流量传感器及其制造方法
    91.
    发明公开

    公开(公告)号:CN104024807A

    公开(公告)日:2014-09-03

    申请号:CN201280065517.8

    申请日:2012-12-04

    CPC classification number: G01F1/692 G01F1/6845

    Abstract: 本发明提供一种能够抑制各流量传感器的性能偏差来实现性能提高(也包含提高可靠性来实现性能提高的情况)的技术。例如,在用上模具(UM)和下模具(BM)夹着搭载有半导体芯片(CHP1)的引线框(LF)时,搭载有半导体芯片(CHP1)的引线框(LF)和上模具(UM)之间设置有框体(FB)和弹性体薄膜(LAF)。此时,框体(FB)的高度高于流量检测部(FDU)的高度且框体(FB)的弹性系数小于半导体芯片(CHP1)的弹性系数。

    空气流量测定装置
    92.
    发明公开

    公开(公告)号:CN103998901A

    公开(公告)日:2014-08-20

    申请号:CN201180075369.3

    申请日:2011-12-07

    Abstract: 本发明提供一种测量精度高的空气流量测定装置。该空气流量测定装置包括:副通路,其取入吸气管内流过的流体流量的一部分;传感元件,其配置在副通路,测量流体流量;电路部,其将传感元件检测出的流体流量转换为电信号;连接器部,其具有与电路部电连接并将信号输出到外部的连接器;和壳体,其支承传感元件和电路部,传感元件配置在吸气管内,传感元件具有形成于半导体衬底的空洞部、和以覆盖空洞部的方式形成的由薄膜部构成的隔膜,传感元件安装于引线框,传感元件和引线框的表面以传感元件的隔膜部和引线框的一部分露出的方式用树脂模塑封装,在上述引线框,形成有至少一个以上的将空洞部与模塑封装的外部连结的孔。

    热式流量计
    95.
    发明授权

    公开(公告)号:CN109196311B

    公开(公告)日:2020-12-25

    申请号:CN201780024018.7

    申请日:2017-04-13

    Abstract: 本发明提供一种能够比以往减少流体脉动时的计测误差的热式流量计。热式流量计具备使流通于主通路内的流体的一部分流入的副通路(307)、以及配置在该副通路(307)内的流量计测部(451)。副通路(307)具有设置在流量计测部(451)的计测面(451a)侧的第1通路(351)、设置在流量计测部(451)的背面侧(451b)的第2通路(352)、以及设置在比该第2通路(352)的出口更靠该第2通路(352)的流体的顺流方向(F)的下游侧的位置的倾斜通路(361)。倾斜通路(361)在比流量计测部(451)更靠第1通路(351)侧的位置具有相对于顺流方向(F)从第2通路(352)侧朝向第1通路(351)侧倾斜的第1倾斜面(371)。

    热式空气流量测定装置
    96.
    发明授权

    公开(公告)号:CN110672170B

    公开(公告)日:2020-12-08

    申请号:CN201910910710.0

    申请日:2013-01-21

    Abstract: 提供热响应性好的传感器芯片封装,包括:温度检测元件;第一导电性引线框架,支承固定温度检测元件并且与温度检测元件电连接;和第二导电性引线框架,第一导电性引线框架由导电上独立的多个部分构成,温度检测元件以跨越多个部分的方式配置,具有导电性部件,将第一导电性引线框架的多个部分和第二导电性引线框架分别电连接,其截面积比第一导电性引线框架和第二导电性引线框架小;和树脂封装,其以通过树脂将第一导电性引线框架、第二导电性引线框架、导电性部件和温度检测元件包在内部的方式进行覆盖,树脂封装的外周的第一导电性引线框架或第二导电性引线框架的截断面被封闭。

    流量计
    97.
    发明授权

    公开(公告)号:CN108139250B

    公开(公告)日:2020-02-28

    申请号:CN201680059781.9

    申请日:2016-10-05

    Abstract: 本发明能够得到能够简单地取得与在供被计量气体通过的场所露出的导体的电连接的流量计。该流量计具备引线框架和载置于上述引线框架的电路部件,且具有利用树脂材料对上述引线框架的一部分进行模制而成的封装体,该流量计中,上述封装体设有露出部,该露出部使上述引线框架的一部分从上述树脂材料露出,且与构成副通路的一部分的导体电连接。

    热式流量计
    99.
    发明授权

    公开(公告)号:CN107255494B

    公开(公告)日:2019-10-29

    申请号:CN201710407417.3

    申请日:2013-05-29

    Abstract: 本发明提供减少用于将电路封装(400)保持固定于壳体(302)的固定部(3721)对电路封装(400)造成的应力,可靠性高的热式流量计(300)。本发明的热式流量计,由第1树脂模塑工序形成内置流量测量电路的电路封装(400),由第2树脂模塑工序与壳体(302)一同形成固定部(3721),由固定部(3721)包围电路封装(400),由此将电路封装(400)保持固定于壳体(302)。为了减少基于固定部(3721)的温度变化产生的应力对电路封装(400)的影响,由厚壁部(4714)和薄壁部(4710)构成固定部(3721)。薄壁部(4710)的树脂厚度较薄,因此产生的应力小,能够减少施加于电路封装(400)的力。

    热式流量计
    100.
    发明公开

    公开(公告)号:CN109416270A

    公开(公告)日:2019-03-01

    申请号:CN201780039253.1

    申请日:2017-06-14

    Abstract: 本发明获得一种附着于第1通道的壁面上的水滴在被拉入到第3通道部时有效地去往排出口的热式流量计。本发明的热式流量计(300)具备副通道和流量检测部(602),所述副通道导入在主通道(124)中流动的被测量气体(30),所述流量检测部(602)通过与在副通道中流动的被测量气体(30)之间进行传热来测量被测量气体(30)的流量。并且,副通道具有第1通道(701)、第2通道部(702)及第3通道部(703),所述第2通道部(702)在第1通道部的中途分支而去往流量检测部(602),所述第3通道部(703)在第2通道部的中途分支而去往第3出口(703b),在第3通道部(703)的第3入口(703a)与第3出口(703b)之间设置有压力损失产生机构(704a)。

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