方差矩阵或相关矩阵。然后对协方差矩阵或相关矩阵进行特征值分解以导出特征值和特征向量。产生期望值为0、方差等于对应于特征向量的特征值的正态随机数作为耦合各特征向量的系数，并线性耦合所有特征向量以产生测量机的伪测量值。对产生的伪测量值进行统计处理以估计测量机的不确定性。
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公开(公告)号：CN101713645B
公开(公告)日：2012-09-19
申请号：CN200910254203.2
申请日：2006-01-05
Applicant: 三丰株式会社
CPC classification number: G01B21/045
Abstract: 本发明涉及一种估计测量机不确定性的方法，包括：基于估计的测量机的精度描述估计长度测量的不确定性；从估计的不确定性计算方差，并且通过一定的函数来近似协方差，以导出协方差矩阵或相关矩阵；从对上一步骤中导出的协方差矩阵的特征值分解中导出特征值和特征向量；通过产生正态随机数作为耦合在上一步骤中导出的各特征向量的系数来产生测量机的伪测量值并综合所有特征向量，该正态随机数具有期望值0并且方差等于对应于特征向量的特征值；以及通过对在前面步骤中获得的伪测量值进行统计处理来估计测量机的不确定性。
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公开(公告)号：CN1904544B
公开(公告)日：2010-05-26
申请号：CN200610107610.7
申请日：2006-07-26
Applicant: 三丰株式会社
IPC: G01B9/02
Abstract: 一种追踪式激光干涉仪，向被测定体的后向反射器照射激光束，利用后向反射器返回方向反射的激光束的干涉检测后向反射器的位移，利用激光束光轴位置变化进行追踪，其具有：固定设置的基准球；以基准球中心为中心转动的滑架；设置在滑架上输出对应后向反射器位移的位移信号的激光干涉仪以及输出对应基准球和位移计相对位移的位移信号的位移计；从位移计输出的位移信号和激光干涉仪输出的位移信号算出以基准球为基准的后向反射器位移的数据处理装置；输出对应偏移量输出位置信号的位置检测装置；使偏移量为零控制滑架转动的控制装置。相对旋转机构的径向跳动可靠，不易受到基准球表面的瑕疵或尘埃的影响，实现了使用较廉价基准球的追踪式激光干涉仪。
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公开(公告)号：CN1595047A
公开(公告)日：2005-03-16
申请号：CN200410078539.5
申请日：2004-09-09
Applicant: 三丰株式会社
Abstract: 提供一种形状测定装置，包括：测定部(302)，将直尺规(321)和被测定物(305)的边组合并取得测定彼此间隔的测定数据；示数设定部，设定表示从参照直线R至直尺规(321)和被测定物(305)的边的距离的形状示数，以及表示被测定物(305)的内角和直尺规(321)构成的角的角度示数(θ)；方程式组导出部，根据测定数据导出有关直尺规(321)和被测定物(305)的边构成的组的方程式组；以及方程式组运算部，求解导出的方程式组。
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公开(公告)号：CN100375884C
公开(公告)日：2008-03-19
申请号：CN200410078539.5
申请日：2004-09-09
Applicant: 三丰株式会社
Abstract: 本发明提供一种形状测定装置，包括：测定部(302)，将直规尺(321)和被测定物(305)的边组合并取得测定彼此间隔的测定数据；示数设定部，设定表示从参照直线R至直规尺(321)和被测定物(305)的边的距离的形状示数，以及表示被测定物(305)的内角和直规尺(321)构成的角的角度示数(θ)；方程式组导出部，根据测定数据导出有关直规尺(321)和被测定物(305)的边构成的组的方程式组；以及方程式组运算部，求解导出的方程式组。
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