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公开(公告)号：CN101875478B
公开(公告)日：2013-07-31
申请号：CN201010131871.9
申请日：2010-03-23
Applicant: 东莞宏威数码机械有限公司
Abstract: 本发明公开了一种自动升降系统，包括电连接的控制装置、受控于所述控制装置的驱动装置以及升降装置。升降装置与外部工作台连接，控制装置驱动该驱动装置从而使升降装置带动外部工作台进行直线往复运动。其中，该升降装置包括第一固定板、第二固定板、活动板、丝杠、丝杠螺母以及支撑柱。活动板设置于第一固定板及第二固定板之间，驱动装置固定于第一固定板上，丝杠螺母穿设并固定于活动板上，丝杠的一端穿过第一固定板并与驱动装置连接，另一端穿过丝杠螺母后连接于第二固定板上。支撑柱的一端固定于活动板上，另一端穿过第二固定板并凸伸于第二固定板之上，以与外部工作台连接。本发明运动精度高、可靠性高、低噪音、低污染且结构简单。
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公开(公告)号：CN102034725B
公开(公告)日：2013-01-30
申请号：CN201010502641.9
申请日：2010-09-30
Applicant: 东莞宏威数码机械有限公司
IPC: H01L21/67 , H01L21/677 , H01L21/68
Abstract: 本发明公开了一种基片自动对位上载装置，用于真空环境下上载基片，该基片自动对位上载装置包括真空腔体、夹持机构，及位于所述真空腔体内的夹持输送机构、夹持升降机构、基片输送机构、基片升降机构和基片对位机构，所述夹持机构用于夹持基片，所述夹持输送机构带动夹持机构沿水平方向输入输出真空腔体，所述夹持升降机构驱动夹持机构做升降运动，所述基片输送机构带动基片沿水平方向输入真空腔体，所述基片升降机构驱动基片做升降运动，所述基片对位机构调整基片在水平方向上的位置。该基片自动对位上载装置可保证基片上载的整个过程中腔体内一直维持在稳定的真空状态下，且安全、洁净、对位可靠。
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公开(公告)号：CN102064125B
公开(公告)日：2012-09-26
申请号：CN201010502603.3
申请日：2010-09-30
Applicant: 东莞宏威数码机械有限公司
IPC: H01L21/67 , H01L21/683 , H01L21/68
Abstract: 本发明公开了一种平板抓取释放装置，其固定板呈水平放置，驱动气缸与固定板固定连接，驱动气缸的连杆与内抓手驱动板连接，内抓手驱动板及外抓手驱动板均呈滑动的连接于固定板上且相互平行，内抓手驱动齿条呈垂直的与内抓手驱动板固定连接，外抓手驱动齿条呈垂直的与外抓手驱动板固定连接，齿轮枢接于固定板上且位于内抓手驱动齿条与外抓手驱动齿条之间，内抓手驱动齿条与外抓手驱动齿条分别与齿轮啮合，外抓手凸伸出与外抓手驱动板固定连接，内抓手凸伸出与内抓手驱动板固定，凸伸出的外抓手与内抓手之间形成平板夹持区。本发明的内外抓手能够同时移动，快速抓取及释放平板。
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公开(公告)号：CN102074492B
公开(公告)日：2012-07-04
申请号：CN201010502317.7
申请日：2010-09-30
Applicant: 东莞宏威数码机械有限公司
IPC: H01L21/677 , H01L51/56 , B65G49/05
Abstract: 本发明公开一种双向间歇传输机构，包括：托动座、基座、升降机构、水平移动机构及升降驱动机构，所述托动座用于承载待加热的基板；所述基座的上表面安装有至少两个相互平行的固定座；所述升降机构包括升降支柱、圆轮、滚轮及滚轮固定板；所述水平移动机构与所述托动座固定连接，所述水平移动机构驱动所述托动座在所述滚轮上做水平往复运动；所述升降驱动机构包括转轴、转轴电机及偏心轮。本发明双向间歇传输机构自动化程度高，能大大降低劳动强度，提高生产效率，降低生产成本。
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公开(公告)号：CN101882724B
公开(公告)日：2012-07-04
申请号：CN201010131874.2
申请日：2010-03-23
Applicant: 东莞宏威数码机械有限公司
CPC classification number: H01R9/18 , H01R13/533 , H01R2101/00
Abstract: 本发明公开了一种密封式输电装置，适用于安装在真空腔体上以对所述真空腔体的内部供电，所述密封式输电装置包括绝缘体和导电体，所述绝缘体包括主绝缘体及由所述主绝缘体下端向外侧延伸而成的绝缘体凸台，所述导电体包括主导电体及从所述主导电体向外延伸而成的导电体凸台，所述真空腔体上开设有绝缘体安装孔，所述绝缘体上开设有导电体安装孔，所述绝缘体安装于所述绝缘体安装孔上并紧贴所述绝缘体安装孔的内壁，所述导电体套于所述导电体安装孔内并紧贴所述导电体安装孔的内壁，所述绝缘体凸台和所述导电体凸台通过紧固螺钉紧密地固定于所述真空腔体上。本发明密封式输电装置结构简单、密封性较好且安全性能较高。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN102092584A
公开(公告)日：2011-06-15
申请号：CN201010502321.3
申请日：2010-09-30
Applicant: 东莞宏威数码机械有限公司
Abstract: 本发明提供了一种对基片承载盒传输和变向的旋转式平台传输装置，包括机架、垂直升降机构及承载平台。机架具有移动腔，垂直升降机构包括导向件、垂直驱动组件、推动件、下升降板和上升降板。垂直驱动组件设于机架上，其输出端与下升降板连接，下升降板收于移动腔内。导向件上端与机架上端固定，下端滑动穿过下升降板。推动件下端与下升降板固定，上端滑动穿过机架并与上升降板固定，导向件与推动件均与下升降板垂直。承载平台包括承载基片承载盒的底板，底板与上升降板平行且呈转动的连接。垂直驱动组件通过下升降板和推动件带动底板上下移动，底板受水平力时可在上升降板上转动实现变向。本发明能提高基片的传输质量及精度并降低传输成本。
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公开(公告)号：CN102064125A
公开(公告)日：2011-05-18
申请号：CN201010502603.3
申请日：2010-09-30
Applicant: 东莞宏威数码机械有限公司
IPC: H01L21/67 , H01L21/683 , H01L21/68
Abstract: 本发明公开了一种平板抓取释放装置，其固定板呈水平放置，驱动气缸与固定板固定连接，驱动气缸的连杆与内抓手驱动板连接，内抓手驱动板及外抓手驱动板均呈滑动的连接于固定板上且相互平行，内抓手驱动齿条呈垂直的与内抓手驱动板固定连接，外抓手驱动齿条呈垂直的与外抓手驱动板固定连接，齿轮枢接于固定板上且位于内抓手驱动齿条与外抓手驱动齿条之间，内抓手驱动齿条与外抓手驱动齿条分别与齿轮啮合，外抓手凸伸出与外抓手驱动板固定连接，内抓手凸伸出与内抓手驱动板固定，凸伸出的外抓手与内抓手之间形成平板夹持区。本发明的内外抓手能够同时移动，快速抓取及释放平板。
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公开(公告)号：CN102009846A
公开(公告)日：2011-04-13
申请号：CN201010502337.4
申请日：2010-09-30
Applicant: 东莞宏威数码机械有限公司
Abstract: 本发明提供了一种锁定式变向传输平台装置，包括机架、垂直升降机构、锁定组件及承载平台。机架设有脚轮并具有移动腔。垂直升降机构包括导向件、驱动轴、驱动件、推动件、下升降板和上升降板；驱动轴输入端与驱动件连接，输出端与收于移动腔内的下升降板连接；导向件上端与机架上端固定，下端穿过下升降板；推动件固定于上、下升降板上并穿过机架。锁定组件包括夹紧锁紧块及抵压件，夹紧锁紧块与机架连接并具有悬空端，驱动轴呈间隙的穿过悬空端，抵压件与机架枢接并驱使悬空端抱合于驱动轴。承载平台包括用于承载基片承载盒的并与上升降板呈转动连接的底板。本发明不仅能提高基片的传输质量和精度并降低传输成本，还能确保基片传输中的安全性。
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公开(公告)号：CN102001525A
公开(公告)日：2011-04-06
申请号：CN201010502629.8
申请日：2010-09-30
Applicant: 东莞宏威数码机械有限公司
IPC: B65G49/06
Abstract: 本发明提供了一种锁定式升降平移传输设备，包括机架、垂直升降装置、两级水平移动装置及抱紧机构。垂直升降装置包括导向件、垂直驱动机构、垂直传动机构、推动杆及相互平行的上升降板和下升降板，两级水平移动装置包括滑板、水平驱动机构、水平传动机构、推动块及承载板，承载板随下升降板在垂直驱动机构驱动下做竖直的上下移动，水平驱动机构带动滑板水平滑动，承载板受水平方向的力时在滑板上水平滑动延伸，两抱紧机构分别安装在垂直驱动机构与水平驱动机构上并分别对其输出轴进行锁定控制。本发明的锁定式升降平移设备能够同时实现垂直高度调节及平移调节并且具有锁定功能，定位准确且安全可靠，操作灵活方便，能有效提高基片传输质量。
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公开(公告)号：CN101992948A
公开(公告)日：2011-03-30
申请号：CN201010502627.9
申请日：2010-09-30
Applicant: 东莞宏威数码机械有限公司
Abstract: 本发明公开了一种基片自动上载装置，用于真空环境下上载基片，该基片自动上载装置包括真空腔体、夹持机构，及位于所述真空腔体内的夹持输送机构、夹持升降机构、基片输送机构和基片升降机构，所述夹持机构用于夹持基片，所述夹持输送机构带动夹持机构沿水平方向输入输出真空腔体，所述夹持升降机构驱动夹持机构做升降运动，所述基片输送机构带动基片沿水平方向输入真空腔体，所述基片升降机构驱动基片做升降运动。该基片自动上载装置可保证基片上载的整个过程中腔体内一直维持在稳定的真空状态下，且安全、洁净、可靠。
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