一种大面积均匀分布臭氧发生装置及方法

    公开(公告)号:CN106986309A

    公开(公告)日:2017-07-28

    申请号:CN201710349513.7

    申请日:2017-05-17

    Abstract: 本发明公开了一种大面积均匀分布臭氧发生装置及方法,所述装置包括臭氧产生区、气体分配区、外部电源和外部气源,所述臭氧产生区包括两个方形电极,分别为顶部方形电极和底部方形电极,所述两个方形电极分布有筛网状通气孔;所述气体分配区包括绝缘封盖和所述顶部方形电极;所述绝缘封盖用于封闭并固定所述气体分配区和所述臭氧发生区。其主要特征在于:所述两个方形电极为尺寸相同的金属电极,最大电极面积可达800mm×800mm;所述两个方形电极上均匀分布有0.5~5mm的网孔,所述网孔可以为圆孔、方孔或六边形孔,使空气通过所述网孔后均匀分布。针对不同的处理对象及要求可提供不同的设计参数及工作参数。

    无氮添加臭氧产生单元及臭氧气体供给系统

    公开(公告)号:CN103459308B

    公开(公告)日:2016-02-10

    申请号:CN201180070004.1

    申请日:2011-04-13

    Abstract: 本发明的目的在于获得一种谋求无氮添加臭氧产生器单元的小型化的无氮添加臭氧产生单元,该无氮添加臭氧产生器单元附带具有用于输出高纯度、高浓度的臭氧气体的多个机构的功能。而且,在本发明中,气体配管集成模块(30)具有多个内部配管路线(R30a~R30f),通过将上述多个内部配管路线与向放电面涂敷有用于生成臭氧的光催化剂物质的无氮添加臭氧产生器(1)、控制机构(MFC(3)、气体过滤器(51)及APC(4))、原料气体供给口(14)、臭氧气体输出口(15)连结起来,形成从原料气体供给口经由APC而到达无氮添加臭氧气体产生器的原料气体输入配管路线及从无氮添加臭氧产生器经由气体过滤器、MFC而到达臭氧气体输出口的臭氧气体输出配管路线实现一体化的单元。

    臭氧气体供给系统
    5.
    发明公开

    公开(公告)号:CN102770369A

    公开(公告)日:2012-11-07

    申请号:CN201080053584.9

    申请日:2010-09-06

    Abstract: 本发明的目的在于得到一种臭氧发生单元及上述臭氧发生单元,其中上述臭氧发生单元可实现具有用于输出臭氧气体的多个元件且设有控制元件的臭氧发生器单元的小型化。此外,在本发明中,气体配管集成块(30)具有多个内部配管路径(R30a~R30f),通过将上述多个内部配管路径与臭氧发生器(1)、控制元件(MFC(3)、气体过滤器(51)及APC(4))、原料气体供给口(14)、臭氧气体输出口(15)及冷却水出入口(13A、13B)连接,从而形成将从原料气体供给口经由APC直至臭氧气体发生器的原料气体输入配管路径、及从臭氧发生器经由臭氧过滤器、臭氧浓度计(5)、MFC(3)直至臭氧气体输出口的臭氧气体输出配管路径一体化的单元。

    臭氧气体发生装置及其制造方法

    公开(公告)号:CN102712472A

    公开(公告)日:2012-10-03

    申请号:CN201080043675.4

    申请日:2010-09-21

    Inventor: 松野敬 竹村理

    Abstract: 本发明公开了一种臭氧气体发生装置。该臭氧气体发生装置在一对电极(14、14)的各相向面侧分别设置有一个电介质(13)。在一对电介质(13、13)之间形成有放电间隙(20),该放电间隙(20)与原料气体供给通路和臭氧气体排出通路连接。在一对电介质(13、13)上设置有面向放电间隙(20)的功能膜(17)。功能膜(17)中包含:选自铌、钽、钼、铬中的一种或两种以上金属的第一金属氧化物、以及选自钛、钨、锌、铁中的一种或两种以上金属的第二金属氧化物。

Patent Agency Ranking