连续蒸镀设备
    101.
    发明授权

    公开(公告)号:CN101956176B

    公开(公告)日:2012-05-02

    申请号:CN201010502579.3

    申请日:2010-09-30

    Abstract: 本发明公开了一种连续蒸镀设备,包括主腔体、至少两副腔体、与副腔体对应的蒸发源机构及蒸发舟输送机构,副腔体与主腔体之间密封地连通,蒸发源机构安装于主腔体内且与副腔体相对应,蒸发舟输送机构密封地枢接于副腔体上,蒸发舟输送机构包括滑轨、电极棒及蒸发舟,电极棒的一端与滑轨滑动连接,另一端密封地伸入副腔体内且与蒸发舟连接,工作时,其中一蒸发舟输送机构的蒸发舟被输送到主腔体内进行蒸镀工艺,其余蒸发舟输送机构的蒸发舟位于副腔体内进行更换或维修,两组以上的蒸发舟输送机构循环交替工作,在主腔体内连续进行蒸镀,使主腔体内的蒸镀工艺不间断,实现生产的连续性,提高蒸镀效率,同时使蒸镀设备的结构简单、操作便捷。

    光盘压模机构
    102.
    发明授权

    公开(公告)号:CN101901609B

    公开(公告)日:2012-03-07

    申请号:CN201010121765.2

    申请日:2010-03-05

    Abstract: 本发明公开了一种光盘压模机构,包括静模、动模、下定位凸台、上定位凸台及下弹簧,静模的下压合面的中心处向下凹陷形成下凹腔,下凹腔的中央凸伸出下定位柱,动模正对下压合面的端面装设有母盘,母盘与下压合面相对形成压合区,动模具有上凹腔,上凹腔与下凹腔正对,上定位凸台从上凹腔的中央处向下凸伸出,上定位凸台与上凹腔之间形成有空隙,空隙内设置有脱模伸缩机构,脱模伸缩机构包括上弹簧及脱模顶块,上弹簧的上端与上凹腔的底部固定连接,上弹簧的下端与脱模顶块固定连接,上弹簧处于自然状态时脱模顶块突出母盘。本发明能够克服压模完成后出现脱模不成功或吹气时间要加长才能脱模成功的现象,能够提高生产效率、降低生产成本。

    平板微调导向机构
    103.
    发明授权

    公开(公告)号:CN101891062B

    公开(公告)日:2012-02-29

    申请号:CN201010121764.8

    申请日:2010-03-05

    Abstract: 本发明公开了一种平板微调导向机构,用于平板传输导向,包括导轮装置、调节架和驱动装置;导轮装置包括导向轮、导轮轴和调节块,导向轮可旋转地安装在导轮轴一端,导轮轴的另一端与调节块的顶部螺纹连接;调节架包括开设有凹槽的固定座、固定安装于凹槽内的导向轴、固定安装于导向轴上的弹簧挡板、减振弹簧以及导轨;弹簧挡板靠近凹槽的一侧壁,导轨靠近所述凹槽的另一侧壁,调节块安装在导轨上并与之滑动连接,且调节块的侧部穿在导向轴上并与之滑动连接;减振弹簧抵在调节块的侧部与弹簧挡板之间;驱动装置与固定座相连并控制固定座沿直线运动。本发明可调节平板垂直方向和水平方向的位置,并保证平板与导向轮间柔性接触、运动精度和稳定性。

    基片运载装置
    104.
    发明授权

    公开(公告)号:CN101670942B

    公开(公告)日:2012-02-29

    申请号:CN200910192036.3

    申请日:2009-09-03

    Abstract: 本发明公开了一种基片运载装置,适用于安装在真空腔体内对基片进行传送,所述基片运载装置包括底座、传动组件、驱动电机及基片座,所述基片座上开设有承载基片的凹槽,所述底座的两侧平行地设有轨道,所述基片座枢接有第一滚轮,所述第一滚轮与所述轨道接触,所述传动组件包括齿条及若干齿轮,所述齿轮的中心处向外延伸出齿轮传动轴,所述齿轮传动轴枢接地穿过所述底座,且至少一个所述齿轮的齿轮传动轴连接有所述驱动电机,所述齿条与所述基片座固定连接且与所述齿轮啮合,所述驱动电机驱动所述齿轮,所述齿轮带动所述基片座沿所述轨道滑动。本发明基片运载装置尤其适用于真空环境的基片传送,传送过程安全、定位精确。

    挡板冷却装置
    105.
    发明授权

    公开(公告)号:CN101876055B

    公开(公告)日:2012-02-15

    申请号:CN201010131868.7

    申请日:2010-03-23

    CPC classification number: C23C14/22

    Abstract: 本发明公开了一种挡板冷却装置,包括连接座、连接件、冷却腔、冷却管、输出管、输入接口及输出接口,挡板通过连接座与旋转轴固定连接,旋转轴位于真空腔体外的端部套设有连接件,连接件与旋转轴枢接并与输入接口固定连接,输入接口与输出接口固定连接,旋转轴、连接件、输入接口及输出接口均沿旋转轴的轴向方向开设有中空结构并相互连通形成冷却腔,输出管悬于冷却腔内并贯穿旋转轴、连接件、输入接口且与输出接口固定连接,冷却管铺设于挡板上,其输入端与旋转轴连通,输出端与输出管连通,输入接口、冷却腔、冷却管、输出管、输出接口连通形成冷却介质的循环回路,其冷却效果好、附着力强、清洁度高并能降低真空腔体温度、提高膜层形成质量。

    光盘生产线组件及位置定位方法

    公开(公告)号:CN101901608B

    公开(公告)日:2011-12-14

    申请号:CN201010121754.4

    申请日:2010-03-05

    Inventor: 杨明生 朱富强

    Abstract: 本发明公开了一种光盘生产线组件,包括机械手驱动机构、传送机械手、驱动气缸、卡爪及若干托盘及气缸位置定位机构,传送机械手具有转盘,转盘具有若干抓取臂,驱动气缸安装于抓取臂上,驱动气缸的输出轴与卡爪连接,托盘具有承载光盘的承载腔,气缸位置定位机构包括圆盘夹具及气缸夹具,气缸夹具呈圆形结构且中心开设有内孔,气缸夹具的内孔套装于驱动气缸上且卡爪收容于内孔内,圆盘夹具呈圆形并收容于托盘的承载腔内,圆盘夹具中心开设有容置孔,容置孔的直径大于气缸夹具的直径,调节驱动气缸在抓取臂上的安装位置使气缸夹具分别一一对应地收容于圆盘夹具的容置孔内,从而实现对驱动气缸的定位。本发明结构简单、安装方便且定位精准。

    精确位置调节装置及具有该装置的半导体在线检测系统

    公开(公告)号:CN101651114B

    公开(公告)日:2011-12-14

    申请号:CN200910042110.3

    申请日:2009-08-25

    Abstract: 本发明公开了一种精确位置调节装置,包括安装座、工作台、传动机构及驱动机构,所述传动机构包括传动轴、传动带、驱动轮及固定有多个传动轮的安装板,所述传动轴一端与工作台固定连接,另一端固定地穿过安装板并与安装座枢接,多个所述传动轮以传动轴为中心对称分布,所述驱动轮与传动轮位于同一平面上,所述工作台的旋转半径大于驱动轮的旋转半径。所述精确位置调节装置装配简单,维修更换方便,利用驱动轮带动边角固定有传动轮的安装板转动,从而带动工作台转动,实现在驱动轮与工作台具有相同线速度的同时使工作台具有相对驱动轮很小的角速度,使工作台能够平稳、精确、小角度的运转。本发明也公开了一种具有该装置的半导体在线检测系统。

    蓝光光盘用母盘及其制造方法

    公开(公告)号:CN102270472A

    公开(公告)日:2011-12-07

    申请号:CN201110084346.0

    申请日:2011-04-02

    Inventor: 叶健 刘彤 杨明生

    Abstract: 本发明公开了一种蓝光光盘用母盘的制造方法,该方法在形成光刻胶层前先在基片上形成一层碳化吸光层,并将光刻胶层形成于碳化吸光层上,因此,在后续的曝光及显影过程中,碳化吸光层能有效减少光线在界面上的反射,增加光刻胶层下表面的光能吸收,进而提高光线的吸收率,来提高光刻胶的感光分辨率,以增加光刻胶层底部的曝光宽度,使光刻胶层底部的曝光宽度接近上表面的宽度,增加沟槽斜率,从而提高沟槽密度以满足蓝光光盘的精度要求;另,本发明还公开了一种利用上述制造方法制造得到的蓝光光盘用母盘,其在曝光及显影后能有效提高光刻胶层的沟槽密度,从而满足蓝光光盘的精度要求。

    蓝光光盘压模设备

    公开(公告)号:CN101800058B

    公开(公告)日:2011-11-23

    申请号:CN201010129956.3

    申请日:2010-03-19

    CPC classification number: G11B7/263 B29C33/424

    Abstract: 本发明公开了一种蓝光光盘压模设备,包括控制装置及相互配合的动模装置和定模装置,控制装置控制压模及脱模动作,动模装置位于定模装置的正上方,定模装置包括基座、压块及用于承载光盘的玻璃板,玻璃板与基座固定连接,玻璃板与光盘之间设有垫片,压块固定在基座上并与垫片的边缘抵触,动模装置上设置有与光盘正对的母盘,其中,定模装置还包括有与光盘同轴的环形的外圈件,外圈件的内径大于光盘的外径,外圈件沿光盘的外边缘铺设在垫片上,外圈件的上表面与光盘的上表面位于同一平面。通过外圈件扩大压制区域,有效转移压模产生的变形区域,避免光盘在压模后出现边缘信息层不均匀现象,保证光盘的压模质量同时节约成本,提高了光盘的可读性。

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