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公开(公告)号：KR1020090068841A
公开(公告)日：2009-06-29
申请号：KR1020070136623
申请日：2007-12-24
Applicant: (주) 인텍플러스
Abstract: A three dimensional measuring method is provided to improve inspection speed by obtaining interference patterns of different positions simultaneously through a single image by a PZT(piezoelectric) actuator which has faster operation speed than a camera. A three dimensional measuring method to obtain interference patterns of each position simultaneously includes the steps of photographing the image of a first frame via a CCD(Charge-Coupled Device) camera, photographing the image of a second frame by the CCD camera, and obtaining the image of an Nth frame by controlling the PZT actuator from the time that the reference mirror is located at position N to the time that a reference mirror is located at position N+1, which is apart from the position N by a reference distance. The image of the first frame is obtained after locating the reference mirror at a first position and a second position, which is added by the reference distance to the first position under the control of a PZT actuator. The image of the second frame is obtained after locating the reference mirror at a third position between the first and second positions and a fourth position, which is added by the reference distance to the third position, under the control of the PZT actuator.
Abstract translation: 提供三维测量方法以通过具有比相机更快的操作速度的PZT（压电）致动器通过单个图像同时获得不同位置的干涉图案来提高检查速度。 同时获得每个位置的干涉图案的三维测量方法包括以下步骤：通过CCD（电荷耦合器件）相机拍摄第一帧的图像，通过CCD照相机拍摄第二帧的图像，并获得 通过从参考镜位于位置N的时间到参考反射镜位于位置N + 1处的距离位置N + 1处的参考距离之外，通过控制PZT致动器的第N帧的图像。 在将参考镜定位在第一位置和第二位置之后，获得第一帧的图像，该第一位置和第二位置在PZT致动器的控制下被加到基准距离到第一位置。 在PZT致动器的控制下，将基准反射镜定位在第一和第二位置之间的第三位置和第四位置之间，获得第二帧的图像，该第四位置被附加到第三位置的参考距离。
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公开(公告)号：KR1020090063874A
公开(公告)日：2009-06-18
申请号：KR1020070131395
申请日：2007-12-14
Applicant: (주) 인텍플러스
CPC classification number: G01B11/2441
Abstract: A system for measuring a surface shape and a measuring method using the same are provided to improve test speed by performing 3D information acquisition only on a corresponding domain after extracting a 3D test domain from 2D information. A system for measuring a surface shape includes a lighting part(1), a beam splitter(2), a photo-detection device(5), a control computer(6), and a sub-light source(7). The lighting part is comprised of a main light source(11), a condensing lens(12) and a projection lens(13). The beam splitter splits light of the lighting part on a reference surface(R) of each reference mirror(4) and a measurement surface(P) of a measurement object(3). The photo-detection device photographs reference beam and an interference generated by interference of measurement light. The control computer obtains surface shape information through white light interpretation.
Abstract translation: 提供一种用于测量表面形状的系统和使用其的测量方法，以通过仅在2D信息中提取3D测试域之后在对应的域上执行3D信息获取来提高测试速度。 用于测量表面形状的系统包括照明部分（1），分束器（2），光检测装置（5），控制计算机（6）和子光源（7）。 照明部分由主光源（11），聚光透镜（12）和投影透镜（13）组成。 分束器将照明部分的光分离在每个参考反射镜（4）的参考表面（R）和测量对象（3）的测量表面（P）上。 光检测装置拍摄参考光束和由测量光的干涉产生的干扰。 控制计算机通过白光解读获得表面形状信息。
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公开(公告)号：KR1020080088946A
公开(公告)日：2008-10-06
申请号：KR1020070031863
申请日：2007-03-30
Applicant: (주) 인텍플러스
CPC classification number: G01B11/25
Abstract: An apparatus for inspecting a three-dimensional shape and an inspecting method using the same are provided to enhance reliability and accuracy of inspection by adjusting the reflectivity of each pixel. An apparatus for inspecting a three-dimensional shape comprises a light source(100), a grid pattern forming unit(110), and an imaging unit(120). The grid pattern forming unit generates a grid pattern on the surface of an object(P) to be inspected by changing the light generated from the light source. The imaging unit captures an image reflected from the surface. The three-dimensional shape of the object is measured from the captured image to detect whether the object has defects. The grid pattern forming unit includes a display control unit(111) in each pixel to form a predetermined grid pattern by controlling the brightness in each pixel according to the surface reflectivity of the object to be inspected.
Abstract translation: 提供一种用于检查三维形状的装置和使用其的检查方法，以通过调整每个像素的反射率来提高检查的可靠性和准确性。 用于检查三维形状的装置包括光源（100），网格图案形成单元（110）和成像单元（120）。 网格图案形成单元通过改变从光源产生的光来在要检查的物体（P）的表面上产生网格图案。 成像单元捕获从表面反射的图像。 从拍摄图像中测量对象的三维形状，以检测对象是否具有缺陷。 栅格图案形成单元包括每个像素中的显示控制单元（111），以通过根据待检查对象的表面反射率控制每个像素中的亮度来形成预定的栅格图案。
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公开(公告)号：KR1020070115067A
公开(公告)日：2007-12-05
申请号：KR1020060048886
申请日：2006-05-30
Applicant: (주) 인텍플러스
IPC: G01N21/88 , G01N21/898
Abstract: An optical inspection apparatus and method are provided to enhance reliability of the examination by controlling a light source to obtain a surface image having decreased light saturation region and a peripheral area image having a clear lattice image using a filter. An optical apparatus comprises a lighting unit, an imaging unit for photographing a target surface and an analyzing unit. The lighting unit includes a light source, a band pass filter, a projection optical system and a reflection mirror to irradiate a reference lattice pattern on the target surface. The analyzing unit compares the photographed image of the imaging unit with the reference image to detect a defect of a target.
Abstract translation: 提供一种光学检查装置和方法，以通过控制光源来获得检查的可靠性，以获得具有降低的光饱和区域的表面图像和使用滤光器的具有清晰格子图像的周边区域图像。 光学装置包括照明单元，用于拍摄目标表面的成像单元和分析单元。 照明单元包括光源，带通滤光器，投影光学系统和反射镜，以在目标表面上照射参考点阵图案。 分析单元将摄像单元的拍摄图像与参考图像进行比较，以检测目标的缺陷。
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公开(公告)号：KR1020070042840A
公开(公告)日：2007-04-24
申请号：KR1020050098851
申请日：2005-10-19
Applicant: (주) 인텍플러스
IPC: H01L27/146
CPC classification number: G01B11/25 , G01B11/0608 , H01L27/148 , H04N13/207 , H04N13/254
Abstract: An image measuring apparatus for acquiring an image captured by an optical system and a method thereof are disclosed. The apparatus includes a CCD camera for capturing the object and outputting the captured image, a lamp for generating light to illuminate a capturing area of the object, an illumination controller for controlling the lamp to be turned on, a projection grating formed with gratings, a projection grating driving unit for adjusting a distance between the projection grating and the object, an image capturing device for acquiring the image captured by the CCD camera, a driving signal generator for outputting a driving signal to the illumination controller, the projection grating driving unit, and the image capturing unit simultaneously according to an enable signal generated from the CCD camera, and an image signal processor for estimating a three-dimensional image of the object from data transmitted from the image capturing unit.
Abstract translation: 图像测量设备和方法技术领域本发明涉及能够高速获取从光学系统拾取的图像的图像测量设备和方法。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR100705655B1
公开(公告)日：2007-04-09
申请号：KR1020050098855
申请日：2005-10-19
Applicant: (주) 인텍플러스
IPC: H01L21/66
Abstract: 본 발명은 반도체 패키지의 분류 속도 및 수율을 향상시킬 수 있도록 하는 반도체 패키지의 분류 방법에 관한 것이다.
이를 위하여, 반도체 패키지를 검사하고 검사 결과에 따라 정상품과 불량품을 분류하는 방법에 있어서, 로딩부로부터 이송되는 트레이에 대한 비전 검사를 실시하는 단계와; 버퍼 트레이부가 비어 있는지 판단하는 단계와; 버퍼 트레이부가 비어 있을 경우 상기 비전 검사가 완료된 트레이를 버퍼 트레이부로 이송하는 단계와; 상기 버퍼 트레이에 수납된 불량품을 불량품 트레이로 옮기는 단계와; 상기 버퍼 트레이부가 비어 있는지 판단 결과 비어 있지 않을 경우 상기 로딩부로부터 이송되는 트레이의 비전 검사를 실시하는 단계와; 상기 비전 검사가 완료된 트레이를 언로딩 트레이부로 이송하는 단계와; 상기 언로딩 트레이에 수납된 반도체 패키지 중 불량품이 발견되었는지 판단하는 단계와; 상기 판단 결과 언로딩 트레이에 불량품이 수납되었을 경우 불량품을 불량품 트레이의 빈 자리로 옮기고 불량품이 빠져나간 빈자리는 버퍼 트레이에 수납된 정상품을 옮겨 채우는 단계와; 상기 일련의 공정을 반복 진행한 후에 해당 랏(Lot)의 마지막 트레이의 비전 검사가 완료되어 언로딩부로 이송되면 언로딩 트레이에 수납된 불량품을 불량품 트레이로 옮기는 단계와; 상기 불량품 트레이를 불량품 트레이부로 배출하고 불량품에 대한 재검사를 실시할 것인지 판단하는 단계와; 상기 불량품에 대한 재검사 여부 판단 결과 재검사가 요구되면 정상품에 대한 정렬 공정과 불량품 트레이의 재검사를 동시에 실시하는 단계를 포함한다.
반도체, 패키지, 정렬, 정상품, 불량품Abstract translation: 本发明涉及一种能够提高半导体封装的分选速度和成品率的分类半导体封装的方法。
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公开(公告)号：KR100705649B1
公开(公告)日：2007-04-09
申请号：KR1020050048585
申请日：2005-06-07
Applicant: (주) 인텍플러스
CPC classification number: G01R31/2896
Abstract: 본 발명은 반도체 패키지의 외관 검사 장치 및 방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는 반도체 패키지의 인트레이(In-Tray) 검사 시 트레이에 수납된 반도체 패키지에 따라 소요되는 검사 시간을 단축함은 물론 조사되는 광에 의해 발생되는 그림자에 의한 간섭 영향을 최소화하여 검사 작업에 대한 효율성 및 신뢰성을 향상시키실 수 있는 반도체 패키지의 인트레이 검사 장치 및 검사 방법에 관한 것이다.
본 발명에 따른 반도체 패키지의 인트레이 검사 장치는 반도체 패키지가 수납된 트레이의 이송 경로 상에 설치된 제1,2비전프로브를 통해 획득한 반도체 패키지의 이미지 정보와 해당 랏의 반도체 패키지에 대한 정상 이미지 정보를 비교하여 반도체 패키지의 결합 유무를 분석하고 판별하는 중앙 제어 장치를 포함하는 반도체 패키지의 인트레이 검사 장치에 있어서, 상기 제1비전프로브는 상기 트레이가 이송되는 레일 방향과 동일 축상에 배치되고, 상기 제2비전프로브는 상기 제1비전프로브에 대하여 직각으로 회전 배치된 것을 특징으로 한다.
반도체 패키지, 인트레이, 비전 검사, 리드-
公开(公告)号：KR1020070023427A
公开(公告)日：2007-02-28
申请号：KR1020050077997
申请日：2005-08-24
Applicant: (주) 인텍플러스
IPC: H01L21/66
CPC classification number: H01L22/20
Abstract: 본 발명은 비전 검사가 완료된 반도체 소자의 양,불량품을 신속하게 분류하도록 하는 반도체 소자의 분류 방법에 관한 것이다.
이를 위하여 본 발명은 동일 반도체 소자를 다수개 수납한 트레이의 외관을 비전 검사하고 비전 검사되어 분류부로 이송되는 트레이에 수납된 반도체 소자를 언로딩 트레이(TR1) 또는 불량품 트레이(TR3)로 분류하는 반도체 소자의 분류 방법에 있어서, 해당 랏(Lot)의 마지막 트레이가 비전 검사되어 분류부로 공급되면 해당 버퍼 트레이(TR2)의 불량품을 불량품 트레이(TR3)로 이송하고(S21) 불량품 이송이 완료되면 불량품 트레이(TR3)를 배출하는 단계와; 상기 해당 버퍼 트레이(TR2)의 양품 수와 상기 언로딩 트레이(TR1)에 남아 있는 양품 수를 상호 비교하는 단와; 상기 비교 결과 버퍼 트레이(TR2)의 양품수가 언로딩 트레이(TR1)의 양품수 보다 많을 경우 버퍼 트레이(TR2)의 양품을 언로딩부로 이송하는데 소요되는 시간(T1)과 언로딩 트레이의 양품을 버퍼 트레이(TR2)로 이송하고(T2) 버퍼 트레이(TR2)를 언로딩부로 배출하는데 소요되는 시간(T3)을 상호 비교하는 단계와; 상기 비교 결과 양품 수가 언로딩 트레이(TR1)에 더 많을 경우와 버퍼 트레이(TR2)의 양품을 언로딩 트레이(TR1)로 이송하는데 소요되는 시간이 언로딩 트레이(TR1)의 양품을 버퍼 트레이(TR2)로 이송하고 버퍼 트레이(TR2)를 언로딩부로 이송하는데 소요되는 시간보다 크지 않을 경우 버퍼 트레이(TR2)의 양품을 언로딩 트레이(TR1)로 이송하는 단계와; 상기 비교 결과 버퍼 트레이(TR2)의 양품을 언로딩 트레이(TR1) 로 이송하는데 소요되는 시간이 언로딩 트레이(TR1)의 양품을 버퍼 트레이(TR2)로 이송하고 버퍼 트레이(TR2)를 언로딩부로 이송하는데 소요되는 시간보다 클 경우 언로딩 트레이(TR1)의 양품을 버퍼 트레이(TR2)로 이송하는 단계를 포함한다.
버퍼, 양품 수, 언로딩 트레이-
公开(公告)号：KR1020010100724A
公开(公告)日：2001-11-14
申请号：KR1020000024233
申请日：2000-05-06
Applicant: (주) 인텍플러스
IPC: G01N21/01
CPC classification number: G01N21/01 , G01N2201/0612 , G01N2201/0636
Abstract: 본 발명은 프로젝션 텔레비전의 핵심부품인 마이크로 멀티미러 어레이(Micro multi-mirror array)를 평가하는 기기에 관한 것으로, 특히 마이크로 멀티미러 어레이의 각 미러소자가 정확히 작동하는지를 검사하기 위해 여러 각도에서 레이저를 입사시킨 후, 각 미러소자가 반사하는 빛을 CCD 카메라로 획득하여 그 결과를 분석함으로써, 각 미러소자가 정상적으로 작동하는지 여부를 판단하고, 결과로서 멀티미러의 사용여부를 결정하는 멀티미러 어레이 계측장치에 관한 것이다. 마이크로 멀티미러 어레이는 프로젝션 텔레비전에 있어서, 광량의 손실이 많은 투과형의 단점을 개선하기 위해 반사형의 형태로 개발된 것으로 밝고 선명한 화질을 기대할 수 있다. 영상정보를 포함하는 빛을 멀티미러에 입사시키고 각 멀티미러의 소자로부터 반사되는 빛을 이용하여 영상을 만들면, 빛의 손실이 거의 없기 때문에 밝고 선명한 화질을 기대할 수 있다. 이때 각 멀티미러의 소자는 하나의 화소에 대응되고 각 화소의 밝기는 각 멀티미러 소자의 반사각도 혹은, 일정시간당 반사횟수를 제어하여 결정되는데, 만약 하나의 미러소자라도 제어가 불가능하면 그에 대응하는 화소는 정확한 영상을 구현할 수 없어 사용할 수 없게 된다. 따라서 각 미러소자가 정확히 작동하는지 여부를 확인하는 작업은 필수적이다.
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公开(公告)号：KR100284080B1
公开(公告)日：2001-03-02
申请号：KR1019980043687
申请日：1998-10-19
Applicant: (주) 인텍플러스
IPC: G01B11/00
Abstract: 본 발명은 측정대상물체에 대한 2차원 치수측정과 3차원 형상/표면조도측정기능이 일체적으로 구비된 광학식 치수/형상/표면조도 측정장치에 관한 것으로, 측정유니트(30)의 구성요소인 광학계는 측정대상물체(P)의 2차원 치수측정을 위한 제 1광학계(50)와 3차원 형상/표면조도측정을 위한 Z축방향의 미세변위를 위한 PZT액츄에이터(52a)를 포함하는 제 2광학계(52b)가 회동가능한 터렛(48)상에 일체로 구성되고, 측정/제어유니트(10)에는 상기 측정대상물체에 대한 2차원 치수측정/3차원 치수측정의 방식의 선택과 그 선택된 측정방식에 대응하는 측정결과연산을 행하는 물체측정연산부(120)와, 상기 측정방식의 과정을 설정하기 위한 화면데이터와 측정결과가 저장되는 데이터메모리(122), 상기 측정대상물체(P)의 2차원 치수측정을 위한 프로그램이 저장된 2차원 치수측정프로그램저장부(124) 및, 상기 측정대상물체(P)에 대한 3차원 형상/표면조도의 측정을 위한 측정프로그램등록부(126)가 통합적으로 구성되어, 상기 측정대상물체(P)에 대해 2차원 치수측정 또는 3차원 형상/표면조도측정이 선택적으로 또는 호환적으로 실행될 수 있도록 된 것이다.
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