公开(公告)号：US5169606A

公开(公告)日：1992-12-08

申请号：US600550

申请日：1991-02-26

Applicant: Douglas R. Batchelor

Inventor： Douglas R. Batchelor

IPC: C01B13/11

CPC classification number: C01B13/11 ,  C01B2201/14 ,  C01B2201/22 ,  C01B2201/32 ,  C01B2201/40 ,  C01B2201/76

Abstract: A tubular type ozone generator with inner and outer concentric electrodes and a middle dielectric member. One end is sealed to permit feed gas traversing the inner gap between the inner electrode and the dielectric member to reverse direction and to traverse the outer gap between the dielectric member and the outer electrode. A method for producing ozone using a tubular type ozone generator where first the total feed gas is passed in one direction between an electrode and the dielectric member for producing ozone, reversed, and then passed in the reverse direction between the dielectric member and the other electrode producing additional ozone. A hollow inner electrode permits more efficient cooling of the inner electrode. A plurality of ozone generators are combined with intake and output manifolds for the feed gas and produced ozone.

Abstract translation: 一种具有内部和外部同心电极和中间电介质构件的管状臭氧发生器。 一端被密封以允许进料气体横穿内部电极和电介质构件之间的内部间隙反向并横越电介质构件和外部电极之间的外部间隙。 一种使用管状臭氧发生器生产臭氧的方法，其中首先使总进料气体在一个方向上在电极和用于产生臭氧的电介质构件之间通过，反向，然后在介电构件和另一个电极之间反向通过 产生额外的臭氧。 中空的内部电极允许更有效地冷却内部电极。 多个臭氧发生器与用于进料气体和产生的臭氧的进气歧管和输出歧管组合。

公开(公告)号：US5145653A

公开(公告)日：1992-09-08

申请号：US669995

申请日：1991-03-15

Applicant: Melchior Fischer ,  Helmut Lang

Inventor： Melchior Fischer ,  Helmut Lang

IPC: C01B13/11

CPC classification number: C01B13/11 ,  C01B2201/14 ,  C01B2201/22 ,  C01B2201/32 ,  C01B2201/40

Abstract: In ozone generators having segmented inner electrodes (7), the electric connection of the segments is effected by means of plane contact areas (10) applied to the ends of the segments. A tension rod (11) passing through all segments ensures cohesion and, at the same time, is used as the connecting element for supplying the ozone generator with power.

Abstract translation: 在具有分段内部电极（7）的臭氧发生器中，通过施加到段的端部的平面接触区域（10）来实现段的电连接。 通过所有段的张力杆（11）确保内聚力，并且同时被用作为臭氧发生器供电的连接元件。

公开(公告)号：US4035657A

公开(公告)日：1977-07-12

申请号：US644306

申请日：1975-12-24

Applicant: Curt William Carlson

Inventor： Curt William Carlson

IPC: C01B13/11

CPC classification number: C01B13/11 ,  C01B2201/14 ,  C01B2201/22 ,  C01B2201/24 ,  C01B2201/40 ,  C01B2201/62

Abstract: An ozone generator in which an air pump discharges air through a plurality of juxtaposed, successive, tubular housings, each of which has concentric wire mesh electrodes separated by dielectric tubes. A high a.c. potential, insufficient to cause a spark discharge, is imposed across the electrodes so that the oxygen of the air is progressively converted into ozone. The ozone laden air is directed through non-return valves into water flowing in a pipe for the purpose of destroying bacteria therein.

Abstract translation: 一种臭氧发生器，其中空气泵通过多个并置的连续的管状壳体排出空气，每个管状壳体具有由电介质管分开的同心的丝网电极。 高等教育 通过电极施加不足以引起火花放电的电位，使得空气的氧气逐渐转化为臭氧。 充满臭氧的空气通过止回阀进入管道内的水，以破坏其中的细菌。

公开(公告)号：WO2013042711A1

公开(公告)日：2013-03-28

申请号：PCT/JP2012/074015

申请日：2012-09-20

Applicant: 株式会社村田製作所 ,  竹村光治 ,  山田宏 ,  山本悌二

Inventor： 竹村光治 ,  山田宏 ,  山本悌二

IPC: C01B13/11

CPC classification number: C01B13/11 ,  C01B2201/14 ,  C01B2201/22 ,  C01B2201/40 ,  C01B2201/64

Abstract: 　小型化が容易であり、低電圧で駆動することができるオゾン発生装置を実現する。そのため、オゾン発生装置（１）は、基板（２）と２つの駆動電極（３Ａ，３Ｂ）とを備える。基板（２）は、第１主面と第２主面とを有し、第１主面と第２主面との間を貫通する３つの放電孔（２Ａ，２Ｂ，２Ｃ）が形成されている。２つの駆動電極（３Ａ，３Ｂ）は、３つの放電孔（２Ａ，２Ｂ，２Ｃ）に対向するとともに、互いに対向している。３つの放電孔（２Ａ，２Ｂ，２Ｃ）は、部分的に径が小さい狭隘部（２Ａ１，２Ｂ１，２Ｃ１）を備えている。

Abstract translation: 提供可以容易地减小尺寸并且可以以低电压驱动的臭氧发生器。 为此，臭氧发生器（1）设置有基板（2）和两个驱动电极（3A，3B）。 基板（2）具有第一主表面和第二主表面，并且设置有从第一主表面到第二主表面穿透基板的三个排出孔（2A，2B，2C）。 两个驱动电极（3A，3B）彼此面对三个排出孔（2A，2B，2C）。 三个排出孔（2A，2B，2C）部分地具有较小直径的窄部分（2A1,2B1,2C1）。

公开(公告)号：WO2007008561A3

公开(公告)日：2007-02-15

申请号：PCT/US2006026290

申请日：2006-07-07

Applicant: MKS INSTR INC ,  BERKMAN VITALY J ,  RYAN THOMAS J

Inventor： BERKMAN VITALY J ,  RYAN THOMAS J

IPC: G05D11/00 ,  C01B13/10 ,  H01L21/00

CPC classification number: C01B13/11 ,  C01B2201/40 ,  C01B2201/64 ,  C01B2201/90 ,  G05D11/138 ,  Y10T137/0318

Abstract: An improved system and method for controlling ozone concentration in connection with a multi-chamber tool. The system and method involve a first and a second concentration controller in combination with an ozone generator. The first concentration controller detects an EVENT (i.e., one of the chambers in the multi-chamber tool coming on-line or off-line) and in response provides a power instruction to the ozone generator in accordance with a predictive control algorithm. The first concentration controller has a fast (i.e., about 1 second) response time. The second concentration controller is masked from the ozone generator during the EVENT, but otherwise controls the generator after an interval of time has lapsed after the EVENT. The second concentration controller has a slower response time than the first concentration controller, however the second concentration controller provides the system with long-term stability and can be used to provide updated data to the predictive control algorithm.

Abstract translation: 用于控制与多室工具相关的臭氧浓度的改进的系统和方法。 该系统和方法涉及与臭氧发生器组合的第一和第二浓度控制器。 第一集中控制器检测EVENT（即，多室工具中的一个室内进行在线或离线），并且响应于根据预测控制算法向臭氧发生器提供功率指令。 第一浓度控制器具有快速（即约1秒）响应时间。 在EVENT期间，第二个浓度控制器被从臭氧发生器屏蔽，但是在EVENT之后经过了一段时间后才控制发电机。 第二浓度控制器具有比第一浓度控制器更慢的响应时间，然而第二浓度控制器为系统提供长期的稳定性，并可用于向预测控制算法提供更新的数据。

公开(公告)号：WO2007008561A2

公开(公告)日：2007-01-18

申请号：PCT/US2006/026290

申请日：2006-07-07

Applicant: MKS INSTRUMENTS, INC. ,  BERKMAN, Vitaly, J. ,  RYAN, Thomas, J.

Inventor： BERKMAN, Vitaly, J. ,  RYAN, Thomas, J.

CPC classification number: C01B13/11 ,  C01B2201/40 ,  C01B2201/64 ,  C01B2201/90 ,  G05D11/138 ,  Y10T137/0318

Abstract: An improved system and method for controlling ozone concentration in connection with a multi-chamber tool. The system and method involve a first and a second concentration controller in combination with an ozone generator. The first concentration controller detects an EVENT (i.e., one of the chambers in the multi-chamber tool coming on-line or off-line) and in response provides a power instruction to the ozone generator in accordance with a predictive control algorithm. The first concentration controller has a fast (i.e., about 1 second) response time. The second concentration controller is masked from the ozone generator during the EVENT, but otherwise controls the generator after an interval of time has lapsed after the EVENT. The second concentration controller has a slower response time than the first concentration controller, however the second concentration controller provides the system with long-term stability and can be used to provide updated data to the predictive control algorithm.

Abstract translation: 用于控制与多腔室工具相关的臭氧浓度的改进的系统和方法。 该系统和方法涉及与臭氧发生器组合的第一和第二浓度控制器。 第一集中控制器检测EVENT（即，多室工具中的一个室在线或离线）并且作为响应根据预测控制算法向臭氧发生器提供电力指令。 第一浓度控制器具有快速（即约1秒）的响应时间。 第二个浓度控制器在EVENT期间被臭氧发生器屏蔽，但在EVENT之后经过一段时间之后控制发生器。 第二个浓度控制器的响应时间比第一个浓度控制器慢，但是第二个浓度控制器为系统提供了长期稳定性，并且可以用来为预测控制算法提供更新数据。

公开(公告)号：WO2006035506A1

公开(公告)日：2006-04-06

申请号：PCT/JP2004/014274

申请日：2004-09-29

Applicant: 東芝三菱電機産業システム株式会社 ,  田畑 要一郎 ,  沖原 雄二郎 ,  石川 政幸 ,  西津 徹哉

Inventor： 田畑 要一郎 ,  沖原 雄二郎 ,  石川 政幸 ,  西津 徹哉

IPC: C01B13/11

CPC classification number: H02M7/48 ,  C01B13/115 ,  C01B2201/12 ,  C01B2201/40 ,  C01B2201/76 ,  C01B2201/84 ,  C01B2201/90

Abstract: 　大容量オゾン発生装置をコンパクトで安価にするとともに、装置のメンテナンス性も向上させる。 オゾン電源は、所定周波数の交流電圧に変換しｎ相の交流電圧波形を出力するｎ相インバータ４０００と、ｎ相の交流電圧をｎ相の高電圧交流電圧に変換するｎ個のリアクトル２０００−ａおよびｎ相のトランス２０００−ｂと、ｎ相の高電圧交流電圧を出力するｎ個の高電圧端子と、共通電位を有する１個の低電圧端子とから構成され、複数個のオゾン発生器ユニット１００は、放電チャンバー内でｎ個に電気的に分割され、それぞれのオゾン発生器ユニットからｎ個の高圧電極端子とオゾン発生器ユニットの全ての低圧電極を共通にした１個の低圧電極端子を引き出し、ｎ個の高電圧端子にｎ個の高圧電極端子を接続し、１個の低電圧端子に１個の低圧電極端子とを接続することにより、ｎ相の交流放電を各オゾン発生ユニットで発生させ、オゾンを発生させる。

Abstract translation: 为了减小大容量臭氧发生装置的尺寸和成本，提高其可维护性。 臭氧电源包括用于转换为预定频率的AC电压的n相逆变器（4000），以输出n相交流电压波形; n个反应器（2000-a）和用于将n相交流电压转换成n相交流高压的n相变压器（2000-b）; n个高压端子，用于输出n相交流高电压; 和具有共同电位的单个低电压端子。 多个臭氧发生器单元（100）在n个放电室中分别电气分离。 从各个臭氧发生器单元引出的N个高压电极端子连接到n个高压端子，而与臭氧发生器单元的所有低压电极共同连接的单个低压电极端子连接到单个低电压 从而使臭氧发生器单元产生n相AC放电，从而产生臭氧。

公开(公告)号：WO2005087658A1

公开(公告)日：2005-09-22

申请号：PCT/CA2005/000340

申请日：2005-03-03

Applicant: PHILLIPS, Stanley ,  PHILLIPS, Shirley ,  PHILLIPS, Andrew

Inventor： PHILLIPS, Stanley ,  PHILLIPS, Shirley ,  PHILLIPS, Andrew

IPC: C01B13/11

CPC classification number: C01B13/115 ,  C01B13/11 ,  C01B2201/22 ,  C01B2201/40 ,  C01B2201/62 ,  C01B2201/74 ,  C01B2201/82

Abstract: An electro chemical conversion cell that can break down certain gasses to provide ozone and monovalent oxygen from a supplied volume of a suitable 02-containing gas. The conversion cell is provided with at least one metal mesh electrode within a generator reaction chamber, and a power supply which is adapted to supply a high alternating electric current voltage to at least partially break-down O 2 in the input gas to yield ozone. A fluid flow passage extends through the reaction chamber as a generally elongated passage through the reaction cavity. The fluid flow passage extends from an upstream end, where the O 2 -containing gas is initially supplied into the housing, to a downstream end where treated gas either flows outwardly therefrom under pressure or is evacuated from the housing. In a simplified construction, the fluid flow passage is delineated by a series of electrically insulating plates and/or spacers which are used to partition the reaction cavity.

Abstract translation: 一种电化学转化电池，其可以从供应体积的合适的含氧气体中分解某些气体以提供臭氧和一价氧。 转换单元在发电机反应室内设置有至少一个金属网状电极，以及适于提供高交流电压至少部分地分解输入气体中的氧气以产生臭氧的电源。 流体流动通道作为通过反应腔的大致细长通道延伸穿过反应室。 流体流动通道从上游端延伸，其中含O2的气体最初被供应到壳体中，到下游端，其中处理气体在压力下从其向外流动或者从壳体排出。 在简化的结构中，流体流动通道被用于分隔反应腔的一系列电绝缘板和/或间隔物所描绘。

公开(公告)号：KR1020130007667A

公开(公告)日：2013-01-18

申请号：KR1020127032263

申请日：2006-07-07

Applicant: 엠케이에스 인스트루먼츠, 인코포레이티드

Inventor： 버크만,비탈리,제이. ,  라이언,토마스,제이.

IPC: H01L21/02 ,  H01L21/00

CPC classification number: C01B13/11 ,  C01B2201/40 ,  C01B2201/64 ,  C01B2201/90 ,  G05D11/138 ,  Y10T137/0318

Abstract: 오존 농도를 제어하기 위해 개선된 시스템 및 방법이 멀티-챔버 툴과 연결된다. 시스템 및 방법은 오존 발생기와 조합된 제1 및 제2 농도 제어기를 포함한다. 제1 농도 제어기는 이벤트(EVENT)(즉, 멀티-챔버 툴의 챔버들중 하나가 온라인 또는 오프라인되는 것)를 검출하고 이에 응답하여 예측 제어 알고리즘에 따라 오존 발생기에 파워 명령을 제공한다. 제1 농도 제어기는 고속(즉, 약 1초) 응답 시간을 갖는다. 제2 농도 제어기는 이벤트중에 오존 발생기로부터 차단되나, 이벤트 이후에 경과되는 일정 시간 간격이 지나면 발생기를 제어한다. 제2 농도 제어기는 제1 농도 제어기보다 느린 응답 시간을 가지나, 제2 농도 제어기는 시스템에 긴 시간의 안정성을 제공하고 예측 제어 알고리즘에 업데이트된 데이터를 제공하는데 사용될 수 있다.

公开(公告)号：KR1020050100092A

公开(公告)日：2005-10-18

申请号：KR1020040025269

申请日：2004-04-13

Applicant: 전병준

Inventor： 전병준

IPC: C01B13/10

CPC classification number: C01B13/11 ,  C01B2201/12 ,  C01B2201/40

Abstract: 본 발명은 수중에서 전기분해 방식으로 오존을 발생시킴에 있어, 전기분해 발생 코어를 병렬방식으로 다수개 연결되게 하여 물의 어떠한 특성에서도 적절한 농도를 유지한 오존의 양을 생성할 수 있도록 한 것이다.
본 발명은 수중에서 전기분해 방식으로 오존을 발생시키는 오존발생기에 있어서, 외부의 원수를 오존발생기 내부로 유입하는 유입구; 프레임상에 양극선과 음극선으로 이루어진 백금선을 동일한 방향으로 일정 간격 이격된 상태로 평행하게 권취하되, 병렬방식으로 다수개 구비되어 있는 전기분해 발생 코어; 상기 병렬방식으로 다수개 연결되어 있는 전기분해 발생 코어 사이에는 다수의 통공이 조밀하게 형성되어 있는 격벽; (+), (-)전극을 형성하여 오존발생기 내의 병렬로 연결된 다수개의 전기분해 발생 코어에 전원을 공급하는 덮개; 상기 전기분해 발생 코어에 의한 전기분해 반응으로 생성된 오존수와 수소가스를 외부로 배출할 수 있도록 덮개 소정의 위치에 형성되는 배출구;로 이루어지는 전기분해 발생 코어가 병렬 연결되어 있는 오존발생기에 관한 것이다.